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摘要 JF*JF Ob
Z'GO p? 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 yI9l*'
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 #VC ^><)3 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） )2oWoZ vi9
-p>KFHj6 建模任务 vi0% jsI
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 Cc]s94 `sN3iD!@R 单次FMM仿真结果 b]s=Uv#)
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 t 1B0M4x9 UL[4sv6\9 参数扫描（1D） Y[ T;j p(k
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 nl5K1!1 pP ?J(0Q~ 参数扫描（2D） S :vv*5 8Mg4y1)RU  D{. %Dr?
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