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摘要 P''5A6#5 (_:k s 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 <d2?A}< %BdQ.\4DS
px|y_.DB2x q> ;u'3} 系统内光栅建模 jZRf{ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 b=V"$(Q 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 @UbH;m 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 YH_mWN\Wu JCL+uEX4S
qG=?+em ^]x%z*6 附着光栅堆栈 )Dg;W6 =bn(9Gm!J 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 *$U+ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 {2|[7oNT6 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 [73 \jT 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 <K^{36h uc0 1{t0, cr}T ? $\K :5Y
yI.T 堆栈的方向 7(ni_|$| E5^P*6c( 堆栈的方向可以用两种方式指定: )@vhqVv? hW^*b:v{ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 QNH-b9u>8 79DzrLu 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 DC&3=Nd h=:*cqp4 |2i=oX(r| 5y
9(<}z 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 &U_YDUQ'L Ry$zF~[ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 {}sF?wZf 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 %l4;-x<e 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 F&tU^(7< +ESEAi91
{;z{U;j C:*=tD1 高级选项和信息 Q9i&]V[` 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 r JvtE}x1 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 3MmpB9l#H 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 _H,xnh#nZ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 S.<aCN<@ )bd)noZi
3"*tP+H w5C$39e\G 结构分解 qjcPJ ;\N)RZ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 wjq;9%eXk 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u<g0oEs) 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 s6U$]9 ` 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <Ny DrO"C3 p#\JKx
B4D#TlB 8vp*U 光栅级次通道选择 N$!aP/b @5["L 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 9}[UZN6 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 |;(95 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Q[vQT?J7 EbfE/_I
`{Jo>L. $fzO:br5WJ 光栅的角度响应 zu,F 0;De 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 s|`Z V^R 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 iL$~d@AEn 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 &'V1p4' 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 PM?F;mj <Jf[N=
QX`T-)T e r6b;v2!8 例:谐振波导光栅的角响应 Uhw:XV@m ^t$xR_
8PB 8h m8T< x> 谐振波导光栅的角响应 tl=H9w&@ t@;r~Sb
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