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摘要 Sp~gY]: V1>>]]PS 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 nk+*M9r|I .,( ,<
QP[`*X :taRCh5 系统内光栅建模 Fwfe5`9' 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 %
ovk}}%; 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 0ZpWfL 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 gA~faje f')3~)"
K}YOs. &Vi0.o
附着光栅堆栈 ^bckl
tSo Bl8&g]dk 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 wA>bL PTw 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 &`A2&mZ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ,O}2LaK.O 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 zV=(e( [ !>L+q@l) WX9pJ9d KqT~MPl 堆栈的方向 #$(wfb9 X>6VucH{\ 堆栈的方向可以用两种方式指定: ,wlSNb@' j])nkm7_ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 .`Ts'0vVy Ch9A6?=Hj8 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 `L<)9* gDJ@s
v__;oqN0 G$HLta 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 sw@*N Y)X58_En 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 y:zo/#34 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 QU{\ClW/? 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 lZupn? mmn1yX:d
1yIo'i1 "UY.;
P 高级选项和信息 W<uL{k.Kpd 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 A*:(%! 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 UW[{Y|oE 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 v1j]&3O 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 V-(LHv
K{00 V#
9N'um%J3%s I({ 7a i 结构分解 J}.y+b>8\ ptmPO4f 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 Px4zI9;cB 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 `|^<y.-6 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 =`X;fz 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 V8xv@G{;
ka&-tGg
: |c,.uO VrokEK*qbY 光栅级次通道选择 oLn| UWe_ o /fq 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 2r~ Nh]( 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 `Vwj|[0k 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 "A:wWb<m 9CWUhS
NoJo-vo* `q exEk@S 光栅的角度响应 FJ}QKDQW= 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 3A} ntA! 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 b['TRYc=: 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 *0R=(Gy 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ^aZ Wu|p ^U_B>0`ch
*qG=p` `z3?ET 例:谐振波导光栅的角响应 o0wep&@ CFZ=!s)B
=dX*:An ZF;S}1 谐振波导光栅的角响应 JPUDnPr aG\m3r
hpXu3o7e
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