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摘要 4G;FpWQm 37'@,*m` 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ZGrjb22M ,Oojh;P_
!HyPe"`oL +-~hl 系统内光栅建模 dj,7lJy 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 5^lroC-(x 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 9B&QY 2v 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 e _\]Q- X^mvsY
AA&398F i1RU5IRy|j 附着光栅堆栈 V XEA.Mko ;4<CnC** 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 MkJ}dncg* 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 t]1j4S"pm 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 N\XZ=t^h( 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 hM [9S\3&yoh C
9IKX 1{\{'EP{ 堆栈的方向 /5M@>A^?' G!},jO*" 堆栈的方向可以用两种方式指定: F#S^Q` .sNUU 3xSC 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1;E[Ml R=ddQ:W6g 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 g;)xf?A9q P7r?rbO" DueQ1+ P q]Gym 7o 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 DE3>F^ j 3vTX2e.w 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 m)4s4P57y 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ]UyIp`nV; 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 is&A_C7yg |@pJ]
}5dYmny Y~]E6'Bz 高级选项和信息 M##h<3 I 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 -.ITcDg 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 )2T?Z)"hO 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bv$g$ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 | ZBv;BW cQEK>aAd
~?&;nTwHe P1DYjm[+D 结构分解 xXQ#?::m 'T@K$xL8 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 < V) T_ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 i-!Z/,oL 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Th,15H
DA 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 3XY;g{`=q +T:F :X`
F`,XB[}2 W j2]1A 光栅级次通道选择 p~1,[]k -+4:}
sD 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 S)Cd1`Gf 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 %.,-dV' 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 QUd`({/@: Z#.J>_u
)
[su2kOX|X ,[enGw 光栅的角度响应 [.;$6C/? 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 N'_,VB 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 xsS/)R? 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 {M:Fsay>p 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 aWhhq@ ?2hoY
}R5>ja0 b0PqP<{ t 例:谐振波导光栅的角响应 LY}%|w 9ui_/[K
aRg/oA4} [eL?O;@BD 谐振波导光栅的角响应 v!(BS, 2\&uO
B4AV ubMbe
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