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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 P''5A6#5  
    (_:k s  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 <d2?A}<  
    %BdQ.\4DS  
    px|y_.DB2x  
    q> ;u'3}  
    系统内光栅建模 jZRf{  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 b=V"$(Q  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 @UbH ;m  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 YH_mWN\Wu  
    JCL+uEX4S  
    qG=?+em  
    ^]x%z*6  
    附着光栅堆栈 )Dg;W6  
    =bn(9Gm!J  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 *$U+  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 {2|[7oNT6  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 [73 \jT  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 <K^{36h  
    uc0 1{t0,  
    cr}T ? $\K  
    :5Y yI.T  
    堆栈的方向 7(ni_|$|  
    E5^P*6c(  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: )@vhqVv?  
    hW^*b:v{  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 QNH-b9u>8  
    79DzrLu  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 DC&3=Nd  
    h=:*cqp4  
    |2i=oX(r|  
    5y 9(<}z  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 &U_YDUQ'L  
    Ry$zF~[   
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 {}sF ?wZf  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 %l4;-x<e  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 F&tU^(7<  
    + ESEAi91  
    {;z{U;j  
    C:*=tD1  
    高级选项和信息 Q9i&]V[`  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 r JvtE}x1  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 3MmpB9l#H  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 _H,xnh#nZ  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 S.<aCN<@  
    )bd)noZi  
    3"*tP+H  
    w5C$39e\G  
    结构分解 qjcPJ  
    ;\N )RZ  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 wjq;9%eXk  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 u<g0oEs)  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 s6U$]9 `  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <Ny DrO"C3  
    p#\JKx  
    B4D#T lB  
    8 vp*U  
    光栅级次通道选择 N$!aP/b  
    @5["L  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 9}[UZN6  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 |;(95  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Q[vQT?J7  
    EbfE/_I  
    `{Jo>L .  
    $fzO:br5WJ  
    光栅的角度响应 zu,F 0;De  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 s|`ZV^R  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 iL$~d@AEn  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 &'V1p4'  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 PM?F;mj  
    <Jf[N=  
    QX`T-)T e  
    r6b;v2!8  
    例:谐振波导光栅的角响应 Uh w:XV@m  
    ^t$xR_  
    8PB 8h  
    m8T< x>  
    谐振波导光栅的角响应 tl=H9w&@  
    t@;r~S b  
    yrF"`/zv6|  
     
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