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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 A4ISNM7R[  
    ?-Vjha@BO  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 +&["HoKg}&  
    VM0j`bs'K*  
    R N@ctRS  
    ,k G>?4  
    系统内光栅建模 n#=o?!_4  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 GLGz 2 ,#  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 D0BI5q  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 asC_$tsMe  
    }mZwd_cK  
    aj}(E +  
    xz:J  
    附着光栅堆栈 |`;54_f  
    l{D'uI[&  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 r:]1 O*  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 1nu^F,M  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 5 QO34t2  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 gsn)Wv$h  
    1LJUr"6]  
    -@ZiS^l  
    ~ Uo)0  
    堆栈的方向 rSYi<ku  
    OaL\w D^  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: \.g\Zib )  
     ;vb8G$  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。  kQ   
    i.:. Y  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Zo{$  
    ce6__f 5?  
    \8uIER5)  
    vip~'  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 mZUfn%QXb(  
    3su78et}  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 |{@FMxn|q  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 n k2om$nN  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 CX m+)a-L  
    CpQN,-4  
    tbO H#|  
    rL5z]RY  
    高级选项和信息 <ioO,oS'  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 CwX Z  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 zuJtpMn  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 !*`-iQo&  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 b<]n%Q'n  
    (@#M!'  
     RD tU43  
    0dh=fcb  
    结构分解 FV,4pi  
    21(p|`X  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 7+hK~  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 jM:Y' l]  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 =LTmr1?  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 A?G^\I~v  
    t&9A ]<n%,  
    U8(Nk\"X\  
    6&bIXy  
    光栅级次通道选择 [V 8{b{  
    jV8q)=}*)  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 kapC%/6"  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 2c/Ys4/H4]  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 1bw{q.cmD  
    P4Th_B7  
    ltFq/M  
    A*|cdY]HP  
    光栅的角度响应 {hJXj,  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 V_Wwrhua  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 SwU\ q]^|Z  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ,hVvve,j}  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 )(7&X45,k  
    \a+(=s(;  
    a {ab*tM  
    +1~Z#^{&  
    例:谐振波导光栅的角响应 4 QZ?}iz  
    1jX3ey~  
    s[gKc'  
    oBUxKisW  
    谐振波导光栅的角响应 'Z`$n8  
    s :`8ZBz~  
    vLxQ *50v$  
     
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