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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 D9 OS,U/l  
    YR=<xn;m.  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 <U (gjX  
    {|O8)bW'  
    1}}.e^Tsfr  
    Y, )'0O  
    系统内光栅建模 y9?BvPp+  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 2X&~!%-  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 JnlM0jc]`  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ![18+Q\  
    k:nr!Y<  
    e%afK@c  
    1>[3(o3t  
    附着光栅堆栈 m1heU3BUWU  
    j *Ta?'*  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 6Y>MW 4q  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Hl8-1M$&  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 J$%mG*Y(  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 pn{Mj  
    &HNJ '  
    [-x~Q[  
    P>+{}c}3I  
    堆栈的方向 .9#4qoM'  
    ~*GJO74  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: ! k)}p_e  
    b'pbf  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 :_~UO^*h  
    Ou"QUn|  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 :z_D?UQ  
    #I'W[\l~+  
    H [wJ; l  
    Py^F},?J  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 $W<H[k&(B  
    FVW<F(g`  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 9OuK}Ssf  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 r :{2}nE  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 2Vxr  
    5)+(McJC  
    mT <4@RrB  
    WO?EzQ ?  
    高级选项和信息 BNw^ _j1  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 #I|Vyufw  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 iNUisl  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 OB)Vk  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 " ;_bB"q*  
    P%z\^\p"5  
    wj!p6D;;S  
    [u;]J*  
    结构分解 IsxPm9P2<  
    {+r pMUs#  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 LyH8T'C~  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ,UopGlA ,  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 uc<XdFcu  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 6Xb\a^ q  
    ]:(>r&'  
    FY)vrM*yh  
    Q:& ,8h[  
    光栅级次通道选择  TOdH  
    "aHY]E{  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 H0Qpc<Z4/  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 5V!L~#  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 3Bee6N>  
    }jBr[S5  
    JryDbGc8  
    ~ nNsq(4  
    光栅的角度响应 vmK<_xbwd  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 $IX>o&S@|  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 r5%K2q{  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 -%*>z'|{  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 `e .;P  
    ;W]NT 4p  
    hSSF]  
    E]WammX c  
    例:谐振波导光栅的角响应 GzWmXm  
    I~H:-"2  
    XL c&7  
    767xCP  
    谐振波导光栅的角响应 $'btfo4H  
    $%ZEP> ]  
    b)J(0,9`G"  
     
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