-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-29
- 在线时间1766小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 $V$|"KRcs D2$"!7O1H 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 LQ5 WS #P,mZ}G\
IfHB+H
o#X|4bES 系统内光栅建模 -G<$wh9~3 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 Sb=cWn P 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 $:I~y|
!1 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 .6Swc? \Uun2.K
$gsn@P>" GdFTKOq 附着光栅堆栈 &j}\ZD Hcw@24ic 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 5gP#V
K 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 5}3Q}o# 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 Z~}=q 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 m2[q*k]AtS d[+ xLa -(FVTWi0 Ds|/\cI$%a 堆栈的方向 4&IBNc,sn ' bio:1 堆栈的方向可以用两种方式指定: OczVOb bS |t^7L )&y 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 ShAI6j eR.ucTji 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 yZ t}Jnv 0 r=:l/Pz >jjuWO3T k36%n
*4 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 S_cba(0-|\ eiB5 8b3 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。
^|DI9G(Bs 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 24_F`" :-= 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 wrq0fHwM 7Wg0-{yK4
"WOY`su> %of#VSk 高级选项和信息 LGq}wxq 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 BBy"qkTe 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 pX
]K- 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 s$e0;C!D 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 U@v=q9'W `INcZr"
1P&XG@ cF_hU" 结构分解 :70cOt~Z w~>V2u_- 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 2`,{IHu*! 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 c;l
d 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 xe[Cuy$P 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 _@0>yMZ^ T!eb=oy
s
}q6@I b@@`2O3" 光栅级次通道选择 5DKR1z: NZ`W`#{ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 UX=JWb_uGm 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 \3w=')({ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 hRZ9[F[[ +hg|!SS@5
g]O"l?xx1D Kl~jcq&z 光栅的角度响应 s<x2*yVUA 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 n\aG@X%oq 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Px:PoOw\ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 \:C@L&3[ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ZiodJ"r :WejY`}H%
t5n$sF 4;8
Z?. 例:谐振波导光栅的角响应 wYZFW'5p :~BY[")
L2Uk/E MnUal}MO 谐振波导光栅的角响应 Hw[u Sv8 x]6OE]]8L
nE)?P*$3 Z
|