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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 4G;FpWQm  
    37'@,*m`  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ZGrjb22M  
    ,Oojh;P_  
    !HyPe"`oL  
    +-~hl  
    系统内光栅建模 dj,7lJy  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 5^lroC-(x  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 9B &QY 2v  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 e _\]Q-  
    X^mv sY  
    AA&398F  
    i1RU5IRy|j  
    附着光栅堆栈 VXEA.Mko  
    ;4<CnC**  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 MkJ}dncg*  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 t]1j4S"pm  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 N\XZ=t^h(  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。  hM   
    [9S\3&yoh  
    C 9IKX  
    1{\{'EP{  
    堆栈的方向 /5M@>A^?'  
    G!},jO*"  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: F#S^Q`  
    .sNUU 3xSC  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1;E[Ml  
    R=ddQ:W6g  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 g;)xf?A9q  
    P7r?rbO"  
    DueQ1+ P  
    q]Gym 7o  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 DE3>F^ j  
    3vTX2e.w  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 m)4s4P57y  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ]UyIp`nV;  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 is&A_C7yg  
    |@pJ]  
    }5dYmny  
    Y~]E6'Bz  
    高级选项和信息 M##h<3I  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 -.ITcD g  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 )2T?Z)"hO  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 bv$g$  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 | ZBv;BW  
    cQEK>aAd  
    ~?&;nTwHe  
    P1DYjm[+D  
    结构分解 xXQ#?::m  
    'T@K$xL8  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 <V)T_  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 i-!Z/,oL  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Th,15H DA  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 3XY;g{`=q  
    +T:F :X`  
    F`,XB[}2  
    Wj2]1A  
    光栅级次通道选择 p~1,[]k  
    -+4:} sD  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 S)Cd1`Gf  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 %.,-dV'  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 QUd`({/@:  
    Z#.J>_u )  
    [su2kOX|X  
    ,[enGw  
    光栅的角度响应 [.;$6C/?  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 N'_,VB  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 xsS/)R?  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 {M: Fsay>p  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 aW hhq@  
    ?2hoY  
    }R5>ja0  
    b0PqP<{t  
    例:谐振波导光栅的角响应 LY}%|w  
    9ui_/[K  
    aRg/oA4}  
    [eL?O;@BD  
    谐振波导光栅的角响应 v!(B S,  
    2\&uO   
    B4AV ubMbe  
     
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