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摘要 C+&l<
fM& BING{ew 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 jmW7)jT8: ?=pT7M
+m,yA mEEd )@bQu~Y 系统内光栅建模 ;i+#fQO7Q 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 FJ?IUy 6 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 'H <\x 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 R@rBEW& 0#^v{DC
^_mj q'MZ R'<@ 附着光栅堆栈 "g8M0[7e3 Jxm.cC5z. 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 @U}1EC{A 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Pk)1WK7E 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ~61v5@ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 VVOd]2{ K",N!koj
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EV^ &"x 堆栈的方向 Ooy7*W'; v|2T%y_
u 堆栈的方向可以用两种方式指定: )53y
AyP Mf``_=K 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 &@YmA1Yu)E x-3\Ls[I 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 /&94 eC H<N,%G ;4~hB Y:a]00&)#Y 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 6!FQzFCZq ~&bq0( 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 C;urBsC 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 *;*r8[U}q 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 \)|hogI|f P";'jVcR
=rX>.P%Q 5 Ph>%7M% 高级选项和信息 ZJs$STJ* 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 V~5jfcd 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Q'0d~6n&{ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ~$?ZK]YOrx 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 BThrO d @MCg%Afw
`W*U4?M 9q[oa5INd 结构分解 z' >_Mc6 kPLxEwl 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 /I0%Z+`= 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Ek]'km! 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 @I!0-OjL 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 s-T\r"d=j dlTt_.
[HZv8HU| A~t
j/yq9 光栅级次通道选择 ~IN>3\j 6 ~w@PRy 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 WI-1)1t 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 *bA.zmzM 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 O@C@eW# ;;N9>M?b
NHZz _a= ikiypWq 光栅的角度响应 Y`SvMkP)+ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 _zi| 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 wDe& 1(T^ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 pg)WKbV 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 :X
(=z;B;N DlMW(4(
kL"2=7m; fS78>*K 例:谐振波导光栅的角响应 'AH0ww_)n %Y*Ndt 4
]-/VHh ckE-",G 谐振波导光栅的角响应 u5f9Jw} bB3powy9
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