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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 K02./ut-  
    9`muk  
    光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 ;,1i,?  
    ]~P?  
    KK+Mxoj,  
    Fmu R(f=  
    系统内光栅建模 uFqH_04  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 2I7P}=  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 :PLsA3[}  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Qi%A/~  
    t^'1Ebg  
    x R.Ql>  
    oAL-v428  
    附着光栅堆栈 p d6d(  
    `uU@(  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ObCwWj^qO  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 r?Vob}'Pt]  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ax<0grK  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Dt ?Fs  
    01Aa.i^d(  
    ,rd+ dN  
    DXUI/C f  
    堆栈的方向 h^s}8y  
    n'gfB]H[  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: 1/n3qJyx2}  
    ZjcJYtD  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 uO6_lOT9n  
    =Yfs=+O  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Oe273Y^e  
    ,[~EThcq  
    Ort\J~ O  
    li{_biey}  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 !cpBX>{w  
    v<) }T5~r  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 5&>(|Y~I  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 B}(YD;7vJ  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 ()?)Ybqss  
    ?`vb\K<5H;  
    Xy{b(b;9  
    iqU}t2vFrj  
    高级选项和信息 C@[:}ZGMV  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 6Z"%vrH  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 E'ZWSpP  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ,9rT|:N  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 K.%E=^~q  
    |Mh;k 6  
    f|`{P P`\  
      i~2>kxf;K1  
    结构分解 {ys_uS{c*  
    B8PF}Mf  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 !y),| #7P  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 HwcGbbX)  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 zx!1jS  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 YT_kMy>  
    n Au>i<  
    e nNn*.*|  
    LD NpEX~  
    光栅级次通道选择 uJWX7UGuz  
    VTHDGBU  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 +Lyh F2  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 d0xV<{,-  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 kA3kh`l  
    ^R\blJQ<^  
    WULj@ds\~  
    (=X16}n:>  
    光栅的角度响应 sq^,l6es>  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 '%MIG88  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 lz(9pz  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 Dn@ n:m  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 A +p}oY '  
    JdAjKN  
    N@VD-}E  
    ug{F?LW[  
    例:谐振波导光栅的角响应 81g&WQ'  
    vQ h'C.  
    "~;jFB8  
    GwvxX&P  
    谐振波导光栅的角响应 ' ZJ6p0  
    <(iOzn  
    Vg3&:g5 /  
     
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