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摘要 ~|<'@B!6 :/gHqEC24 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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V/( *|q{(KX
|"}7)[BW} jc3Q3Th/zn 系统内光栅建模 ga,kKPL 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 J>M 9t%f@ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 #t2N=3dOj 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 3{qB<*!p"G e)s
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{ZdF6~+H(! 7'At_oG 附着光栅堆栈 |7KWa(V5I 0`V=x+*, 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 +P9eE,WR 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 tYgHJ~1L* 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 w)&4i$Lk6 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 qHheF%[\5 GwA\>qXw >Q_
'[!S -cJ,rrN_9 堆栈的方向 z&c} ePq (.o 堆栈的方向可以用两种方式指定: &E6V'*<93 FbMtor 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 0s Jp,4Vv 0nBDF79 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 J8@.qC'! _B^X3EOc ,o0Kev z CY.92I@S 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 @@-TW`G7 ]a.^F 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 KSS]% 66Y 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 wKpb%3 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 CAx
eJ`Q 6WIs*$T2*
4i&Rd1#0dI Dk$<fMS,7c 高级选项和信息 S[hyN7sI 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 SHB'g){P 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Z5F#r>> ` 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 3b#L*- 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 o%`=+-K {98e_z w
q7_Ttjn-DV lup2>"?* 结构分解 =vQ J2Rg cX4]ViXSr 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 K0B<9Wi| 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 X@:Y. / 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 bWlYQ
分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 [MKG5=kaE F#)bGi
Og@{6> 6ce-92n 光栅级次通道选择 C4gES"T \o72VHG66 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 Ndb7>"W 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 z$~F9Es9 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 h<>yzr3fN Wb cm1I)
nN-S5?X# /NiD#s0t 光栅的角度响应 WcM\4q@ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Z^'\()3t 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ZvT>A#R;l~ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 uifVSf* 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 |Ox='.oIb v[8+fd)}S
E]m?R 4 wsH _pF 例:谐振波导光栅的角响应 u,d5/`E |</) 6r
Z_S{$D 4*E5@{D 谐振波导光栅的角响应 :-Py0{s <Q- m &
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