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摘要 Gc*=n*@^K f Ayh9 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 GVu[X?q@| D5({&.X[-
.fhfb\$ D|<_96_m 系统内光栅建模 *GY8#Az 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 t9*e" QH 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 %.wR@9? 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 i%F2^R@!q/ Z__fwv.X[
'vu]b#l3 2A =Y 附着光栅堆栈 TuPD5-wB& K>LS8,8V 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 k h*WpX 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 $cuBd 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ~Ym*QSD 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 0%;| B `F1Yfm
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Y%= hR:i! 堆栈的方向 F7w\ctUP +t1+1Zv 堆栈的方向可以用两种方式指定: ,'t&L] bG* l_ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 uPN^o.,/. C`3XOth 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 $FIJI^Kd7 TOgH~R= |; mET
;{&4jcV* 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 RhT:] '/Vm[L$d 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 nRw.82eK. 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 8'zfq
]g 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 Oml3=TV nGK=Nf.5
x*tCm8`{ oRcP4k;d= 高级选项和信息 +XX5;;IC 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 38l:Y" 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 y?3u6q++ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 ;9fWxH 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 yLnTIE 3) g2}aEfp!H
WLh!L='{BK 8@rF~^-_ 结构分解 3m21n7F4* q3-cWfU 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 )@y'$)5s 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 -`Zk`s|! 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 k%-UW% 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 3BLHd< rTJU)4I^h
GMLx$?=j qX6zk0I a 光栅级次通道选择 s2 aFme I{H!KrM! 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 f4dHOH 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 /Jc^XWf 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Po\+zZjo Kuk@x.~0m
@8:c3(! YY7dw:>e/ 光栅的角度响应 [5M! ' 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 {+kWK;1 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 -%[6q 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 +, rm 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 XC390t g&ba]?[A
eSMno_Gt3 LA6Ik_-F 例:谐振波导光栅的角响应 HC>k/Gk" *_Pkb.3R
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N40 谐振波导光栅的角响应 ?iaO6HD C8:y+pH_U;
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