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摘要 >i
"qMZ C5P$&s\ 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 fUC9-?(K jY7=mAd
\K}-I
eR:b=%T8 系统内光栅建模 YT>KJ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 hAm/mu 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 9\HR60V 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ^+ZgWS^%
[r)eP({
/;?M?o"H NXpmT4 附着光栅堆栈 96d~~2p HcRa`Sfc]/ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 =#qZ3 Qz_ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 s~*}0-lS 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 +`@M*kd 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 R}8XRe XZ`:wmc| K]c4"JJ e}'gvm 堆栈的方向 ,7W:fwdR ~#R9i^Y 堆栈的方向可以用两种方式指定: ! QM.P
t7c WJ|:kuF 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 rcV-_+KE(B ^W~p..DF 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 v2Bzx/F: 'Gx$Bj )p<WDiX1!e .N,&Uv- 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 z-dFDtiA <a4TO8 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 >I}9LyZt 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 F/p,j0S 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 /kgeV4]zR 7FLXx?nLY
rq sdE qFco3 高级选项和信息 fH\X 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 {o0qUX>[ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 9i5tVOhE 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 K*q[(,9 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 +vW)vS[ S4N(cn&
uI~s8{0T6 7ER|'j 结构分解 qH>`}/,P hoM|P8
}rh 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 xe4Oxo 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 PRkSQ4 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Tlq-m2] 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 F(5hmr ?YQPlv:<o.
hB9Ee@ =w$tvo/ 光栅级次通道选择 <q
(z>*-e U!(@q!>G 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 Su8|R"qU 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。
mO*^1 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 %zBCq"y <IJu7t>
0Yl4eB- M;w?[yEZ 光栅的角度响应 T!RT<& 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 q[3x2sR 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 @{hd{>K* 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 q%(EYM5Y 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 69m
;XdkKz P 1XK*GZ
NTo!'p:s tZyo`[La 例:谐振波导光栅的角响应 1x)ZB~L 7O5`v(<9n>
l<g5yYyf mLh kI!4[ 谐振波导光栅的角响应 z~*g ~RKS! .Jx9bIw
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