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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 G3h"Eo?>g  
    a %?v/Ku  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 e*d lGK3l  
    MPF({Pnx7  
    -#R63f&  
    md|I?vk  
    系统内光栅建模 P ,rLyx   
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 XXeDOrb  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 A$L:,b(  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Nnoj6+b  
    ] v:"    
    _Ih"*~ r/&  
    Yu9VtC1  
    附着光栅堆栈 0wAB;|~*62  
    u`Kc\B Sn  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ==trl#kQ%%  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 yh).1Q-D  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 I*/:rb  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 WcpH= "vm  
    Nz%pl!  
    LvU/,.$  
    7e D` is  
    堆栈的方向 E,ooD3$h  
    `S4G+j>u6  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: @gQ?cU7  
    qLw^Qxo  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 fgHsg@33N  
    "#iO{uMWb  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ZVit] 3hd  
    1&Ma`M('  
    uzLm TmM+  
    q6x}\$mL  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 iTF%}(  
    <TS ps!(#  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 )QmmI[,tq  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 |:u5R%  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 g;:3I\ L  
    TGjxy1A  
    #G\-ftA&  
    ?zVcP=p@  
    高级选项和信息 wzZ]| C(vp  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 >4HB~9dKU  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 9<"F3F0|  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 U@(8)[?nxn  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 c)q=il7ef  
    uwt29  
    {nS(B  
    V P7LKfv  
    结构分解 TT){15T;"  
    C[+?gQJ[9  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 CurU6x1  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 h,K&R8S  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ,eL&Ner  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 L$jii  
    &?gcnMg$,J  
    #;m^DX QZn  
    s"8z q ;)  
    光栅级次通道选择 OSom-?|w  
    :JXcs39  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 kpk ^Uw%f  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 r8A'8g4cM  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 U<'$ \ P  
    F'_z$,X6  
    NVDIuh  
    "#{b)!EH  
    光栅的角度响应 EAF\ 7J*  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 t=[/L]!  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 4&6cDig7*2  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 % 5BSXAc  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 U)z1RHP|z  
    lHu/pSu@k  
    GW9,%}l^;  
    +^$;oG  
    例:谐振波导光栅的角响应 nYj7r* e[  
    475jmQ{q  
    j\.e6&5%SS  
    &3*r-9BZ  
    谐振波导光栅的角响应 h@s i)5"  
    T{BGg  
    5+)_d%v=6!  
     
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