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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 +O< 0q"E  
    Yp8~wdm  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 &&iZ?JteZ  
    KFCL|9P  
    _Qy3A T~  
    HaP0;9q  
    系统内光栅建模 fV-vy]x..  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 DRldRm/  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 RB5fn+FiZ  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Evz;eobW/  
    4<S*gu*W  
    '4PAH2&n  
    }*!7 Vrep  
    附着光栅堆栈 u-W6 hZ$  
    ?Rc+H;x=f  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ,2F4S5F~rC  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Nw'3gJ:  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 Kt WG2  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 .xtjB8gc  
    !Jo3>!,j  
    y(pHt  
    c65_E<5Z  
    堆栈的方向 lVywc:X  
    lFWN [`H  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: ZeD""vJRY  
    o0-7#2  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。  \Vis  
    !B==cNq  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Ep% 5wR  
    6qA48:/F=  
    !GkwbHr+p  
    aq[;[$w  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 J@ x%TA  
    B;'Dh<J1  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 0\t k/<w2  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 {mPalo A  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 P5;LM9W  
    2e}${NZN  
    q #f U*  
    p*10u@,  
    高级选项和信息 V/Hjd`n)`i  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ,63hO.4M  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 fI%+  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Wxl^f?I`:  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 DXlP (={*  
    e{edI{g  
    ?3!"js B  
    G| pZ  
    结构分解 u,0N[.&N  
    )^UM8 s  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 [>"bL$tlo*  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 F_ ~L&jHP  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ;dl>  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 i^9PiP|U  
    !j8h$+:K  
    qO=_i d  
    hd~X c  
    光栅级次通道选择 :.!]+#Me  
    VOBzB]  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 )r v5QH`i  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 yH>`Kbf T  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 0$3\D S<E  
    ]trVlmZXH}  
    NLFSw  
    6#XB'PR2p  
    光栅的角度响应 -SaH_Nuj  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 |w2H5f{fR  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 !3>(fj+QS  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 ._m+@Uy]H}  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 '1A S66k  
    &LE,.Q34  
    ua1ov7w$]  
    _[-+%RP  
    例:谐振波导光栅的角响应 .Gv9RKgd~  
    U0'>(FP~2  
    9l2,:EQ*  
    ]Q=D'1 MM  
    谐振波导光栅的角响应 (OT /o&cQ  
    $X_JUzb  
    <=8REA?  
     
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