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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 mM_ k ^4:  
    R_ ZK0ar  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 , sjh^-;  
    N\NyXh$  
    =dZHYO^Cv  
    o.m:3!RW  
    系统内光栅建模 vDFGd-S  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 xb:&(6\F  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 +lE90y  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 29&bbfU  
    D`[Khsf  
    I|9 SiZ0  
    V`kMCE;?l  
    附着光栅堆栈 (W[V? !1  
    `JB?c  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 XJ1=m   
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 o]ePP,  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 NX[4PKJ0C  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Qkcjr]#^$  
    M}O}:1Par  
    kLj$@E`4  
    ^v&D;<&R  
    堆栈的方向 i#/]KsSp  
    - +> 1r  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: t `kui.  
    {pL+2%`~  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 */^QH@P  
    l{Dct\ #s  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 xtfBfA  
    PPkx4S_>  
    - VxDNT}Tr  
    Djq!P  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 ;G\8jP'   
    q1?&Ev^  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 ZfrVjUB  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 "ZwKk G  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 n_?tN\M  
    !-<p,z  
    7 aV%=_  
    t.p~\6Yi  
    高级选项和信息 I,yC D7l_  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 nKa$1RMO  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 V#REjsf,t-  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 U*3J+Y  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 a 2 IgC25  
    .*g0w`H5pU  
    _{<seA  
    PHOP%hI $  
    结构分解 7x);x/#8Z  
    )R`xR,H  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 GZI`jS"lU  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 #7ohQrP  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 |a1{ve[  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ~5FW [_  
    tW WWx~k  
    hj'(*ND7z  
    HY)-/  
    光栅级次通道选择 Gx`Lks  
    .*m>\>Gsgw  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 c\a_VRN>r  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 YIw1  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 `]Q:-h  
    hxQqa 0B  
    fhL,aCS=  
    /1Ue?)g  
    光栅的角度响应 DL$@?.?I  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 }=c85f~i  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ,) J~,^f6  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 $Y69@s%f  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ;>n,:355L  
    pe^u$YE  
    '!/<P"5t  
    UQ{L{H   
    例:谐振波导光栅的角响应 : q#Xq;Wp  
    `BlI@6th  
    ``wSc0\  
    BD(Z5+EU1  
    谐振波导光栅的角响应 t+9][Adf  
    '7XIhN9  
    j4qJ.i  
     
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