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摘要 Ys-^7
y_ B<Ol+)@,} 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 g-XKP I<sfN'FpT
5Wo5n7o (/-lV&eR 系统内光栅建模 hv3;irK]& 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 lVP |W:~K 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 @`6}`k 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ubi~% f$vwuW
r|<6Aae& "sD1T3!\)Q 附着光栅堆栈 Y|_O8[ o OQ'*7_ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 Q<1L`_.> 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 -;vT<G3 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 l~NEGb 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ,[Ag~.T zz&vfO31J i@XB&;*c\ 5?w.rcN[j 堆栈的方向 W+K.r?G<j 07FT)QTE 堆栈的方向可以用两种方式指定: v$;@0t:;# 9)Ly}Kzx 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1 =^ @7%.7LK 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 >nK%^T hXc}r6<B @y5= J`@= O5M2`6|As 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 []gRfM]$& Y.NE^Vn0 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 z+
ZG1\ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 T<6GcI>A 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 p31oL{D )b9_C
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!VRo*[yD@ \2 >3Opt 高级选项和信息 YQ7@D]# 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 V'I T1~ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Yz\
N&0" 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 </=3g>9Z 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 '60//"9>k/ xCq'[9oU
d8o ewkiR ^BiPLQ 结构分解 qe%V#c -?z\5z 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 nmg{%P 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;{gT=,KQ` 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 x[x(y{&~ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 g YUTt E30Z`$cz:
5gshKmt_ R$d7\nBG 光栅级次通道选择 ?-,6<K1 0X>T+A[E 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 hl]S'yr 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 R5kH0{zM 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 h/?6=D{ T,OS 0;7O
?4[NNL T?rH
,$: 光栅的角度响应 `{o$F ::( 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 O aaH$B 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 `tVy_/3(9 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 QNpuTZn#Q 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 d.AC%&W |r !G,
I_>`hTiR gr+Pl>C{ 例:谐振波导光栅的角响应 ]r959+\$ x.UaQ |F
F0.z i>5 Mk5RHDh 谐振波导光栅的角响应 hKN6 y% zJCEA
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