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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 TP/bX&bjCy  
    0QyL}y2  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 &Lbwx&!0b  
    ^}`24~|y  
    _C19eW'  
    !pHI`FeAV  
    系统内光栅建模 ,W;|K 5  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 bf.yA:~U  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 OLV3.~T  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 U }I#;*F  
    `fl$ o6S/  
    @LSX@V   
    [.6bxK  
    附着光栅堆栈 AUES;2WL  
    wFjQ1<s=  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 jv6>7@<G  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 4~8-^^  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 -$49l  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ;=1[D  
    0g; o6Fg  
    5Zmc3&vRl  
    KTwP.!<v  
    堆栈的方向 h"'}Z^  
    ?mN!9/DIc  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: `?f<hIJoz  
    {,?Gj@$  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 O}j@+p%M  
    Bwu?DK  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 JY,oXA6O  
    0k4XVd+Nv  
    +}Mm5^6*  
    ly6 dl  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 B\qy:nr j  
    nc1?c1s,f  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <fA}_BH%]  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 E,cQ9}/  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 jhBfy|Ftu  
    if3z Fh  
    Om_ "X6  
    -Owb@Nw  
    高级选项和信息 5=}CZYWB  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 `:jF%3ks+0  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 N/<c;"o  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 LabI5+g  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 l.Z+.<@  
    Wg<o%6`  
    oel?we6  
    ^NM>x Ienf  
    结构分解 5 +j):_  
    !|z!e>0  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ed`7GZB  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 kuq&; uk$Q  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 8dJ+Ei~M  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ?_ v_*+b_  
    3Jq GLR`z3  
    G({VK  
    woF {O)~X  
    光栅级次通道选择 JSaF7(a =  
    ~:|V,1  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 sP~xe(  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 <7zz"R  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Y{Lxo])e  
    @\>7 wt_'  
    Bgp%hK  
    I|;C} lfp  
    光栅的角度响应 `.]oH1\  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^t$uDQ[hA  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 (E~6fb "c  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 l)'*jZ  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 gA3f@7}d  
    #&?}h)Jr'  
    D=Yr/qc?  
    {A5$8)nl|  
    例:谐振波导光栅的角响应 )n[=)"rf  
    (m=1yj9  
    U!E}(9 tb  
    $Il  
    谐振波导光栅的角响应 {M= *>P]E  
    ic l]H  
    B@ ms Gb C  
     
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