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摘要 59^@K"J ']vX 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。
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+Kq>r|; C#I),LE|d{ 系统内光栅建模 KUyua~tF 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 Z=F=@ <! 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 Tz*5;y%4 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 //+UQgl6 Z@ws,f^e
~4`wfOvO ,+X8?9v 附着光栅堆栈 wqGZkFg1 i2j)%Gc} 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 *q0N$}k 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 Nl@Hx 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 a|7V{pp=M 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 <m(nZ'Zqz2 akqXh 9g ;%jt;Xv9 Xj-3C[8@ 堆栈的方向 Pdn.c1[-a M}5 C;E* 堆栈的方向可以用两种方式指定: 9M7P]$^ k2@IJ~ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 v%FVz _?r+SRFn 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 1QN]9R0`#7 _&z>Id`w f(_qcgXp ]52_p[hZ}< 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 8%|x) +'Ge?(E4_ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 7]v-2
* 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 TRq~n7Y7C 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 3Q ]MT =[k9{cVW
ji8Rd"S ,H%\+yn{ 高级选项和信息 7 Ow7| 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 {Y@[hoHtF 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 16+@#d%#p 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 Z~nl{P# 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ;4_n:XUgo; 14&EdTG.
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@u4 lR(&Wc\j 结构分解 drZw#b dG rA18 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 UiSc*_N" 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 W#wM PsB 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 + mcN6/ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ZRHTvxf NWpRzh8$u
wLO/2V}/ u<8Q[_E& 光栅级次通道选择 # SXXYh-e 5a`}DTB[Co 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 C[pDPx,#:G 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 w#1dO~ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 8vRiVJ8QS: meL'toaJdQ
4[ra QE gv,J{ 光栅的角度响应 8tL61x{] 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 /LD*8 a 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ,*4"d._Y 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 c5;ROnTm 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 (wfg84 dF,FH-
J$Q-1fjj a#IJ<^[8 例:谐振波导光栅的角响应 =FbfV*K9 W% [5~N
M<)2 .9xGLmg 谐振波导光栅的角响应 ;Ki1nq5c#s 3KKe4{oG
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