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摘要 Ou!)1UFI ~Jxlj(" 0( 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 @7X\tV.Z s
kY0 \V
4w9F+*- dcP88!#5- 系统内光栅建模 8E-Ip>{> 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 C=s((q* 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 D:6N9POB 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ~QO<
B2hS} *NF&Y
P;>!wU~* 9?!u2 o 附着光栅堆栈 *.,8,e8Vq 3U>S]#5} 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 `43vxcMg 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 63SVIc~wT 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 4a1BGNI%SW 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 Q>V?w gZ I,w^?o [e1\A&T pj j}K 堆栈的方向 JqQ3C}z [ns&Y0Y`t 堆栈的方向可以用两种方式指定: 7Z
VVR*n| ^`/V i 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 *:(1K%g KZi+j#7O 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 qPp]K?. .5Q5\qc= ?DJuQFv z=u~]:.1O 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 Bk@bN~B4 y+l<vJu 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 $B*qNYpPy. 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 p$B)^S%0i 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 F=:F>6` Ni&,g
twAw01". imC&pPBB/G 高级选项和信息 -=@K%\\~5 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 "sC$%D<oc 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Lqg7D\7j 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 >qr=l,Hi 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 FLw[Mg:L 9Y;}JVS
,^Ex}Z mI2|0RWI)l 结构分解
GE{8I<7c g8C+1G8 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 7$;c6_se 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ;]|m((15G 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 u!sSgx= 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ^!N;F" FI80vV7
O<gP)ZW~ L2:oZ&:u`J 光栅级次通道选择 e&r+w! =iA"; x 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 F[Qs v54 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 #u!y`lek 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 !.x=r P1M|f4*
0tn7Rkiw !H2C9l:rd 光栅的角度响应 pmE1EDPag 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 qdg= Imx 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 HJ2O@e 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 pP=_@3 D 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 U`},)$ C`=`Ce~|d
1aXIhk4 kW*W4{Fth 例:谐振波导光栅的角响应 2nOe^X!* C{lB/F/|!
x`&P}4v0 'eTpcrS3 谐振波导光栅的角响应 *}50q9)/ NpjsZcA
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