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摘要 TP/bX&bjCy 0Qy L}y2 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 &Lbwx&!0b ^}`24~|y
_C19eW' !pHI`FeAV 系统内光栅建模 ,W;|K 5 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 bf.yA:~U 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 OLV3.~T 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 U }I#;*F `fl$ o6S/
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[.6bxK 附着光栅堆栈 AUES;2WL wFjQ1<s= 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 jv6>7@<G 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 4~8-^^ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 -$49l 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ;= 1[D
0g; o6Fg 5Zmc3&vRl KTwP.!<v 堆栈的方向 h"'}Z^ ?mN!9/DIc 堆栈的方向可以用两种方式指定: `?f<hIJoz {,?Gj@$ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 O}j@+p%M Bwu?DK 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 JY,oXA6O 0k4XVd+Nv +}Mm5^6* ly6dl 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 B\qy:nr j nc1?c1s,f 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <fA}_BH%] 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 E,cQ9}/ 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 jhBfy|Ftu if3z Fh
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高级选项和信息 5=}CZYWB 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 `:jF%3ks+0 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 N/<c;"o 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 LabI5+g 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 l.Z+.<@ Wg<o%6`
oel?w e6 ^NM>xIenf 结构分解 5+j):_ ! |z!e>0 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 ed`7GZB 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 kuq&; uk$Q 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 8dJ+Ei~M 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ?_v_*+b_ 3JqGLR`z3
G({VK woF{O)~X 光栅级次通道选择 JSaF7(a = ~:|V,1 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 sP~xe( 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 <7zz"R 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Y{Lxo])e @\>7
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Bgp%hK I|;C}lfp 光栅的角度响应 ` .]oH1\ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 ^t$uDQ[hA 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 (E~6fb"c 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 l)'*jZ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 gA3f@7}d #&?}h)Jr'
D=Yr/qc? {A5$8)nl| 例:谐振波导光栅的角响应 )n[=)"rf (m=1yj9
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tb $Il 谐振波导光栅的角响应 {M=*>P]E ic l]H
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