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摘要 c,r6+oX C1;uAw?\ 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 }ekNZNcuM m~+.vk
x<l 5wh D+!T5)>( 系统内光栅建模 (f&V 7n 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 cIO/8D#zU 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 j0L%jz 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 Vx!ZF+ bSIY|/d+
%1{S{FB NN7KwVg 附着光栅堆栈 Kh3i.gm7g s>DFAu! 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 r3Ol?p 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 YMw,C:a4 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 \l=A2i7TQ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 iYLg[J" t 9(,JC0 bmHj)^v5] j/Kul}Ml\* 堆栈的方向 QO$18MBcc .B^tEBGVD 堆栈的方向可以用两种方式指定: mg*iW55g Lj /^cx 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 w8+phN(-M htYfIy{5w 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 S>5w=RK }D1?Z7p x<t?Yc9 "A[.7 w 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 p_xJKQS MZ)lNU l 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 \&d1bq 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 iw.F8[}) 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 :2
\NG} #: EhGlq8
h/5V~ :) V~Guw[RA 高级选项和信息 =glG | 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ]Y,V)41gCE 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 #}1yBxB<= 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 y@}WxSK*0 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 \HD:#a #+i5'p(4
*r4FOA%P iJZvVs', 结构分解 Ozqh Jb &OvA[<qT 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 % M_F/ O 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 WG3_(mM 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 2x gk$E$ 7 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 <}^p5| -4Q\FLC'k
,H|K3nh Nt
tu)wr 光栅级次通道选择 {_>XsB Yi-,Pb?
可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 9AWP`~l` 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 G_WFg$7G% 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 4tkb7D
q }w=|"a|,
]'<}kJtN. t%y
i3 光栅的角度响应 RSeav 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Gp_flGdGQ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 x[&)\[t 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 9G1ZW=83 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 [:izej(\ >of9m
}L`Z<h*H (Ms0pm-#t 例:谐振波导光栅的角响应 ^S|}<6~6b N+]HJ`K
Z@ec}`UO|u 6!6R3Za$ 谐振波导光栅的角响应 }Oe4wEYN) Dl?:Mh
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