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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 -Kj^ l3w  
    Ksq{=q-T  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Ld[zOx  
    1 )aB']K%  
    N U*6MT4  
    5PPV`7Xm9  
    系统内光栅建模 +oY[uF  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 7P`|wNq  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 05zBB  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 A|#9  
    +8FlDiP  
    `0tzQ>ZQq  
    -E4e8'P;5  
    附着光栅堆栈 9=D\xBd|w  
    @)>9l&  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 HR55|`]  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 b!Q|0X.?  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ).TQYrs  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 C?e1 a9r  
    l@FPTHq  
    +$:bzo_u  
    k0{5)Su"xr  
    堆栈的方向 [YY[E 7  
    M`$s dZ"  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: C>q,c3s5  
    <im BFw  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 6mJa  
     ZqQJFyV*  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 DFKU?#R  
    m}] bP  
    K@P5]}'#  
    $UMxO`F  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 }g:y!p k  
    7hq*+e  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 0^4uZeW?  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Ey$J.qw3  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 =PiDZS^"  
    =dD<[Iz6  
    ,[}5@cS  
    d/G`w{H}y  
    高级选项和信息 TC1#2nE&T  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 A.<HOx&#  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 Yxye?R-:  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 2]n"7Z8(v8  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 )A9K9pZj  
    [?mDTD8zU  
    $d M: 5y  
    9"g=it2Rh6  
    结构分解 HDU tLU d  
    E.]sX_X?  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 h_ef@ZwSw  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 %j%}iM/(<  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 Hxft~*  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 3Xgf=yG:M  
    [L 0`B9TD~  
    Jw'%[(q Q  
    {yQeLION  
    光栅级次通道选择 rr fL [  
    [Q &{#%M  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 B#'TF?HUEn  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 CZ*c["x2  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 6/@"K HHVe  
    lwhAF, '$  
    (3`Q`o;  
    i|PQNhUe  
    光栅的角度响应 mAh0xgm  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 _IJPZ'Hr  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 = R|?LOEK+  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 m RB-}  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 YRF%].A%2  
    ^~Nz8PCY  
    A6Ttx{]  
    =D.M}x qo  
    例:谐振波导光栅的角响应 ,@ A1eX}  
    _y&m4Vuu  
    ab8uY.j  
    !={Z]J  
    谐振波导光栅的角响应 R,CFU l7Q  
    ^OKCvdS  
    yCZV:R;  
     
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