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摘要 P{[@t_ AEO7I
f@ 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 z3C@0v=u> >O/1Lpl.3
bTJ l =b/:rSd$NA 系统内光栅建模
ZO\x|E!b 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 nf)y_5y 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 "Wn8}T* 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 xt=ELzu$ HWOOw&^<
OTV$8{ bO6LBSZx] 附着光栅堆栈 /A"UV\H`f L)-1( e<x 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 &eY&6I 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 L/7YI\C2 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 ;)ji3 M 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 %}1v- z ?r/)s()ALf D{G~7P\. @; 0t+ 堆栈的方向 VB&`g< o8!uvl}:9 堆栈的方向可以用两种方式指定:
7>!Rg~M -E,p[Sp 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 apw/nhQ.[ 4elA<< 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 r"_SL!,^ Z?j4WJy-[ v|@1W Uc,g w3Z;&sFd 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 1`v$R0`! 8XhGo2zf 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 (hn;C>B 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 -EIfuh 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 8}>s{u;W &)GlLpaT
+p): &T2qi' 高级选项和信息 (c|Ry[$| 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 % h"%G=: 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 +xn59V 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 _>4Qh#6K 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 }/g1s71 _(0GAz%9
!lk9U^wnd 7?a!x$-U( 结构分解 st-I7K\v M$MFUGS' 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 Yu_`
>so 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 <0!)}O 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ^;mnP=`l[ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 H&h"!+t(# +hUz/G+3
\Ws$@J-M yR4++yk 光栅级次通道选择 o6c>sh 0p[-M`D 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 .qg 2zE$0 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 H#FH'@J 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Rn5{s3?F~2 dZ%rmTE(H
v%!'vhf_K 66Bx,]"6 光栅的角度响应 $@@@</VbP 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 7]lUPLsl 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Tv /?-`Y 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 <)VNEy' 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 :<i<\TH' "d
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f/3rcYR;y >@?`n}r| 例:谐振波导光栅的角响应 t)^18 z M:d }
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26[m7\O 9M Ug/ 谐振波导光栅的角响应 Bl/Z _@ FN"Ye*d
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