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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 P{[@t_  
    AEO7I f@  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 z3C@0v=u>  
    >O/1Lpl.3  
    bTJ l  
    =b/:rSd$NA  
    系统内光栅建模 Z O\x|E!b  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 nf )y_5y  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 "Wn8}T*  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 xt=ELzu$  
    HWOOw&^<  
    OTV$8{  
    bO6LBSZx]  
    附着光栅堆栈 /A"UV\H`f  
    L)-1( e<x  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 &eY&6I  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 L/7YI\C2  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。  ;)ji3M  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 %}1v-z  
    ?r/)s()ALf  
    D{G~7P\.  
    @; 0t+  
    堆栈的方向 VB&`g<  
    o8!uvl}:9  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: 7>!Rg~M  
    -E,p[Sp  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 apw/nhQ.[  
    4elA<<  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 r"_SL!,^  
    Z?j4WJy-[  
    v|@1W Uc,g  
    w3Z;&sFd  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 1`v$R0 `!  
    8XhGo2zf  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 (hn;C>B  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 -EIfuh  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 8}>s{u;W  
    &)GlLpaT  
    +p):   
    &T2qi'  
    高级选项和信息 (c|Ry[$|  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 %h "%G=:  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 +xn59V  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 _>4Qh#6K  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 }/g1s71  
    _(0GAz%9  
    !lk9U^wnd  
    7 ?a!x$-U(  
    结构分解 st-I7K\v  
    M$MFUGS'  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 Yu_` >so  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 <0!)}O  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 ^;mnP=`l[  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 H&h"!+t(#  
    +hUz/G+3  
    \Ws$@ J-M  
    yR4++yk  
    光栅级次通道选择 o6c>sh  
    0p[-M`D  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 .qg 2zE$0  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 H#FH '@J  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Rn5{s3?F~2  
    dZ%rmTE(H  
    v%!'vhf_K  
    6 6Bx,]"6  
    光栅的角度响应 $@@@</VbP  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 7]lUPLsl  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Tv /?-`Y  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 <) VNEy'  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 :<i<\TH'  
    "d c- !  
    f/3rcYR;y  
    >@?`n}r|  
    例:谐振波导光栅的角响应 t)^18 z  
    M:d} P  
    26[m7\O  
    9MUg/  
    谐振波导光栅的角响应 Bl/Z _@  
    FN"Ye*d  
    :3.!?mOe2  
     
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