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摘要 0"L_0 t: E(oI0*S.5 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 3X&}{M:Qo /-l 7GswF
0ZXG{Gp9S ]QS?fs Z 系统内光栅建模 /t083 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 1/YWDxo, 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 w#5^A(NR 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 T0ebW
w E8~Bp-G)
4cni_m] ^{GnEqml& 附着光栅堆栈 0BM3:]=wr /bj
D*rj 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 hp]T ^ 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ,tZWPF- 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 %klC&
_g~_ 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ]N^a/&}* shOQ/ T,,,+gPx 7W6tz\Y 堆栈的方向 gjJ?*N[ kckWBL 堆栈的方向可以用两种方式指定: R;gN^Yjk: < 6[XE 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 Tt.wY=,K POQRq%w 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 jX79Nm| vcnUb$% CxC&+'; cbD&tsF 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 gf^"sfNk -aPvls 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 GQOz\ic 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 &
Me%ZM0 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 NuKktQd E-_FxBw
oO-kO!59y ^<#08L; 高级选项和信息 =l
TV2C< 在求解器菜单中有几个高级选项可用。
g-MaP 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 G/Nb@pAy[ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 -ckk2D? 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 9pD=E>4?# .olDmFQD
4hep1Kz% \-Mzs 0R 结构分解 U)%gzXTZ% #y }{ 'rF? 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 BD+V{x}P 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 %]Gm 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 *P,dR]-m 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 #;?j]npg] 5_@ u Be~
:gMcl"t-- M}E0Msq_o 光栅级次通道选择 %y{#fZHc !sA[A> 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 Gj[`r 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =l?F_ 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ,"~#s( 1@*qz\ YY
c|8[$_2 / E~)xgPM< 光栅的角度响应 zyyt` 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 G j^J pG 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 !iBe/yb 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 n4Od4&r 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Fdsaf[3[v ,2\?kPoc8
K]4XD1n7 bkfwsYZx 例:谐振波导光栅的角响应
f$Fa*O- ;fLYO6
^sz4-+> bi`{ k\3A 谐振波导光栅的角响应 56 k89o ag Za+a
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