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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 1=t>HQ  
    V E#Wb7  
    光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 b+,' ;bW  
    lAi6sPG)0  
    N|1M1EBOu>  
    e_#._Pi  
    系统内光栅建模 .+qQYDE w  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 1jCLO}  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 mN~ci 0  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 i;]"n;>+/  
    3XL#0\im?s  
    GU4'&#  
    'U1R\86M  
    附着光栅堆栈 FQm`~rA~zt  
    9`wZz~hL"  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ahuGq'  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 SFO({w(  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 -- PtZ]Z  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ?sab*$wG  
    esHg'8?U  
    l%[EXZ  
    ./,/y"x  
    堆栈的方向 [ OM7g'?S0  
    u&`XB|~  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: &7<TAo;O  
    H#@^R(  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1|RANy  
    ^.KwcXr  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 }#.L7SIJ<J  
    bW$J~ynM  
    uZM{BgXXD  
    iEd\6EZ  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 QFw  +cy  
    J]v%q,"  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 e^d0zl{  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 q ]M+/sl  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 18~>ZR  
    )#P; x "  
    :ZTc7 }  
    SNfr"2c'h~  
    高级选项和信息 a&tSj35*6  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Nd`%5%'::  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 plUZ"Tr  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 E^QlJ8  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Rec6c&5_  
    [baiH|5>  
    |?rNy=P,  
      W{%TlN  
    结构分解 {)"iiJ  
    r YogW!  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 hn^<;av=  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 #1`-*.u  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 E5)b  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 9S-Z& 2L  
    .$Ik`[+Z  
    f47Od-\-  
    0ZBJ ~W  
    光栅级次通道选择 8)O[Aq::  
    TT'[qfAI  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 vI2^tX 9  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 crqpV F]1]  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Qy.w=80kf  
    *+-}P|S:  
    XM1WfjE\  
    )=5ng-  
    光栅的角度响应 ~Q?a|mV,  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 zhpx"{_  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。  Jd%H2`  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 L{hnU7sY  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 n;(\5{a  
    k *Q<3@S  
    zN!ZyI$nqP  
    '`eO\huf  
    例:谐振波导光栅的角响应 F">Qpgt  
    "ul {d(K3  
    0(mkeIzJt/  
    Ko;{I?c  
    谐振波导光栅的角响应 D[^m{ 9_  
    D$bIo "  
    hvA^n@nr  
     
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