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摘要 ==$Ox6. oI^iL\\2h 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 \A':}<Rj g|W~0A@D
\"n&|_SZ\ nHA2p`T 系统内光栅建模 }=wSfr9g 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 ;v.l<AOE 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 )]v vp{ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 %!WQ;( '*K/K],S]
|gT$M_} 1,4kw~tA 附着光栅堆栈 ~jJu*s$? }Za[<t BWS 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 jLZ+HYyG9 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 @T1-0!TM') 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 )\t#e`3 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 puDy&T iHTxD1D+H <>p\9rVp*^ Q5baY\"9^ 堆栈的方向 GAQVeL1 l'c|I
&Y] 堆栈的方向可以用两种方式指定: nc([e9_9v jMg Ni@ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 +i{&"o4} 9-9`;Z 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 7HFw*; yh} V u 24]O0K ZcIwyh(` 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 $YFn$.70\ TqCzpf&&h/ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 !k Hpw2 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 UtY<R 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 DOf[? vbu <^OGJ}G
RfFeAg,]/ Ws'3*HAce 高级选项和信息 R$wo{{KX 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 ig3uY# 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 I9TOBn|6 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 t4
$cMf 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 e~jp< 4 dfO84Z}
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%5$yz| : *=)%T(^ 结构分解 q>f1V3 d8e6}C2v 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 x>7}>Y*( 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 HP"5*C5D 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 8+Oyhd*| 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 e*=N \$ pb6z)8
`TBau:E lI Dtt[a 光栅级次通道选择 cC b'z1 ^DM^HSm 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ^0c:ro 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 JM@MNS_||( 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 @'jC>BS8` m<hR
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gVEW*8 [$
vAjP 光栅的角度响应 q>?uB4>^ 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 S3A OT 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ="JLUq*]s 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 CZuV{Oh}? 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Ws{2+G~ Tz:mj
u#ag|b/C: oX8e} 例:谐振波导光栅的角响应 cEhwv0f!qS ?1JS*LQ$
,=.& VMe~aUd 谐振波导光栅的角响应 &Vd,{JU i9 8T+{4
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