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摘要 1=t>HQ VE#Wb7 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 b+,';bW lAi6sPG)0
N|1M1EBOu> e_#._Pi 系统内光栅建模 .+qQYDEw 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 1jCLO} 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 mN~ci 0 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。
i;]"n;>+/ 3XL#0\im?s
GU4'&# 'U1R\86M 附着光栅堆栈 FQm`~rA~zt 9`wZz~hL" 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ahuGq' 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 SFO({w( 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 --PtZ]Z 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 ?sab*$wG esHg'8?U l%[EXZ ./,/y"x 堆栈的方向 [OM7g'?S0 u&`XB|~ 堆栈的方向可以用两种方式指定: &7<TAo;O H#@^R( 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 1|RANy ^.KwcXr 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 }#.L7SIJ<J bW$J~ ynM uZM{BgXXD iEd\6EZ 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 QFw +cy J]v%q," 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 e^d0zl{ 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 q
]M+/sl 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 18~>ZR )#P;
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:ZTc7} SNfr"2c'h~ 高级选项和信息 a&tSj35*6 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 Nd`%5%':: 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 plUZ"Tr 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 E^QlJ8 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Rec6c&5_ [baiH|5>
|?rNy=P, W{%TlN 结构分解 {)"iiJ r
YogW! 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 hn^<;av= 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 #1`-*.u 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 E5)b 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 9S-Z&2L .$Ik`[+Z
f47Od-\- 0ZBJ~W 光栅级次通道选择 8)O[Aq:: TT'[qfAI 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 vI2^tX9 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 crqpV F]1] 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 Qy.w=80kf *+-}P|S:
XM1WfjE\ )=5ng- 光栅的角度响应 ~Q?a|mV, 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 zhpx"{_ 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。
Jd%H2` 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 L{hnU7sY 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 n;(\5{a k *Q<3@S
zN!ZyI$nqP '`eO\huf 例:谐振波导光栅的角响应 F">Qpgt "ul {d(K3
0(mkeIzJt/ Ko;{I?c 谐振波导光栅的角响应 D[^m{ 9_ D$bIo"
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