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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 q oz[x  
    I8\R7s3  
    光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 mS+sh'VH  
    ,fhK  
    1gX$U00:  
    /WIH#M  
    系统内光栅建模 N\fj[?f[  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 tl=e!  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 es\Fn#?O  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 zTw<9Nf  
    xqv&^,ic  
    VD+v \X_  
    p }3$7CR/  
    附着光栅堆栈 IJLuu@kRm,  
    -CTLQyj)  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 TjjR% 3  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 c + aTO"  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 0*KL*Gn  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 VP1 z"j:  
    ".kH5(:  
    -.5R.~@  
    @CKMJ^#|  
    堆栈的方向 g2YE^EKU~  
    ,9$|"e&  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: zw0u|q;#  
    l(8@?t^;  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 *EFuK8 ;  
    j 5bHzcv  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 }eSrJgF4M  
    <9S5  
     )eH?3""  
    :b,An'H  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 E=ObfN"ge  
    (bD#PQXzm  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 <Kk?BRxi  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 NZ% v{?  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 +)_#j/  
    sRC?l_n;  
    Tzfk_h3hE  
    P}he}k&IR  
    高级选项和信息 5e^z]j1Yv  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 USKC,&6&}  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 {`9J8qRY  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 "7w=LhzV[$  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 Q5*"t*L!N  
    !z]{zM%  
    % "^CrG  
       X*`b}^T  
    结构分解 4XSq\.@G  
    MTn}]blH  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 %U9f`qE  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 k>:\4uI|<\  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 %Ybr5$_  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 4H`B]Zt7  
    zG<>-?q~'  
    -~ Dn^B1^  
    e]V7 7oc  
    光栅级次通道选择 Wli!s~c5Fo  
    4Dasj8GsV  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 wif1|!aL  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 H:mcex  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 [+qB^6I+P%  
    )00jRuF  
    \\Nt^j3qR  
    ;6`7 \  
    光栅的角度响应 pAyUQe;X#  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 }*7Gq  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 WPPD vB  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 jm[f|4\  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 Pxgal4{6  
    0<nW nD,z  
    c&"1Z/tR  
    g ~%IA.$c  
    例:谐振波导光栅的角响应 o}yA{<"  
    H^g&e$d0  
    "|/q4JN)7d  
    e<"sZK  
    谐振波导光栅的角响应 afjEN y1  
    Iz&<rL;s  
    LftzW{>gI"  
     
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