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摘要 P7*?E* g|5cO3m0' 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 _g6H&no[ Su*Pd;
Nl9}*3r PKYm{wO- 系统内光栅建模 ET\rd5Po 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 UDV6 ##$ 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 !jRs5{n^Ol 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 a#m T@l\ ,$"T/yYer
6&,9=(:J&R =r^Pu| 附着光栅堆栈 A#nSK#wS61 DS0:^TLI 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 SeBl*V 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 mg<S7+ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 6nW]Q^N} 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 wSG!.Ejc7 2cko
GafG{ }a!c O]G3 l0 堆栈的方向 (*Q8!"D^6 [y(<1]i-a 堆栈的方向可以用两种方式指定: OK%d1M^8j r(I&`kF< 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 {emym$we -S
0dr8E 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 ,AyQCUz{*? HA~BXxa/ 7:n OAN}% @%I-15Jz 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 CMU\DO #%.fsJNA$ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 aR}I l& 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 -"d&Ow7o 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 fPab%>/T{ y@Ak_]{b
T:S[[#f{5 0134mw%jk 高级选项和信息 .]ZMxDZ 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 +}Qq#^:_\ 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 "$ep=h+ 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 5XinZ~ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 FTcXjWBPF9 kw5`KfG9
7xCm"jgP im"3n= 结构分解 %D E_kwL A8 j$c ~ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 7t|011< 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 U2*kuP+n 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 q uiX"lV( 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 ~jMfm~ !Er)|YP
@'JA3V} C ,[q#D4 光栅级次通道选择 EsjZ;D,c( n*A"}i`ix 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 2t:CK 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 AQgm]ex< 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 ""x>-j4 ^%}PRl9
_PGS"O?j 9bu1Ax1M 光栅的角度响应 f<*-; 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 .Tc?PmN 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 ]ujXPK=t 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 JjnWv7W3$ 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 bs?&;R.5 J6g:.jsK!
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K= X 例:谐振波导光栅的角响应 K# BZ Jcb (?#"S67
=|_k a8{? &eWnS~hJ 谐振波导光栅的角响应 SfUbjs@a ;6{{hc4
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