-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-04-22
- 在线时间1968小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 b
ri[&= Noj*K6 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 GvtK=A$b ;!f='QuA
4q.;\n fr~Eb'8
系统内光栅建模 0(i3RPIj\ 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 db 99S 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 `R0~mx&6G 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 !SuflGx,q G$,s.MSf
RQ=rB9~:ZN |47t+[b 附着光栅堆栈 b@J "b( Ucv7`W
gr 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。
KTYjC\\G 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 ;MeY@*"{ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 @PM<pEve 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 =cRmaD T;DKDga |kZ!-?9Z e/hCYoS1n 堆栈的方向 'jO2pH/% DOu^
堆栈的方向可以用两种方式指定: #pZeGI|'J zuNm!$ 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 YC;@ ^ u>;aQtK~ 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Xr^ 5Th\ }V]*FCpQ L{~ ]lUo rOOo42YW` 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 !{*yWpZ: :.=:N%3[ 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 l!}gWd,H 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 H,
3Bf 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 bbq`gEV MP}-7UA#K
`IlhLv ajkV"~w',| 高级选项和信息 (}F@0WYT^O 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 K
'I6iCrD 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 ^/Hf$tYI!` 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 n',7=~ 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 [;hkT Z42q}Fhm*R
Pg.JI:>2Ku Q.9,W=<6 结构分解 K'2N:.D: Z:^<NdKe 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 T$mT;k 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 @[joM*U 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 NI"Zocp 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 xj33g6S ommW
*DcIC]ao[ c61 1& 光栅级次通道选择 2FdwX,O. BO}IN# 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 wx-&(f 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 el<Gd.p.d 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 g_ep
5#\D N6kMl
d$o m\@ t{UWb~" 光栅的角度响应 A'![*O 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 mx1Bk9h%Xe 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 uFmpc7 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 /(||9\; 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 c='W{47 JoB-&r}\V*
B^M
L}$ nzxHd7NIZ 例:谐振波导光栅的角响应 ?!F<xi: ?mV2|;
Y&M {7 ~eTp( XG 谐振波导光栅的角响应 aiX4;'$x! ~Gc@#Msj
zI"&g]TV5
|