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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 y9V;IXhDc  
    ~ERRp3Ee ?  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Y(#d8o}}#  
    (5f5P84x  
    1jZDw~  
    "}]GQt< F  
    系统内光栅建模 /{eih]`x(  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 FT|/ WZR  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 "6`)vgI~  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 .d#G]8suF  
    ~aauW?  
    HKEop  
    bMK#^ZoH  
    附着光栅堆栈 Lyf? V(S  
    $>S}acuC  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 V'HlAQr  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 SU_] C+  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 'gk81@|  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 3]:p!Y`$  
    DWm;&RPJ  
    "lv:hz  
    &9RW9u "  
    堆栈的方向 ch)Ps2i  
    M f%^\g.}  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: Hg gR=>s  
    :o.x=c B  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 8 ACY uN\  
    S,wj[;cv4  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 aowPji$H  
    9d,]_l.sB  
    YaY;o^11/  
    JEm?26n X  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 .^)C:XiW  
    3G%XG{dg  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 $8X tI  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Fl#VKU3h  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 )L(d$N=Bd  
    JucxhjV#,  
    =7J|KoKK  
    Vav+$l|j@  
    高级选项和信息 +>i<sk  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 7fN&Q~.  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 )]>i >  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 "j.oR}s9?#  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 A&}nRP9  
    njwR~aL`|  
    {-v\&w  
    u':0"5}  
    结构分解 3@Zz-~4Td  
    ^qId]s  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 [! dnm1   
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 @E"+qPp.3  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 u\1Wkxj  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 iu6WGm R  
    =-Q  
    Z#TgFQ3u  
    @k:f}-t  
    光栅级次通道选择 QqFfR#  
    q/w6sQx$  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 1n"+~N^\  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 iM\ Z J6  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 32-3C6f@oZ  
    ;FgEE%  
    O%++0k;  
    P=SxiXsr$  
    光栅的角度响应 R/Dy05nloe  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 9tc@   
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Vm1c-,)3  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 #Zavdkw=d  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。  I^(o3B  
    1:;&wf  
    EhP&L?EL  
    c9g\7L,Z  
    例:谐振波导光栅的角响应 t 1RwB23  
    %dk$K!5D0  
    ?j4,^K3  
    gH{\y5%rO  
    谐振波导光栅的角响应 WfjUJw5x"s  
    _qzo):G.s  
    qYu!:xa8  
     
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