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摘要 y9V;IXhDc ~ERRp3Ee? 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 Y(#d8o}}# (5f5P84x
1jZDw~ "}]GQt< F 系统内光栅建模 /{eih]`x( 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 FT|/WZR 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 "6`)vgI~ 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 .d#G]8suF ~aauW?
HKEop bMK#^ZoH 附着光栅堆栈 Lyf? V(S $>S}acuC 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 V'HlAQr 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 SU_]C+ 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 'gk81@| 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 3]:p!Y`$ DWm;&RPJ "lv:hz &9RW9u " 堆栈的方向 ch)Ps2i Mf%^\g.} 堆栈的方向可以用两种方式指定: HggR=>s :o.x=c B 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 8ACYuN\ S,wj[;cv4 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 aowPji$H 9d,]_l.sB YaY;o^11/ JEm?26n X 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 .^)C:XiW 3G%XG{dg 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 $8X tI 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 Fl#VKU3h 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 )L(d$N=Bd JucxhjV#,
=7J|KoKK Vav+$l|j@ 高级选项和信息 +>i<sk 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 7fN&Q~. 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 )]>i> 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 "j.oR}s9?# 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 A&}nRP9 njwR~ aL`|
{-v\&w u':0"5} 结构分解 3@Zz-~4Td ^qId]s 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 [!dnm1 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 @E"+qPp.3 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 u\1Wkxj 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 iu6WGmR =-Q
Z#TgFQ3u @k:f}-t 光栅级次通道选择 Qq FfR# q/w6sQx$ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 1n"+~N^\ 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 iM\ZJ6 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 32-3C6f@oZ ;FgEE%
O%++0k; P=SxiXsr$ 光栅的角度响应 R/Dy05nloe 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 9tc@
对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Vm1 c-,)3 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 #Zavdkw=d 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 I^(o3B 1:;&wf
EhP&L?EL c9g \7L,Z 例:谐振波导光栅的角响应 t1RwB23 %dk$K!5D0
?j4,^K3 gH{\y5%rO 谐振波导光栅的角响应 WfjUJw5x"s _qzo):G.s
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