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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 /FXb,)1t  
    pPsTgGai  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 W"/,<xHuh  
    X..M!3W  
    ( q*/=u  
    ?jO<<@*2S  
    系统内光栅建模 %QDAog  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 Y"5FK  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 p&(z'd  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 %j0c|u  
    I&8!V)r)  
    I7XM2xM  
    KxmB$x5-=8  
    附着光栅堆栈 R90chl   
    JvT#Fxjk  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 ]$)};8;7W  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 \ Ho VS  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 2CtCG8o  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 _NuHz  
    /$qB&OWJn  
    ,uO?f1  
    =AK6^v&on  
    堆栈的方向 Z~ q="CA4  
    F9_X^#%L  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: r,,*kE  
    J=t}N+:F`b  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 *W}nw$tnBX  
    q/7T-"q/G  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。  X|TGM  
    A9HgABhax  
    ]R"n+LnI:=  
    ;cv\v(0  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 !M6Km(>  
    A8nf"mRD:  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 PVq y\i  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 $xcU*?=K  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 0a$hK9BH  
    cpq0' x\  
    @`sZV8  
    >Co@K^'  
    高级选项和信息 5zJ#d}%}S"  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 d$D3iv^hyx  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 u"q!p5P%q  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 L~M6 ca"  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 #=fd8}9  
    y9GaxW* &  
    / vzwokH  
    G;msq=9|  
    结构分解 pKL^ <'w0  
    SP|Dz,o  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 {bp~_`O  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 B&lF! ]  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 4y9n,~Qgw  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 SI l<\  
    V/DdV}n!  
    bJ.68643  
    5~omZ,qe  
    光栅级次通道选择 pc_$,RkN  
    }~Y#N  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 /I#SP/M&l  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 FU(s jB  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 w5&,AL:  
    ld23 ^r  
    ,OO0*%  
    TCO^9RP<  
    光栅的角度响应 I^y,@EHR  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 cM+s)4TPL  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 Z}6H529[  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 $Xo_C_:B  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 G0$,H(]~  
    $30lNZK1m8  
    BB m;QOBU  
    Si%K|$?@  
    例:谐振波导光栅的角响应 >RT02Ey>  
    !Zf)N_k  
    ~C],?X(zk  
    ]2B=@V t,  
    谐振波导光栅的角响应 U_c9T>=  
    J\kv}v  
    t[cZ|+^]  
     
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