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摘要 !8*lU2 85?;\5%- 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 w;;9YFBdM ^xm%~
3t9Weo) WT63ve 系统内光栅建模 6|n3e,&A2 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 'e/wjV 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 d$hBgJe>N 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 =}zSj64 H)+QkQb}
f0&% v=d16 附着光栅堆栈 %+^Qs\j )$ M2+_c 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 PdtL
Cgd 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 h:RP/0E 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 EpH_v` 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 |j~l%d*<w ?4^ 0xGyE m!5Edo-;< dci<Rz`h 堆栈的方向 $,P:B%] k.z(.uc= 堆栈的方向可以用两种方式指定: ,l Y4WO uP+VS>b 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 7[PEiAI SA7(EJ95 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 v&bG`\ ! n*Uk<_WA A,BYi$ <v'&Pk< 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 T7%!JBg@ tj$[szo 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 n}I?.r@e 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 K{{_qFj@<y 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 xx(C$wCJ 0EF~Ouef
k%FA:ms|k &a;?o~%*]i 高级选项和信息 r0 )ne|&Hp 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 a eeor 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 QeG9CS)E}j 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 fP V n; 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 w7o`BR 6tndC
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4A6Yl6\Y r`.N? 结构分解 0'fswa) uO`MA%
z< 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 c%J6!\ 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 Z sTtSM\Ac 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 :#pdyJQ_ 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 qfyZda0d >
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{@^;Nw%J -(8I ?{"4i 光栅级次通道选择 k=hWYe$iAz $Sgf jm 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 0(D^NtB7 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 =O![>Fu5 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 {K]5[bMT /.Ak'Vmi
e~9O#rQI ^AS\a4`/ 光栅的角度响应 xi=ApwNj 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 /Hyz]46 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 .$%p0Yx+ 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 (~=.[Y 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 ttzNv>L, 4hL%J=0:
2Wz8E2. CWn\KR 例:谐振波导光栅的角响应 I6W`yh`I) sjr,)|#[
IOcQI:4.` G%<}TI1} 谐振波导光栅的角响应 c=oDzAzuV\ z-5`6aE9<
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