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    [技术]用于一般光学系统的光栅元件 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-07-03
    摘要 & Q|f*T  
    ijR*5#5h  
    光栅光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 XO8 H]  
    ~Krg8s!F&  
    iNaC ZC  
    ~-o^eI4_  
    系统内光栅建模 =Un6|]  
     在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 d}^ :E  
     这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 }I'>r(K  
     光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 qH}62DP3  
    r4z}yt+  
    ix_$Ok  
    #L)4 |  
    附着光栅堆栈 E<fwl1<88  
    &_Xv:?  
     为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 'f$?/5@@  
     元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 njx\$,ruN  
     参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 !x!L&p  
     所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 SgQmYaa&  
    -`ys pE0?  
    pCud` :o"  
    XDv7#Tv_wv  
    堆栈的方向 3YZ3fhpw  
    D%";!7u  
    堆栈的方向可以用两种方式指定: c]/O^/  
    ?X5glDZ$  
    它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。 c#4ZDjvm6  
    IWbp^l+!t  
    请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 {)dEO0 p  
    @"#gO:|[i0  
    e"&9G}.f  
    5qAE9G!c  
    基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 kgI.kT(=  
    KE|u}M@v6  
     作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 dpOL1rrE  
     然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 ZkV vL4yIK  
     平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 MRY)m@*+6  
    8G^B%h]  
    "Qm~;x2kB  
    A`ertSlbhe  
    高级选项和信息 }5c'ui!3H  
     在求解器菜单中有几个高级选项可用。 vpr @  
     求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 k=q%FlE  
     既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 R~mMGz  
     如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 RBp(dKxM$w  
    *Uw#  
    jwE(]u  
    Ph!NY i,  
    结构分解 %X-&yGY  
    E/Gs',Y  
     结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 3@WI*PMc  
     层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ."@a1_F|  
     此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 wQ/@+$>  
     分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 d'@H@  
    |$*9j""u  
    )-Sl/ G  
    @42lpreT  
    光栅级次通道选择 \?]HqPibx  
    q,h.W JI  
     可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 KcyM2hE7  
     并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 {xb%P!o`  
     光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 F#C6.`B  
    U3iyuE  
    kQiW5  
    /r 2.j3:l  
    光栅的角度响应 /01(9(  
     在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 Qmh(+-Mp(  
     对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 vWfef~}~  
     不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 l4.@YYzbp.  
     为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。 n7YWc5:CaL  
    :usBeho  
    f(ec/0W  
    /P:WQ*  
    例:谐振波导光栅的角响应 9'L0Al~L  
    @T=HcUP)  
    &=t(NI$  
    M/`z;a=EP  
    谐振波导光栅的角响应 .&!{8jBX  
    |4*2xDcl  
    K OHH74}_  
     
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