-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-04-29
- 在线时间1766小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 k
x?m "a% ~c\iBk 光栅是光学中最常用的衍射元件之一。如今,它们经常被用于复杂的系统中,并与其他元件一起工作。在这种情况下,非常需要将光栅不仅仅是作为孤立的元件来模拟,而是与系统的其余部分结合,以评估整个系统性能。VirtualLab Fusion提供了一个独特的光栅元件,允许在光路中轻松地包含各种不同形状的光栅,无论是一维周期光栅(层状),二维周期光栅,或体(布拉格)光栅。本用例介绍了该元件的功能,包括光栅级次的设置和堆栈的定位。 x)0''}E~ #-<n@qNg[
^VOA69n>$ Kt*kARN? 系统内光栅建模 W|I<hY\X 在一般光路中,光栅元件可以插入到系统的任何位置。 q L-Ni 这使得在一个复杂的系统中对光栅进行建模,并因此评估整个系统的性能成为可能,同时考虑光栅的可能影响。 cAQ_/> 光栅元件可以通过元件 > 单个表面&堆栈 > 光栅找到。 ={k_
(8] k>V~iA
\;FE@ ny'wS 附着光栅堆栈 2E$K='H:, :RG=3T[ 为了描述系统内的光栅,光栅堆栈总是附着在一个虚拟参考面上(仅平面)。 PFSh_9.q 元件的大小仅用于在3D光线追迹视图中显示;仿真中不考虑孔径效应。 dm~Uj 参考面可以在三维系统视图中可视化,以帮助排列光栅。 \jCN ]A< 所应用的光栅结构可以是一维周期(层状),也可以是二维周期(交叉光栅)。 'u84d=*l d>1cKmH! $MYAYj9r) {=Z _L?j 堆栈的方向 VTl\'>(Cl #!>QXiyR 堆栈的方向可以用两种方式指定: 87ptab@ y8Oz4| 它既可以应用在表面的正面,也可以应用在背面(在固体标签中定义)。
m.b}A'GT 9 .3?$( 请注意,如果堆栈位于正面,堆栈将绕Z轴旋转180°。这会影响堆栈的内部坐标系,需要在定义高度轮廓时加以考虑。 Lyy:G9OV /$=<RUE mrGfu:r ^$x1~}D 基底的处理、菲涅耳损耗和衍射角 -A(]U"@n 2SRmh!hr 作为一种惯例,往往忽略基底的影响,例如衍射效率的计算。 CYn56eRK 然而,任何实际的光栅结构必须建立在基底上,因此,我们使用一个平面元件和中间的自由空间延伸对其进行建模。 K4vOy_wT 平面的建模包括菲涅耳效应(S矩阵求解器)。 r=cm(AHF >^bSjE
|FP@NUX\ r=Od% 高级选项和信息 hEk0MY 在求解器菜单中有几个高级选项可用。 M}\p/r= 求解器选项卡允许编辑所使用FMM(“傅里叶模态法”,也被称为RCWA,“严格耦合波分析”)算法的精度设置。 +8Q5[lh2]j 既可以设置考虑的总级次数,也可以设置倏逝级次数。 r3mmi5 如果考虑金属光栅,这可能是有用的。相反,对于介质光栅,默认设置就足够了。 ]wHXrB8vx VxqoE]Dh
n h&[e B.F~/PET 结构分解 hnTk)nq5# t+IrQf,P[ 结构分解选项卡提供了关于结构分解的信息。 _`d=0l*8 层分解和转换点分解设置可以用来调整结构的离散化。默认设置适用于几乎所有光栅结构。 ^"GDaMF 此外,还提供了有关层数和转换点数的信息。 #QM9!k@9k 分解预览按钮提供了用于FMM计算的结构数据的描述。折射率用色标表示。 BRF4p: [+(fN
X(qs]: !vGJ7 光栅级次通道选择 B"3uuk8 [ n2)6B\/ 可以定义具体的透射和反射级次,以供模拟中考虑。在表面被从背面照明的情况下,也可以有不同的级次。 ;9)A+bD] 并不总是需要考虑所有的衍射级,我们建议只使用那些感兴趣的,以确保更有效的模拟。 byN4?3F 光栅级次通道的选择不影响FMM计算中的内部衍射级次(即精度)。 >7(7 (yv)zg9
hpOK9 :S=!]la0h 光栅的角度响应 V1
{'d[E* 在VirtualLab Fusion中,光栅元件的运算符通过FMM(又名RCWA)在k域中建模。 CQh6;[\: 对于给定的光栅,其衍射行为与输入场有关。 TFYp=xK( 不同波长/偏振态下的衍射效率不同,不同入射角度下的衍射效率也不同。 m.&"D>
\t 为了解决角度相关的衍射行为,可能需要指定k域(角空间)的采样点。请参阅下面的示例以进一步说明。
CJf4b:SY@ 7i0;Ss*
~ea&1+Z[3 w|(
ix;pK 例:谐振波导光栅的角响应 }c,:uN M|IgG:a;T
<hB~|a<# ]>oI3&6s 谐振波导光栅的角响应 mt]50}eK RWdx)qj{
PmlQW!gfBi
|