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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 ^ K|;~}P  
     L93l0eEt  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 *Kyw^DI  
     Rfn9s(m  
    Xm+8  
    -r#X~2tPzD  
    建模任务 0ph{  
    vK(i 9>;7  
    _C.BFE _p  
    hbU+Usx  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +$X#q8j06  
    qL5{f(U4<  
    系统建模块 Tq NadHQ  
    Mmj;'iYOwF  
    w0|gG+x jS  
    jxiC Kx,G  
    特定位置的Talbot图案 np%\&CVhN  
    ~CtL9m3tO  
     x8!ol2\`<  
    $=5=NuX  
    特定位置的Talbot图案 nM\eDNK  
    Q F-LU  
    Ib|Rf;J~-  
    不同位置的Talbot图案 GQ*wc?f3  
    |UP `B|  
      e`d%-9  
    Kh(ZU^{n  
    不同位置的Talbot图案 D,;\o7V  
    !E,A7s  
     !h(|\" }  
    V~S0hqW[  
    沿 Z 轴的强度 kgy:Q'  
    cUqke+!  
      |?Frj  
    >RPd$('T  
    VirtualLab Fusion技术 IGS1|  
    e?`5>& Up  
     Ob}?zl@  
     
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