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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 wxB HlgK4z  
     F~=kMQO  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 J8\l'} ?&  
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    建模任务 KPy)%i  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 2wO8;wiA  
    [[_>D M  
    系统建模块 Mm,\e6#*  
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    特定位置的Talbot图案 >#n"r1  
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    特定位置的Talbot图案 vg?(0Gasm*  
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    不同位置的Talbot图案 [pms>TQ2  
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    不同位置的Talbot图案 LTBH/[q5  
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     P;(@"gD8z5  
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    沿 Z 轴的强度 Hwd^C 2v  
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    VirtualLab Fusion技术 QNE/SSL  
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