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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 sh|@X\EZO  
     c/bIt  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 `tZ-8f  
     vI)-Zz[3  
    O5;$cP:  
    =5PNH2  
    建模任务 &1k2J   
    a`:ag~op@&  
    >AsrPU[  
    [p7cgHSMt  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Cc7YjsRW  
    bOKgR{i  
    系统建模块 {8YNmxF#  
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    kq m$a  
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    特定位置的Talbot图案 \@ j YY~  
    Gx.iZOOH/  
     =@UgCu>=  
    a/(IvOy#6  
    特定位置的Talbot图案 AzwG_XgM)  
    MK*WStY  
    6)QJms  
    不同位置的Talbot图案 .@(+.G  
    P%-@AmO^_  
     E(l'\q'.  
    .gPXW=r  
    不同位置的Talbot图案 !oDX+hd,%>  
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     W%)uKQha  
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    沿 Z 轴的强度 s?j` _ B  
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    ~sd+ch*  
    VirtualLab Fusion技术 f"8!uE*;  
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