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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 y_#wR/E)u{  
     ?H?r!MZ%  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 eu;^h3u;b  
     K-5)Y+| >  
    p04w 83 jX  
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    建模任务 Q0-~&e_'  
    zYsGI<4  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Y$^QH.h  
    x.RZ!V-  
    系统建模块 6qf`P!7d]M  
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    ?`$4ZDM  
    特定位置的Talbot图案 fM{Vy])J  
    ZW"J]"A  
     7Jk.U=vY  
    t!GY>u>`  
    特定位置的Talbot图案 Y*f<\z(4  
    k,,}N 9  
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    不同位置的Talbot图案 *XuzTGa"  
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    不同位置的Talbot图案 *:(t.iL  
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    沿 Z 轴的强度 -}s?!Pg>  
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    VirtualLab Fusion技术 ,bJx| K  
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