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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 d\|!Hg,  
     eW|^tH  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 I@\OaUGr+  
     zSb PW 6U  
    -GLMmZJt  
    ]~Y<o  
    建模任务 +MmHu6"1  
    G\T fL^A  
    h;3cd0  
    ^_lzZOhG  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) -(K9s!C!.  
    x`6<m!d`  
    系统建模块 z2Z^~, i  
    'w1YFdW  
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    特定位置的Talbot图案 }%D^8>S  
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    c&L"N!4z  
    特定位置的Talbot图案 4V~?.  
    YtO|D  
    W0}B'VS.I  
    不同位置的Talbot图案 awz;z?~  
    "+unS)M;Y  
     ur$l Z0  
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    不同位置的Talbot图案 K(q-?n`<  
    <I"S#M7-s  
     `7H4Y&E  
    MeUaTJFEB  
    沿 Z 轴的强度 |2KAo!PI  
    (dv]=5""  
     + T8B:  
    NssELMtF!g  
    VirtualLab Fusion技术 v%ioj0,  
    a.z;t8  
     f^VP/rdg  
     
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