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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 +'nMy"j1  
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    在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 o"_'cNAz  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 5$+ssR_?k  
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    特定位置的Talbot图案 Q WEE%}\3}  
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    不同位置的Talbot图案 P^48]Kj7  
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    VirtualLab Fusion技术 %^vT7c>  
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