切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 758阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7060
    光币
    29445
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 +'nMy"j1  
     g4952u  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 o"_'cNAz  
     u8M_2r  
    `#vbV/sM  
    k[,0kP;  
    建模任务 '$?!>HN4  
    3dSC`K  
    )a x>*  
    JbQY{z!  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 5$+ssR_?k  
    xc\zRsY`  
    系统建模块 b6p'%;Y/  
    D /GE-lq  
    y%spI/(  
    e<[ ] W4"A  
    特定位置的Talbot图案 " 0m4&K(3,  
    1j:aGj>{  
     fc9@l a  
     ?r@^9  
    特定位置的Talbot图案 Q WEE%}\3}  
    =0!j"z=  
    Z# bO}!  
    不同位置的Talbot图案 S!+>{JyQ  
    :7mHPe }(  
     / *PHX@  
    w6WPfy(/2  
    不同位置的Talbot图案 P^48]Kj7  
    S#$Kmm |  
     ??U/Qi180  
    >#k- ~|w  
    沿 Z 轴的强度 V)N{Fr)&  
    h /^bRs`;  
     D79:L:  
    RtzSe$O  
    VirtualLab Fusion技术 %^vT7c>  
    WmN( (  
     ]bY]YNt{7]  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表