切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 846阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7180
    光币
    30041
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 g#nsA(_L  
     zYJ`.,#C 5  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 aZ3 #g  
     SL 5DWZ  
    m64\@ [  
    WSccR  
    建模任务 X \ZUt >  
    S5 vMP N  
    I{UB!0H  
    (:k`wh&  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) QN5N h s  
    0`zq*OQ  
    系统建模块 BrmFwXLP"  
    j'b4Sb s-f  
    6>7LFV1tvy  
    -mdPqVIJn:  
    特定位置的Talbot图案 j-E>*N}-_  
    e' ;c8WF3E  
     o6%f%:&  
    XYVeHP!  
    特定位置的Talbot图案 *3oQS"8  
    wpMQ 7:j  
    8j +;Xlh  
    不同位置的Talbot图案 E*"E{E7  
    I=I%e3GEm  
     "2j~3aWj  
    Z4sjH1W  
    不同位置的Talbot图案 9jBr868  
    0 1w/,r  
     `G{t<7[[;  
    ^?`,f>`M  
    沿 Z 轴的强度 'v)+S;oB  
    v)pWx0l=  
     1#RA+d(  
    RtEkd_2  
    VirtualLab Fusion技术 ?E+XD'~  
    'm ((G4  
     }Ec"&  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表