切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 888阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7340
    光币
    30841
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 b0E(tPw5c  
     M!=v"C#  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 v>g1\y Iw  
     QA.B.U7!  
    (H+'sf^h  
    n<lU;  
    建模任务 -MHu BgYJ-  
    I~"-  
    6%ID*  
    pZGs o  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 8pDJz_F!{  
    8dUwJ"<5  
    系统建模块 |MMr}]`  
    Qoq@=|7kxa  
    `X^ 4~6/q  
    F f& VBm  
    特定位置的Talbot图案 jzEimKDE's  
    \I,<G7!0  
     7=T0Sa*;  
    J~<:yBup}  
    特定位置的Talbot图案 uz Z|w+3O  
    )J (ekfM  
    DfV_08  
    不同位置的Talbot图案 r9s1\7]x  
    yQ+#Tlji  
     gNs@Q !  
    N ~M:+ \  
    不同位置的Talbot图案 ,)GCg@7B  
    FPFt3XL  
     f*5=,$0  
    r-Z'  
    沿 Z 轴的强度 7\a(Imq  
    [b;Oalw  
     ~z|/t^  
    C)#:zv m  
    VirtualLab Fusion技术 S3qUzK  
    $am7 xd  
     6tG9PG98q9  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表