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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 ;&$f~P Q  
     DVjwY_nG7  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 m.Ki4NUm  
     bVOJp% *s  
    >*WT[UU  
    \nU_UH  
    建模任务 F<J`1 :  
    c+501's  
    ["sm7yQ  
    @bZ,)R  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6Cgc-KNbk  
    hkx(r5o  
    系统建模块 uLSuY}K0  
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    Z31a4O  
    6@FGt3y  
    特定位置的Talbot图案 ^J)0i_RS  
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    特定位置的Talbot图案 :ka^ ztXG  
    QBb%$_Z  
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    不同位置的Talbot图案 %|'VucLx  
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    {'yr)(:2M  
    不同位置的Talbot图案 |z?c>.  
    (e4 #9  
     gjk;An  
    /6:qmh2  
    沿 Z 轴的强度 /xCX. C  
    j+("4b'  
     BbhC 0q"J  
    E_\V^  
    VirtualLab Fusion技术 +mC?.B2D  
    1v 4M*  
     f<M!L> +M6  
     
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