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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 R A:jzht  
     XCDSmZ  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 _%Bz,C8  
     ?O??cjiA@  
    N{8"s&  
    4qhWm"&CM  
    建模任务 W>B^S  
    k#O,j pbB  
    l&Z Sm  
    GnFs63  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) rK7W(D}  
    '-vE%U@<  
    系统建模块 o0ZIsrr  
    -ynBi;nH  
    9Bz0MUbrLl  
    f1mHN7hxW  
    特定位置的Talbot图案 3HZ~.  
    xjo;kx\y^  
     d?A}qA[(  
    k=[pm5ZvT~  
    特定位置的Talbot图案 `>6T&  
     ~,"N[Q  
    fkjeR B  
    不同位置的Talbot图案 =O!|IAe#  
    xRum*}|4  
     BOvF)4`  
    V1B(|P  
    不同位置的Talbot图案 \M{[f=6llh  
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     |;+qld[4z  
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    沿 Z 轴的强度 gZO&r#   
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     mdW~~-@H  
    K R,z^9  
    VirtualLab Fusion技术 `'i( U7?  
    Xc*U+M >U  
     u%3i0BajY  
     
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