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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 K!D_PxV  
     /Xu;/MMpd3  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 4'{hI;&a&  
     &v auLp  
    itC *Z6^  
    \;B$hT7z*  
    建模任务 sPE)m_u  
    1^60I#Vr@  
    27*(oT  
    'e<HPNi)  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ycl>git]  
    "\zj][sL  
    系统建模块 r8 Zyld_@  
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    "x.6W!  
    特定位置的Talbot图案 Y( V3P nH  
    yYG3/Z3u5  
     5&-j{J0iV  
    |auX*hb9  
    特定位置的Talbot图案 ~D -JZx  
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    不同位置的Talbot图案 FD XWFJ  
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    不同位置的Talbot图案 C)J_lI{^  
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    沿 Z 轴的强度 5D]30  
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    R8=I)I-8  
    VirtualLab Fusion技术 SLQ\Y%F  
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