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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 /5/gnp C  
     7(X z%v   
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 W+63B8)4  
     ^g|cRI_"  
    X?[ )e  
    S4 Uu/EX6S  
    建模任务 ~CkOiWC0  
    GVJ||0D  
    A]5];c  
    R'zi#FeP  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;5.&TQT  
    ,!@MLn  
    系统建模块 +x}9a~QG#  
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    72"H#dy%U  
    Q2- lHn^L:  
    特定位置的Talbot图案 Tn1V+)  
    Gj-nT N  
     TUC)S&bC  
    T:Nk9t$W7@  
    特定位置的Talbot图案 hEu_mw#  
    oC49c~`8  
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    不同位置的Talbot图案 +llb{~ZN  
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    不同位置的Talbot图案 th[v"qD9G  
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    沿 Z 轴的强度 N;'c4=M~(  
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    VirtualLab Fusion技术 gh ?[x.U  
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