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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 {%w!@-  
     BF{w)=@/'  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 y{q*s8NY  
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    建模任务 X\p,%hk \  
    (2?G:+C 7  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 1 4 LI5T  
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    系统建模块 }U@m*dEG  
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    特定位置的Talbot图案 h5 Vv:C  
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    不同位置的Talbot图案 Z,N$A7SBE  
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    不同位置的Talbot图案 ujW1+Oj=~  
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    沿 Z 轴的强度 a :SQ16_?  
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    VirtualLab Fusion技术 b(GFMk  
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