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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 CX>QP&Gj  
     'd<1;Ayw  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 5jcy*G}[  
     M/8EaQs}  
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    *U|2u+| F  
    建模任务 a0B,[i  
    9M .cTIO{  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Ky[-ZQQo=5  
    :c&F\Q=  
    系统建模块 t1]sv VX,w  
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    特定位置的Talbot图案 @-jI<g  
    8$6^S{M3  
     Cn8w}) B  
    ,*{9g6  
    特定位置的Talbot图案 UE%~SVi.#  
    ]1i1_AR'`  
    vsCy?  
    不同位置的Talbot图案 VaFv%%w  
    An3%@;  
      *4{GI D  
    P }$DCD<$U  
    不同位置的Talbot图案 w!/se;_H+w  
    A>Oi9%OY:  
     v.e~m2u_F  
    DTSK*a`  
    沿 Z 轴的强度 xrC b29{  
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    Bis'59?U_  
    VirtualLab Fusion技术 ; Uf]-uS  
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