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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 ".Lwq_  
     EA@p]+P  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 -[\+~aDH,  
     )TNAgTmqK  
    $]eU'!2)  
    GabY xYK  
    建模任务 !/pE6)a  
    JO*}\Es  
    v6r,2Va/  
    M<'AM4  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) #SNwSx&  
    i9KQpWG:  
    系统建模块 S.,om;`  
    kNW}0CDgs  
    v(uYso_  
    v[S>   
    特定位置的Talbot图案 _T,X z_  
    $LxfdSa  
     K5; /  
    ~zEBJgeyh  
    特定位置的Talbot图案 9 gt$z}oU  
    N_#QS}H  
    rnB-e?>  
    不同位置的Talbot图案 h_O6Z2J1  
    +k@$C,A  
     D]NfA2B7  
    )?@X{AN&  
    不同位置的Talbot图案 85$W\d  
    &YAw~1A  
     +4<Ij/}p  
    :nk$?5ib  
    沿 Z 轴的强度 lJe=z  
    ==$>M d  
     rlQ4+~  
    $JH_  
    VirtualLab Fusion技术 Q]9g  
    xp+Z%0D  
     Tnw0S8M  
     
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