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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 r^5jh1  
     QD4:W"i  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 $@.jZ_G  
     V%51k{  
    9`Vc  
    RB;BQoGX  
    建模任务 3[VNsX  
    8wmQ4){  
    9.s,:?5e  
    Z0\Iyc G  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 4K7{f+T  
    y/tSGkMv  
    系统建模块 30d#Lq  
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    N2FbrfNFa  
    iRve)   
    特定位置的Talbot图案 B;W(iI  
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     B}\BeFt'  
    ^P$7A]!  
    特定位置的Talbot图案 !\x?R6K  
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    不同位置的Talbot图案 kEP<[K  
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    不同位置的Talbot图案 >>7aw" 0  
    9)lZyE}   
     PGX+p+wB  
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    沿 Z 轴的强度 vr4S9`,  
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    VirtualLab Fusion技术 vGN3 YcH  
    =DMbz`t  
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