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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 79J-)e9  
     -PB[-CX  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 WUdKLx %F  
     kW=z+  
    a.F Al@Br  
     EEy$w1ec  
    建模任务 Zwt;d5U  
    4NVV5_K a  
    JEn3`B!*  
    &FdWFt=X  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ye 6H*K  
    Ru!He,k7  
    系统建模块 z(RL<N%  
    ]pA(K?Lbg  
    H( -Y  
    yWPIIWHx!  
    特定位置的Talbot图案 dP$GThGl  
    s)A<=)w/e  
     &YP#M |  
    %rQuBi# 1f  
    特定位置的Talbot图案 ,n,RFa  
    P'@<:S|  
    jP vDFT^d/  
    不同位置的Talbot图案 %9C@ Xl  
    zkM"cb13q/  
     !X >=l  
    q*jNH\|  
    不同位置的Talbot图案 #4LFG\s  
    9V uq,dv  
     ;Z[]{SQ  
    +H/jK@  
    沿 Z 轴的强度 Y>."3*^  
    D:\g,\Z  
     pV p:@0h  
    qMBR *f  
    VirtualLab Fusion技术 z"4]5&3A  
    Cm$1$?J  
     f},oj4P\  
     
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