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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 gIS<"smOo  
     vJkY  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 < J=9,tv<  
     >JVZ@ PV H  
    ^{8r(1,  
    C=}YKsi|R|  
    建模任务 %n`wU-?lK  
    fZ6lnZ  
    }p0|.Qu9  
    XW6Ewrm=vT  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kS[xwbE  
    uzL)qH$b  
    系统建模块 sW 7R&t!G  
    8$<jd^w  
    mM"!=' z  
    &eq>>  
    特定位置的Talbot图案 AE1!u{  
    FbQ"ZTN\;Y  
     P?*$Wf,~n  
    gq`gitu0  
    特定位置的Talbot图案 +_uT1PsBY  
    !+& "y K@J  
    uWR\#D'  
    不同位置的Talbot图案 zN JK+_O=  
    [ Y.3miE  
     $x]'6  
    [*w^|b ?  
    不同位置的Talbot图案 YC4S,fY`  
    6=2M[T  
     7{j9vl6  
    2SEfEkk  
    沿 Z 轴的强度 Pq`]^^=be'  
    %"V Y)  
     aoQK.7  
    v-2O{^n  
    VirtualLab Fusion技术 >5)E\4r-  
    |Vc8W0~0  
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