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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 CL/8p;  
     rtcY(5Q  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 (bH*i\W  
     = ! D<1<  
    eK\ O>  
    *LJN2;  
    建模任务 "dwx;E  
    oD_'8G}  
    "El$Sat`  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ~X;r}l=k<  
    {xr!H-9ZAA  
    系统建模块 MNip;S_j  
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    UNLy{0tA  
    m MO:m8W  
    特定位置的Talbot图案 @ =x=dL(  
    hnS ~r4  
     E@QsuS2&  
    !!f)w!wW  
    特定位置的Talbot图案 Er} xB~<t  
    "^~f.N  
    CD1}.h  
    不同位置的Talbot图案 (_-<3)q4  
    c>d+q9M  
     }S'+Ytea  
    m<00 5_Z0Q  
    不同位置的Talbot图案 Uj}iMw,  
    Z[KXDQn8  
     ~$w-I\Q!  
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    沿 Z 轴的强度 `/ix[:}m^  
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     V_Kpb*3  
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    VirtualLab Fusion技术 7(na?Z$  
    cl{x5>.'#  
     uy{mSx?td  
     
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