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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 IC7S +v  
     V0WFh=CM@  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 r*l:F{  
     ddD $ 4+  
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    {utIaMb]&v  
    建模任务 7[ra#>e8'  
    7e-l`]  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) G(~"Zt}?  
    K:eP Il{JE  
    系统建模块 d<v>C-nk%  
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    特定位置的Talbot图案 \YBY"J  
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    特定位置的Talbot图案 x~tG[Y2F?  
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    不同位置的Talbot图案 29#;;n}p  
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    不同位置的Talbot图案 i.Qy0  
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    VirtualLab Fusion技术 &4yI]  
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