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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 uvRX{q 4  
     OGcW]i  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 KP`Pzx   
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    @zJiR{Je-U  
    建模任务 d/b\:[B@  
    '(zP;  
    wkY$J\J  
    ^e]h\G  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) /vPr^Wv  
    y,6KU$G  
    系统建模块 NOFH  
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    z%nplG'~|  
    特定位置的Talbot图案 LlD=c  
    K."W/A!  
     Z?qc4Cg  
    y"iK)SH  
    特定位置的Talbot图案 <.{OIIuk  
    7HJH9@8V  
    Y}h&dAr  
    不同位置的Talbot图案 DG,m;vg+  
    BnG{) \s  
     V"T5<HA9  
    [xXV5 JU  
    不同位置的Talbot图案 !{!(yP_  
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    沿 Z 轴的强度 Icx)+Mq  
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    VirtualLab Fusion技术 miV8jaV  
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