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摘要 o.Ww.F x]YzVJ =Y 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 UQkd$w< F
]X<q uuL 7>im2"zm %wl:>9] 建模任务 9Znc|< sh,4n{+ YL`ML t4MC G "+[@| structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) +uF}mZS^ 5f_x.~ymA 系统建模块 _LgP Vxrj(knck, w8S
pt V* JqC 特定位置的Talbot图案 X)(K|[ [,st: Y
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#>5 特定位置的Talbot图案 #Qg)4[pMJ U5ph4G k ]gPMhe 不同位置的Talbot图案 k"7ZA>5jk >~7XBb08
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