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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 *IfLoKS'  
     <\Lii0hi!  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 A(ql}cr  
     *$Bx#0J8  
    .*i.Z   
    w_PnEJa9  
    建模任务 b@"#A8M  
    +uLl3(ml  
    ,x&T8o/a  
    k,OP*M  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) \'x. DVp  
    $zKf>[K  
    系统建模块 PS**d$ S  
    TZ3"u@ 06  
    qYF150  
    ^,*!Qk<c  
    特定位置的Talbot图案 c7Jfo x V  
    J4"?D9T3G  
     /'O? 8X<  
    7a\at)q/y  
    特定位置的Talbot图案 gd#+N]C_  
    !W^P|:Qt  
    "w7wd5h  
    不同位置的Talbot图案 k> SPtiAs  
    t}w<xe  
     Qv~lH&jG  
    y<|8OTT  
    不同位置的Talbot图案 +~Wg@   
    C;>!SRCp  
     h6`v%7H?  
    lsq\CavbM  
    沿 Z 轴的强度 Ku$:.  
    +`=rzL"0I7  
     21_sg f?  
    V(wm?Cc]  
    VirtualLab Fusion技术 oR[-F+__  
    YMXhzqj  
     E?v:7p<  
     
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