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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 A` oa|k!U  
     HKT{IP+7(L  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。  &s_}u%iC  
     .|tQ=l@I  
    ZlUFJ*pk  
    ">0 /8]l  
    建模任务 g!z8oPT  
    FxMMxY,*%  
    SlM>";C\  
    )E_!rR  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) vHoT@E#}'  
    4_Tb)?L+:  
    系统建模块 Cf.WO%?P  
    E%KC'T N^D  
    G;Pt|F?c  
    vQE` c@^{  
    特定位置的Talbot图案 `\6 +z  
    9Vh_XBgP  
     s$eK66H  
    4d,qXSKty  
    特定位置的Talbot图案 =/)Mc@Hb  
    BNF++<s  
     ||bA  
    不同位置的Talbot图案 $v2S;UB v*  
    Sf#\6X<B  
     ' h0\4eu  
    L2do 2_  
    不同位置的Talbot图案 OsDp88Bc  
    ;w>Q{z  
     &^"s=g.  
    sf=%l10Fk#  
    沿 Z 轴的强度 i&? 78+:  
    ~`a#h#  
     -sruxF  
    }j]<&I}  
    VirtualLab Fusion技术 / i\uwa,  
    hJs&rpN  
     qhv4R|)  
     
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