切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 640阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6926
    光币
    28780
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 Ma2sQW\  
     pGc_Klq  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ^uD r  
     4 ac2^`  
    5<0&y3  
    jn&[=Y-  
    建模任务 t$m268m~  
    xrFFmQ<_W  
    XkDjA#nx`  
    "W?<BpV~@!  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Mm;kB/ 1  
    /EZF5_`bT  
    系统建模块 :,h47'0A  
    l&R~ I6^E  
    w4\b^iJz  
    5A g 4o  
    特定位置的Talbot图案 zWb>y  
    \tc 4DS  
     Z@nWx]iz  
    SzR7:U  
    特定位置的Talbot图案 MDZ,a 0?4t  
    UA>UW!I  
    6",S$3q  
    不同位置的Talbot图案 sOhQu>gN  
    s"7wG!yf  
     :P1 J>dcG  
    h:\WW;s[B  
    不同位置的Talbot图案 Rf||(KC<  
    W3Oj6R  
     5V;BimI  
    ..`J-k  
    沿 Z 轴的强度 !B5 }`*1D  
    4E/Q+^?  
     L  #c*)  
    ,_ }  
    VirtualLab Fusion技术 `CP# S7W^  
    d:cs8f4>  
     t}n:!v"|+O  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表