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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 5"f')MKUV9  
     /Z:\=0`  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 1U"Fk3  
     BF*]l8p  
    ^9})@,(D  
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    建模任务 49o5"M(  
    XO)|l8t#$=  
    Kvu0Av-7  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) "z ` &xB  
    QR!8n  
    系统建模块 U]!D=+  
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    特定位置的Talbot图案 : "[dr~.  
    Wcy N, 5  
     0Hz*L,Bh4  
    H];QDix?  
    特定位置的Talbot图案 [u_-x3`  
    :y)'_p *l/  
    8^3Z]=(Q  
    不同位置的Talbot图案 P:z5/??2S  
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    不同位置的Talbot图案 `(|jm$Q  
    ^-3R+U- S  
     w5I +5/I  
    z6tH2Wxf  
    沿 Z 轴的强度 ,+0>p  
    +DwyMzeE  
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    VirtualLab Fusion技术 tqY)  
    &H!#jh\w  
     W s!N%%g  
     
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