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    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 UV)!zgP  
     g5hMZPOmP  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 MryY<s  
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    建模任务 aL0,=g%  
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    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)  :)Z.!  
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    系统建模块 "s rRlu  
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    特定位置的Talbot图案 ]c$)0O\O  
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    特定位置的Talbot图案 222Mm/QN  
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    不同位置的Talbot图案 9/I|oh_ G  
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    0fQMOTpOp  
    不同位置的Talbot图案 {G4{4D }  
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     u|D|pRM-LT  
    ^|ln q.j  
    沿 Z 轴的强度 :PF6xL&  
    ' lMPI@C6r  
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    _ -C{:rV  
    VirtualLab Fusion技术 +{pS2I}d  
    DE_ <LN  
     c*HWH$kB  
     
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