切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 405阅读
    • 0回复

    [技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-06-27
    摘要 D rHV G  
     `e|0g"oP  
    在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 F9E<K]7K  
     fS[,vPl  
    $oU*9}}Rn  
    W~~7 C,!  
    建模任务 2ZMb<b4H  
    * @v)d[z_  
     6S*e xw  
    'H&2HXw&2  
    structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) F{Jw ^\  
    TKY*`?ct  
    系统建模块 uU <=d  
    Yu[ t\/  
    X=!^] 3zH  
    X>(TrdK_9"  
    特定位置的Talbot图案 Avd ^  
    E2@65b$  
     V#t%/l  
    $.PuK~}  
    特定位置的Talbot图案 gL[yA?GoM  
    YY)s p%  
    6[LM_eP  
    不同位置的Talbot图案 /F-qP.<D,r  
    Jz.NHiLct1  
     x:>wUhzZ  
    (\a]"g,]v  
    不同位置的Talbot图案 L,`Lggq-  
    gp^ 5#  
     ?NR A:t(}  
    8U>B~9:JO  
    沿 Z 轴的强度 5rRN-  
    X4AyX.p  
     D@|W<i-  
    i2YuOV!  
    VirtualLab Fusion技术 RIXMJ7e7  
    (m.ob+D  
     [16cFqD  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表