S1$\D!|1 y)s/\l& 内容简介 qn+m lduU Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
E62*J$wN@ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
t{?_]2vl 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
RL)'m 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
_r^&.'q ^QYI`u` 4 目录 ?#FAa, Preface 1
_`D760q} 内容简介 2
_fMooI)U1 目录 i
jj.]R+.G 1 引言 1
^.-P]I] 2 光学薄膜基础 2
Dtr'X@U 2.1 一般规则 2
.3ic%u;|D 2.2 正交入射规则 3
@B&hR} 4 2.3 斜入射规则 6
F},JP'\X 2.4 精确计算 7
#jDO?Y Sa 2.5 相干性 8
aQRZyE} 2.6 参考文献 10
(TnYUyFP` 3 Essential Macleod的快速预览 10
5R o5Cg~ 4 Essential Macleod的特点 32
q07rWPM
"e 4.1 容量和局限性 33
t%FS 5 4.2 程序在哪里? 33
8nZPY)o 4.3 数据文件 35
=?FA9wm 4.4 设计规则 35
D_, 2z 4.5 材料数据库和
资料库 37
_a.Q@A4' 4.5.1材料损失 38
j&44wuf 4.5.1材料数据库和导入材料 39
9cj=CuE 4.5.2 材料库 41
B<0lif| 4.5.3导出材料数据 43
/ox}l<ha 4.6 常用单位 43
7L]fCw
p[ 4.7 插值和外推法 46
DtZkrj)D/ 4.8 材料数据的平滑 50
TF{
xFb) 4.9 更多光学常数模型 54
d[O.UzQ 4.10 文档的一般编辑规则 55
-2Ub'*qK 4.11 撤销和重做 56
Ex<-<tY 4.12 设计文档 57
qbT].,?!U 4.10.1 公式 58
"`
9W"A= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
RrRCT.+E 4.10.3 沉积密度 59
<X;y
4lPZ 4.10.4 平行和楔形介质 60
M)|}Vn;! 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
ap=M$9L' 4.10.4 性能 61
szKs9er& 4.10.5 保存设计和性能 64
yWX:`*GV 4.10.6 默认设计 64
Llg[YBJ7> 4.11 图表 64
y#T":jpR 4.11.1 合并曲线图 67
KH[%HN5v 4.11.2 自适应绘制 68
C\fc 4 4.11.3 动态绘图 68
`qr[0wM 4.11.4 3D绘图 69
a{H~>d<? 4.12 导入和导出 73
6BMRl%3>Z 4.12.1 剪贴板 73
-4V1s;QUZ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
*.Kc-f4mP 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
-M(:z 4.13 背景 77
h#`qEK&u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
rZzto;NDS 4.15 生成Rugate 84
~j8x" 4.16 参考文献 91
_#-(XQ a 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
VT-&"Jn 5.1 Jobs 92
rJg!2 5.2 创建一个新Job(工作) 93
XmXHs4 5.3 输入材料 94
MMcHzRF 5.4 设计数据文件夹 95
Kh%9Oy 5.5 默认设计 95
WE=`8`Li 6 细化和合成 97
r5r K> 6.1 优化介绍 97
9i9VDk{ 6.2 细化 (Refinement) 98
'2#O{ 6.3 合成 (Synthesis) 100
/Nxy?g|, 6.4 目标和评价函数 101
Q=>@:1= 6.4.1 目标输入 102
,.F,]m= 6.4.2 目标 103
Jzfzy0$ 6.4.3 特殊的评价函数 104
LQR9S/?Ld 6.5 层锁定和连接 104
X hTp'2,] 6.6 细化技术 104
KuFDkT! 6.6.1 单纯形 105
8)M .W 6.6.1.1 单纯形
参数 106
+:oHI[1HG 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
/FB ' 6.6.2.1 Optimac参数 108
N/^r9Nu 6.6.3 模拟退火算法 109
[}+
MZ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
|\elM[G"g 6.6.4 共轭梯度 111
*4WOmsj 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
\N7
E!82 6.6.5 拟牛顿法 112
+EkZyM~z2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
]D(%Ku,O% 6.6.6 针合成 113
%tmK6cY4Y 6.6.6.1 针合成参数 114
PcJ,Y\"[ 6.6.7 差分进化 114
C8aYg 6.6.8非局部细化 115
8m-ryr) 6.6.8.1非局部细化参数 115
m"jqHGFV 6.7 我应该使用哪种技术? 116
5\qoZs*e 6.7.1 细化 116
Rl$NiY?2 6.7.2 合成 117
d}IVYI 6.8 参考文献 117
Qt!l-/flh 7 导纳图及其他工具 118
{3`9A7bG 7.1 简介 118
_
@ \ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
\6nWt6M 7.2.1 四分之一
波长规则 119
;h] zN 7.2.2 导纳图 120
"y>l2V,4j% 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
oIX]9~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
}1Q]C"hY 7.5 斜入射导纳图 141
+loD{
7.6 对称周期 141
Q9?/)&3Bu 7.7 参考文献 142
@S<=Okrlj 8 典型的镀膜实例 143
C:$ l H 8.1 单层抗反射薄膜 145
X[BKF8, 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
Z2hRTJJ[A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
O`~T:N|D 8.4 W-膜层 148
xZbm,.v 8.5 V-膜层 149
G^j/8e 8.6 V-膜层高折射基底 150
Vcc/ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
wrw~J 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
O_(/uLH 8.9 四层抗反射薄膜 153
6z!?U:bT 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
B9Y "J 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
)7O4j}B){ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
vM|?;QM 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
=Tb~CT= 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
0|P RCq 8.15十五层宽带抗反射膜 159
3`Y 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
I.1zD aP 8.17 1/4波长堆栈 162
vsHY; [ 8.18 陷波滤波器 163
w\s$ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
'mG[#M/Y 8.20 褶皱 165
CzST~*lH 8.21 消偏振分光器1 169
RcMW%q$dG 8.22 消偏振分光器2 171
B,,f$h! 8.23 消偏振立体分光器 172
ep>S$a*| 8.24 消偏振截止滤光片 173
|jF)~k6 8.25 立体偏振分束器1 174
^|-x mUC 8.26 立方偏振分束器2 177
.B_)w:oF 8.27 相位延迟器 178
ES}@mO 8.28 红外截止器 179
+n9]c~g!T0 8.29 21层长波带通滤波器 180
#Ubzh`v 8.30 49层长波带通滤波器 181
]X;Ty\UD& 8.31 55层短波带通滤波器 182
@T>)fKCg 8.32 47 红外截止器 183
uZ\ > 8.33 宽带通滤波器 184
oq(um:m 8.34 诱导透射滤波器 186
??ah 8.35 诱导透射滤波器2 188
(X QgOR# 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
xSug- 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
!+=jD3HTJ 8.35 增益平坦滤波器 193
P ;PS+S9 8.38 啁啾反射镜 1 196
n3jA[p:
8.39 啁啾反射镜2 198
VQ{}S $jQ 8.40 啁啾反射镜3 199
_(TavL>l
= 8.41 带保护层的铝膜层 200
c7L#f=Ot? 8.42 增加铝反射率膜 201
Ojr{z 8.43 参考文献 202
FsTE.PT 9 多层膜 204
$xa#+ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
_{TGO
jZr 9.2 内部透过率 204
#ZeZs 31 9.3 内部透射率数据 205
p
p9Gzn C 9.4 实例 206
&5)Kg%r 9.5 实例2 210
w}K<,5I> 9.6 圆锥和带宽计算 212
.~4%TsBaY 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
4\Mh2z5 10 光学薄膜的颜色 216
oslV@v
F 10.1 导言 216
u
B~/W 10.2 色彩 216
/}]X3ng 10.3 主波长和纯度 220
$._p !, < 10.4 色相和纯度 221
v%VCFJ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
GGo
nA 10.6 色差 226
=Bu d! 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
o{(-jhR 10.8 颜色渲染指数 234
c{ +Y$ 10.9 色差计算 235
(S&X??jfB5 10.10 参考文献 236
:%{MMhbx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
?r"m*fY% 11.1 短脉冲 238
6,ylkf3 11.2 群速度 239
%1 9TJn%J$ 11.3 群速度色散 241
#(?EL@5 11.4 啁啾(chirped) 245
j$4Tot 11.5 光学薄膜—相变 245
+D&W!m 11.6 群延迟和延迟色散 246
Z6
E-FuO 11.7 色度色散 246
#E3Y;
b%v 11.8 色散补偿 249
`[0.G0i 11.9 空间
光线偏移 256
9mIq9rQ|* 11.10 参考文献 258
W1w)SS 12 公差与误差 260
Q>cLGdzO 12.1 蒙特卡罗模型 260
sV@kQ:
12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
-e3m!h 12.2.1 误差工具 267
o6P)IZ1 12.2.2 灵敏度工具 271
d/k&f5 12.2.2.1 独立灵敏度 271
Ie`kzssM 12.2.2.2 灵敏度分布 275
J0~Ha u 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
'3 xvQFg 12.3 参考文献 276
"i<i.6| 13 Runsheet 与Simulator 277
~^2Y*|{) 13.1 原理介绍 277
=P!SN]nFeP 13.2 截止滤光片设计 277
XsQ?&xK=u 14 光学常数提取 289
Ji\8(7
{8 14.1 介绍 289
?{mFQ 14.2 电介质薄膜 289
.Vj;[p8 14.3 n 和k 的提取工具 295
3b
(I~ 14.4 基底的参数提取 302
m
jC6(?V 14.5 金属的参数提取 306
f>g>7OsD] 14.6 不正确的模型 306
3(Kj|u 14.7 参考文献 311
RAxAy{ 15 反演工程 313
n{J<7I e"* 15.1 随机性和
系统性 313
r5xu#%hgp; 15.2 常见的系统性问题 314
)f>s\T 15.3 单层膜 314
CaX&T2( 15.4 多层膜 314
S\JV96 15.5 含义 319
#(FG+Bk 15.6 反演工程实例 319
n a])bBn 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
yHT8I 15.6.2 反演工程提取折射率 327
&]iX>m. 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
N9 3
ZI|T 16.1 光学性质的热致偏移 329
3rhH0{ 16.2 应力工具 335
\/I@&$"F 16.3 均匀性误差 339
8
C @iD% 16.3.1 圆锥工具 339
*`YR-+0 16.3.2 波前问题 341
,kfUlv= 16.4 参考文献 343
M]oO1GM 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
:PuJF`k 17.1 引言 345
_V^^%$ 17.2 操作数 345
^CX=< 18 如何在Function中编写脚本 351
nyD(G=Q5 18.1 简介 351
?ntyF-n& 18.2 什么是脚本? 351
sc\4.Ux%Q 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
m{gx\a.5 18.4 基础 352
";AM3 18.4.1 Classes(类别) 352
nKC$
KC 18.4.2 对象 352
D|}
y{~ 18.4.3 信息(Messages) 352
O+A/thI%*S 18.4.4 属性 352
.e%PK[o 18.4.5 方法 353
m!L&_Z|j 18.4.6 变量声明 353
02q]^3 18.5 创建对象 354
f5<qF ]Y/ 18.5.1 创建对象函数 355
7Rqjf6kX`O 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
jXB<"bw 18.5.3 丢弃对象 356
d#cw`h<c~ 18.5.4 总结 356
Q"n|<!DN 18.6 脚本中的表格 357
D6@c& 18.6.1 方法1 357
NitWIj[U; 18.6.2 方法2 357
L l\y2oJ 18.7 2D Plots in Scripts 358
V\r!H>
18.8 3D Plots in Scripts 359
7'\<\oT
18.9 注释 360
yyb8ll?@a 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
_"%mLH=!8 18.11 一个更高级的脚本 362
'+LC.l M 18.12 <esc>键 364
m~mw1r 18.13 包含文件 365
JJ[.K*dO 18.14 脚本被
优化调用 366
FWcE\;%yVg 18.15 脚本中的对话框 368
6a51bj!f 18.15.1 介绍 368
cl:h'aG 18.15.2 消息框-MsgBox 368
}w^Hm3Y^& 18.15.3 输入框函数 370
p3>p1tC 18.15.4 自定义对话框 371
s ki'I 18.15.5 对话框编辑器 371
-\xNuU 18.15.6 控制对话框 377
9;KQ3.Fa}q 18.15.7 更高级的对话框 380
h BD .IB 18.16 Types语句 384
musZCg$ 18.17 打开文件 385
RuSKJ,T:9 18.18 Bags 387
pLi_)(#z_ 18.13 进一步研究 388
U[1Rw6 19 vStack 389
tJ`tXO 19.1 vStack基本原理 389
9}LcJ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
h3U| ~h 19.3 五棱镜 393
Y3^UJe7E 19.4 光束距离 396
1S
.~Vh0Q, 19.5 误差 399
1{{z[w# 19.6 二向分色棱镜 399
*\><MXx 19.7 偏振泄漏 404
[S;ceORx 19.8 波前误差—相位 405
tGv5pe*r 19.9 其它计算参数 405
eK[8$1 20 报表生成器 406
5'=\$Ob 20.1 入门 406
C.`C T7 20.2 指令(Instructions) 406
;cKN5#7 20.3 页面布局指令 406
^ z!g3 20.4 常见的参数图和三维图 407
+ve S~ 20.5 表格中的常见参数 408
%<c2jvn+k 20.6 迭代指令 408
KCEBJ{jM 20.7 报表模版 408
\~u7 k 20.8 开始设计一个报表模版 409
_M[@a6? 21 一个新的project 413
W>$2BsO 21.1 创建一个新Job 414
5DB4 vh 21.2 默认设计 415
mN+
w, 21.3 薄膜设计 416
Y~vyCU5nWR 21.4 误差的灵敏度计算 420
?}p~8{ ' 21.5 显色指数计算 422
x -CTMKX 21.6 电场分布 424
S~L;oX?(! 后记 426
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