<f+9wuZ y)%CNH)*x 内容简介 <1xs
ya[e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
t=B>t S.hO 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
Jg:%|g 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
hCvK2Xu 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
G:k]tZ*` $ &III 目录 :
#om6} Preface 1
m?4L>' 内容简介 2
dd&n>A3O= 目录 i
7>sNjOt@M 1 引言 1
`<3xi9 2 光学薄膜基础 2
:l/?cV; 2.1 一般规则 2
Z'F=Xw6;b 2.2 正交入射规则 3
P
g{/tMY 2.3 斜入射规则 6
qY^@^)b[ 2.4 精确计算 7
C 7e 2.5 相干性 8
<!m'xOD 2.6 参考文献 10
:1/K$A)^{ 3 Essential Macleod的快速预览 10
!Ic{lB 4 Essential Macleod的特点 32
k.MAX8 4.1 容量和局限性 33
V% PeZ.Xv 4.2 程序在哪里? 33
|gP9^B?3 4.3 数据文件 35
t!S ja 4.4 设计规则 35
ML9nfB^z! 4.5 材料数据库和
资料库 37
4x;vn8yh 4.5.1材料损失 38
@s[Vtw%f 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Q+ tUxa+ 4.5.2 材料库 41
S, g/2k* 4.5.3导出材料数据 43
yCt,-mz!z 4.6 常用单位 43
w!8xZu 4.7 插值和外推法 46
R qnT* 4.8 材料数据的平滑 50
uOU?-WtPz 4.9 更多光学常数模型 54
*RpBKm&^7 4.10 文档的一般编辑规则 55
yi-S^ 4.11 撤销和重做 56
"B9aJo 4.12 设计文档 57
P}dhpU 4.10.1 公式 58
A"$UU6Z4 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
1_Ag:>#X 4.10.3 沉积密度 59
.NOh[68' 4.10.4 平行和楔形介质 60
<R%]9#re 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
4PsJs<u 4.10.4 性能 61
]`S35b 4.10.5 保存设计和性能 64
s2'] "wM 4.10.6 默认设计 64
P*M$^p 4.11 图表 64
nGvWlx 4.11.1 合并曲线图 67
O,>`#? 4.11.2 自适应绘制 68
/`)>W : 4.11.3 动态绘图 68
aLKvl~s;m 4.11.4 3D绘图 69
H7=[sL^ 4.12 导入和导出 73
`tZ-8f 4.12.1 剪贴板 73
W\W|v?r 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
V< ]l=JOd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
#^Io9dAh 4.13 背景 77
`fA|])3T 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
Pn;Tg7oz 4.15 生成Rugate 84
icnc5G 4.16 参考文献 91
Z[&7NJo( 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Q,1TD2)h 5.1 Jobs 92
\4B2%H 5.2 创建一个新Job(工作) 93
fQtV-\Bc 5.3 输入材料 94
TAl#V7PF} 5.4 设计数据文件夹 95
$cUTe 5.5 默认设计 95
?cF-w!>o8 6 细化和合成 97
uk\-"dS 6.1 优化介绍 97
Uz&XqjS 6.2 细化 (Refinement) 98
yhBf %m 6.3 合成 (Synthesis) 100
:Jz@` s1n 6.4 目标和评价函数 101
`QIYnokL 6.4.1 目标输入 102
G{8> 6.4.2 目标 103
P<1ZpL 6.4.3 特殊的评价函数 104
:gvw5h% 6.5 层锁定和连接 104
y_mD9bgW 6.6 细化技术 104
[`u3SN/P 6.6.1 单纯形 105
.gPXW=r 6.6.1.1 单纯形
参数 106
p%_m!
6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
g'F{;Ur 6.6.2.1 Optimac参数 108
W%)uKQha 6.6.3 模拟退火算法 109
%^r}$mfy:0 6.6.3.1
模拟退火参数 109
G31??L:< 6.6.4 共轭梯度 111
#t^y$9^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
PN$vBFjm 6.6.5 拟牛顿法 112
-wqnmK+G 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
qBkI9H 6.6.6 针合成 113
JDIQpO"Qji 6.6.6.1 针合成参数 114
}E}b/ulg1 6.6.7 差分进化 114
]nEZQ+F 6.6.8非局部细化 115
~BSE8M+r 6.6.8.1非局部细化参数 115
o,#[Se*n 6.7 我应该使用哪种技术? 116
<`~zKFUQ[ 6.7.1 细化 116
U!0 Qf7D 6.7.2 合成 117
tc_D8Q_ 6.8 参考文献 117
pX nY= 7 导纳图及其他工具 118
yLo{^4a. 7.1 简介 118
?Cu1"bl 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
7Z(F-B
+j 7.2.1 四分之一
波长规则 119
bg8<}~zg 7.2.2 导纳图 120
n$ri:~s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
ikSm;. 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
]Gm$0uS 7.5 斜入射导纳图 141
Mk*&CNo3 7.6 对称周期 141
Q|^TR__ 7.7 参考文献 142
QzzV+YG$(4 8 典型的镀膜实例 143
A=v^`a03I 8.1 单层抗反射薄膜 145
KvFGwq"X 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
;U
+;NsCH 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
RawK9K_1 8.4 W-膜层 148
E>BP b 8.5 V-膜层 149
~BNLzt3%O 8.6 V-膜层高折射基底 150
3Mnm2*\ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
/<HEcB 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
3E!#?N|v 8.9 四层抗反射薄膜 153
.Q,IO CHk 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
HlkG^:) 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
rt7Ma2tK 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
s[V$fvW 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
4)o_gm~6c4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
o4)^U t+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
{L!w/Ie X 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
WhO;4-q)2 8.17 1/4波长堆栈 162
N}Ol`@@#h 8.18 陷波滤波器 163
x,sMa*vd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
reyN5n~4U 8.20 褶皱 165
lF:gQ]oc 8.21 消偏振分光器1 169
*3yeMxa 8.22 消偏振分光器2 171
o8:K6y 8.23 消偏振立体分光器 172
Fb<r~2 8.24 消偏振截止滤光片 173
Y4%Bx8 8.25 立体偏振分束器1 174
#xqeCX4p 8.26 立方偏振分束器2 177
+fgF &. 8.27 相位延迟器 178
cT8`l!RD< 8.28 红外截止器 179
_]"5]c&*3 8.29 21层长波带通滤波器 180
$c-h'o 8.30 49层长波带通滤波器 181
RLypWjMx$ 8.31 55层短波带通滤波器 182
"t<${ 8.32 47 红外截止器 183
U/ncD F%C 8.33 宽带通滤波器 184
6]i"lqb 8.34 诱导透射滤波器 186
;&2J9 8.35 诱导透射滤波器2 188
` Nn^ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Kilq Jg1%C 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
AsRS7V 8.35 增益平坦滤波器 193
4:\s.Z{!3 8.38 啁啾反射镜 1 196
8oSndfV 8.39 啁啾反射镜2 198
+\FTR
8.40 啁啾反射镜3 199
`.z;.&x 8.41 带保护层的铝膜层 200
yZ[H&> 8.42 增加铝反射率膜 201
Y[AL!h 8.43 参考文献 202
360V 9 多层膜 204
h[D"O6 y 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
r5b5 `f4 9.2 内部透过率 204
10v4k<xb 9.3 内部透射率数据 205
6#xP[hlR[ 9.4 实例 206
q$EicH}k8 9.5 实例2 210
Epm\=s 9.6 圆锥和带宽计算 212
* P_
3A:_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
6i/x"vl> 10 光学薄膜的颜色 216
G9s: Wp 10.1 导言 216
.Od.lxz"mp 10.2 色彩 216
PaF`dnJ 10.3 主波长和纯度 220
;d1\2H 10.4 色相和纯度 221
[&n2 yt 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
RVv@x5 10.6 色差 226
1F*gPhm 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
7Op6>i
10.8 颜色渲染指数 234
/I{<]m$ 10.9 色差计算 235
R07Kure 10.10 参考文献 236
4,m
aA 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
8\m_.e 11.1 短脉冲 238
\*x]xc/^ 11.2 群速度 239
B./Lp_QK 11.3 群速度色散 241
Vx@JP93| 11.4 啁啾(chirped) 245
^)&d7cSc 11.5 光学薄膜—相变 245
_tZT 11.6 群延迟和延迟色散 246
kP9DCDO`[5 11.7 色度色散 246
G>{Bij44 11.8 色散补偿 249
MXY[t 11.9 空间
光线偏移 256
1hj']#vBu 11.10 参考文献 258
~6`HJ 12 公差与误差 260
X
cmR/+ 12.1 蒙特卡罗模型 260
[*U6L<JI 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
4l+"J:, 12.2.1 误差工具 267
Bk&ry)`gD 12.2.2 灵敏度工具 271
Z@fMU2e=Z 12.2.2.1 独立灵敏度 271
53d8AJ_@X 12.2.2.2 灵敏度分布 275
C- /<5D
j 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Zr,:i
MPZ 12.3 参考文献 276
12;"=9e! 13 Runsheet 与Simulator 277
Tj}H3/2 13.1 原理介绍 277
=$6z1] ;3 13.2 截止滤光片设计 277
RiC1lCE 14 光学常数提取 289
:R+}[|FV 14.1 介绍 289
p\66`\\l 14.2 电介质薄膜 289
GGcNaW' 14.3 n 和k 的提取工具 295
5LU8QHj3 14.4 基底的参数提取 302
F@Qzh 14.5 金属的参数提取 306
L.XGD|m 14.6 不正确的模型 306
)IQa]A 14.7 参考文献 311
~G.'pyW 15 反演工程 313
5y;texsj[ 15.1 随机性和
系统性 313
Y.&nxT95= 15.2 常见的系统性问题 314
'+LbFGrO3 15.3 单层膜 314
?s[ kUv+= 15.4 多层膜 314
LYb@0O<w 15.5 含义 319
!L4Vz7C 15.6 反演工程实例 319
,h,DB=!K< 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
]ovP^]]V 15.6.2 反演工程提取折射率 327
Q@gmtAp 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
)
-x0xY
16.1 光学性质的热致偏移 329
ehB (? 16.2 应力工具 335
sJ[I< 16.3 均匀性误差 339
;5qZQ8`4 16.3.1 圆锥工具 339
33dHTV 16.3.2 波前问题 341
aI]EwVz-q 16.4 参考文献 343
U_ELeW5@ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
^6R?UG;6 17.1 引言 345
D+G?:mR 17.2 操作数 345
T$[50~ 18 如何在Function中编写脚本 351
qScc~i Oq 18.1 简介 351
^]}+s( 18.2 什么是脚本? 351
gE$D#PZa 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
o
NX-vN- 18.4 基础 352
aMdWT4 18.4.1 Classes(类别) 352
Fd!Np7xw 18.4.2 对象 352
Q-<N)K$F(4 18.4.3 信息(Messages) 352
[@YeQ{ 18.4.4 属性 352
M?m Pi 3 18.4.5 方法 353
/
i[F 18.4.6 变量声明 353
wWjZXsOd 18.5 创建对象 354
[?z`XY_- 18.5.1 创建对象函数 355
UXpF$= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
wq$+m( 18.5.3 丢弃对象 356
XS+2OutVo 18.5.4 总结 356
z2'3P{#s 18.6 脚本中的表格 357
zf+jQ 18.6.1 方法1 357
jpijnz{M 18.6.2 方法2 357
-JgN$Sf 18.7 2D Plots in Scripts 358
DJ)Q,l*|N9 18.8 3D Plots in Scripts 359
[t#xX59 18.9 注释 360
/>^ sGB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
g
i>` 18.11 一个更高级的脚本 362
fCC^hB]' 18.12 <esc>键 364
=^a Ngq 18.13 包含文件 365
EjxzX1: 18.14 脚本被
优化调用 366
?r
P'PUB 18.15 脚本中的对话框 368
CshYUr - 18.15.1 介绍 368
9R$0[HbI3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
pjG/` 18.15.3 输入框函数 370
cV8Bl="gqe 18.15.4 自定义对话框 371
~4-:;8a 18.15.5 对话框编辑器 371
L>xecep 18.15.6 控制对话框 377
G,o5JL"t 18.15.7 更高级的对话框 380
);*:UzsC_ 18.16 Types语句 384
{\:"OcP # 18.17 打开文件 385
1nGpW$Gx 18.18 Bags 387
E}-Y!,v^ 18.13 进一步研究 388
D1G9^7:^E 19 vStack 389
(rTn6[* 19.1 vStack基本原理 389
2Kg-ZDK8 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
4^*+G]]wZ~ 19.3 五棱镜 393
6l Suzu 19.4 光束距离 396
7LotN6H
19.5 误差 399
C?OqS+ 19.6 二向分色棱镜 399
V.\12P 19.7 偏振泄漏 404
_z6_mmMp 19.8 波前误差—相位 405
P]h-**O 19.9 其它计算参数 405
8&q[jxI@8 20 报表生成器 406
PCqE9B)l 20.1 入门 406
RX])#=Cs 20.2 指令(Instructions) 406
#!yW)RG 20.3 页面布局指令 406
gXy'@! 20.4 常见的参数图和三维图 407
I
0vJJP# 20.5 表格中的常见参数 408
*3R3C+
L 20.6 迭代指令 408
n^[VN[VC 20.7 报表模版 408
U 7_1R0h 20.8 开始设计一个报表模版 409
[N=v=J9 21 一个新的project 413
/TEE<\" 21.1 创建一个新Job 414
Sv#S_jh 21.2 默认设计 415
] Hiw+5n 21.3 薄膜设计 416
q0t} 21.4 误差的灵敏度计算 420
Y%zYO 21.5 显色指数计算 422
Crg@05Z 21.6 电场分布 424
wk9qyv< 后记 426
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