?W|POk} f8n'9HOw> 内容简介 C=Zuy^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
v(0vP}[Q7E 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
;Joo!CXHO 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
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2015年9月3日
Pgo5&SQb kBT cND| 目录 Sj*H4ZHD<& Preface 1
h(zi$V 内容简介 2
]~oM'?&! 目录 i
SHaZ-d 1 引言 1
o]FQ)WRB 2 光学薄膜基础 2
<.AIVp 2.1 一般规则 2
ar{e<&Bny 2.2 正交入射规则 3
mEqV&M1;7l 2.3 斜入射规则 6
D~{)\;w^! 2.4 精确计算 7
eFx*lYjA 2.5 相干性 8
A/.cNen 2.6 参考文献 10
G
cbal:q 3 Essential Macleod的快速预览 10
$~2Ao[ 4 Essential Macleod的特点 32
vD*KJ3(c 4.1 容量和局限性 33
D QRt\! 4.2 程序在哪里? 33
m1cyCD 4.3 数据文件 35
~ 7k
b4[ 4.4 设计规则 35
<ImeZ'L7 4.5 材料数据库和
资料库 37
6$zUFIk 4.5.1材料损失 38
d`xqs,0f 4.5.1材料数据库和导入材料 39
%1lLUgf3G/ 4.5.2 材料库 41
o 1b#q/ 4.5.3导出材料数据 43
Wi|.Z/ 4.6 常用单位 43
9 (&!>z 4.7 插值和外推法 46
F%Xq}LMd 4.8 材料数据的平滑 50
)Qo6bei! 4.9 更多光学常数模型 54
Zw3|HV(so 4.10 文档的一般编辑规则 55
:4A^~+J 4.11 撤销和重做 56
Xak~He 4.12 设计文档 57
yWs/~5[F 4.10.1 公式 58
x^
Wgo`v) 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
.h6h&[TEU 4.10.3 沉积密度 59
Z# :Ww 4.10.4 平行和楔形介质 60
$pD^O!I)? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
fGxa~Unx 4.10.4 性能 61
b1^MX).vH 4.10.5 保存设计和性能 64
.FC1:y<aO 4.10.6 默认设计 64
@B[V'| 4.11 图表 64
;m\(fW*ii 4.11.1 合并曲线图 67
t EN%mK 4.11.2 自适应绘制 68
2vur_`cV 4.11.3 动态绘图 68
)PwDP 4.11.4 3D绘图 69
aH~il!K 4.12 导入和导出 73
=EG[_i{r 4.12.1 剪贴板 73
DS^Q0 f 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
QTDI^ZeuF 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
*L!R4;ubE 4.13 背景 77
ClEtw 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
&2g1Oy~ 4.15 生成Rugate 84
nqV7Db~ 4.16 参考文献 91
1b't"i M 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
]__M* 5.1 Jobs 92
Q[k}_1sWs$ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
w,P2_xk` 5.3 输入材料 94
5zUD W? 5.4 设计数据文件夹 95
SAqX[c 5.5 默认设计 95
N_T;&wibO 6 细化和合成 97
&^Xm4r%u_ 6.1 优化介绍 97
d)
> if<o 6.2 细化 (Refinement) 98
68D.Li 6.3 合成 (Synthesis) 100
2#rF/!`^ 6.4 目标和评价函数 101
VMNihx0FJ 6.4.1 目标输入 102
7N:,F9V< 6.4.2 目标 103
Z)ObFJMG5 6.4.3 特殊的评价函数 104
\:Nbl<9(9 6.5 层锁定和连接 104
6 g!t1%Kb 6.6 细化技术 104
BeVQ[ 6.6.1 单纯形 105
^
sz4rk 6.6.1.1 单纯形
参数 106
Bkcs4 x 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
8'f:7KF 6.6.2.1 Optimac参数 108
\_+d*hHF~ 6.6.3 模拟退火算法 109
* %MY. # 6.6.3.1
模拟退火参数 109
jbG #__#_ 6.6.4 共轭梯度 111
toP7b 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
Z*oGVr
g 6.6.5 拟牛顿法 112
3n,F5?!m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
VbZZ=q=Kd 6.6.6 针合成 113
gXF.e.uU 6.6.6.1 针合成参数 114
PsTwJLY 6.6.7 差分进化 114
MN#\P1 6.6.8非局部细化 115
p(
z.[ 6.6.8.1非局部细化参数 115
0uj3kr?cv 6.7 我应该使用哪种技术? 116
C^uXJ~8 6.7.1 细化 116
K)&AR*Tc
6.7.2 合成 117
v_b%2;<1 6.8 参考文献 117
R@ihN?k 7 导纳图及其他工具 118
D VC}; 7.1 简介 118
a*o=,! 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
QupCr/Hs 7.2.1 四分之一
波长规则 119
7q(RQQp 7.2.2 导纳图 120
[t>}M6?R: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
\[Q,>{^ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
L-q.Q 7.5 斜入射导纳图 141
6)Kg!.n%f 7.6 对称周期 141
lh
.p`^v 7.7 参考文献 142
?a(ApD\ 8 典型的镀膜实例 143
N 0`)WLW 8.1 单层抗反射薄膜 145
KecR jon ~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
;Q\Duj 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
IY+P Yad 8.4 W-膜层 148
\QQw1c+ 8.5 V-膜层 149
{wK98 >$a 8.6 V-膜层高折射基底 150
yv&&x.!.Z 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
meE&, { 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
q.~_vS% 8.9 四层抗反射薄膜 153
E QMn'> 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
)88z=5. 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
eR =P 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
iz&)FuOr 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Fq9AO~z 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
=M>pL+# 8.15十五层宽带抗反射膜 159
|&3[YZY 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
XZ}]H_, n 8.17 1/4波长堆栈 162
K&\xbT 8.18 陷波滤波器 163
+H8]5~',L% 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
3u_[=a 8.20 褶皱 165
AYfW}V" 8.21 消偏振分光器1 169
,d$V-~2, 8.22 消偏振分光器2 171
>]s|'HTxF 8.23 消偏振立体分光器 172
3D(/k%;) 8.24 消偏振截止滤光片 173
1o
V\QK& 8.25 立体偏振分束器1 174
%?^IS&]Z 8.26 立方偏振分束器2 177
DFcgUEq 8.27 相位延迟器 178
n~@;[=o?5 8.28 红外截止器 179
t*iKkV^aE 8.29 21层长波带通滤波器 180
MQ7N8 @!t 8.30 49层长波带通滤波器 181
"sdzm%
8.31 55层短波带通滤波器 182
V+(1U|@~
8.32 47 红外截止器 183
wa5wkuS)ld 8.33 宽带通滤波器 184
**N{XxdN 8.34 诱导透射滤波器 186
>;LXy 8.35 诱导透射滤波器2 188
%
tT L 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
[RoOc)u 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
W9+H/T7! 8.35 增益平坦滤波器 193
p
D-k<8| 8.38 啁啾反射镜 1 196
j
Jt"= 8.39 啁啾反射镜2 198
{Cd Q)| 8.40 啁啾反射镜3 199
LhKaqR{ 8.41 带保护层的铝膜层 200
s IJl9 8.42 增加铝反射率膜 201
ark~#<SqAr 8.43 参考文献 202
xf% _HMKc 9 多层膜 204
3"FvYv{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
C0(?f[/(M 9.2 内部透过率 204
D=Jj !; 9.3 内部透射率数据 205
6#hDj_(, 9.4 实例 206
g0O~5.f 9.5 实例2 210
P;4Y%Dq~Qo 9.6 圆锥和带宽计算 212
XYj!nx{k, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
Se{x-vn?p 10 光学薄膜的颜色 216
`\ _>P@qz 10.1 导言 216
+ Nn
$ 10.2 色彩 216
l!qhK'']V" 10.3 主波长和纯度 220
jlXzfDT 10.4 色相和纯度 221
`ECY:3"$KA 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
A#k(0e!O 10.6 色差 226
=p{55dR 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
Lz6b9W 10.8 颜色渲染指数 234
MkLXMwuQ& 10.9 色差计算 235
[ICFPY6 10.10 参考文献 236
*hWpJEV 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
08czP-)OZ 11.1 短脉冲 238
AS5'j 11.2 群速度 239
5ir
Ffr 11.3 群速度色散 241
hQ7-m.UZw 11.4 啁啾(chirped) 245
7XzhKA6 11.5 光学薄膜—相变 245
O"^3,- 11.6 群延迟和延迟色散 246
LuW>8K\ 11.7 色度色散 246
W>#[a %R 11.8 色散补偿 249
_nwsIjsW 11.9 空间
光线偏移 256
C GN=kQ 11.10 参考文献 258
I-Q@v` 12 公差与误差 260
+}VaQ8ti4 12.1 蒙特卡罗模型 260
$Z|HFV{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
NMs8^O|0 12.2.1 误差工具 267
[g<Y,0,J 12.2.2 灵敏度工具 271
ES}V\k*} 12.2.2.1 独立灵敏度 271
t|PQ4g< 12.2.2.2 灵敏度分布 275
{'8td^JEE 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
PfR|\{( 12.3 参考文献 276
22OfbwCb
13 Runsheet 与Simulator 277
R?t_tmKXC! 13.1 原理介绍 277
y#T.w0* 13.2 截止滤光片设计 277
DHq#beN 14 光学常数提取 289
&=^YN"=Z 14.1 介绍 289
Ko|m<;LX 14.2 电介质薄膜 289
u4#YZOiY)A 14.3 n 和k 的提取工具 295
aP$it6Z 14.4 基底的参数提取 302
ty8>(N(~ 14.5 金属的参数提取 306
K/iFB 14.6 不正确的模型 306
Rtu"#XcBw+ 14.7 参考文献 311
f@@7?5fW 15 反演工程 313
yJK:4af;. 15.1 随机性和
系统性 313
5,\-; 15.2 常见的系统性问题 314
%lk^(@+ T 15.3 单层膜 314
9])Id;+91 15.4 多层膜 314
mv,5Q6! 15.5 含义 319
nR]*RIp5 15.6 反演工程实例 319
;kI)j
? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
s\zY^(v4 15.6.2 反演工程提取折射率 327
EQWRfx?d 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
5e3p9K`5 16.1 光学性质的热致偏移 329
#iKPp0`K* 16.2 应力工具 335
})+iAxR 16.3 均匀性误差 339
wz.. 16.3.1 圆锥工具 339
0q4PhxR`e 16.3.2 波前问题 341
`?{6L# 16.4 参考文献 343
(%c&Km7K 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
=8vNOvA 17.1 引言 345
c,^W/:CQAB 17.2 操作数 345
w@"Zjbs` 18 如何在Function中编写脚本 351
NCdDG 18.1 简介 351
|:.s6a# ( 18.2 什么是脚本? 351
m@Dra2Cv'@ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
6FYL},.R 18.4 基础 352
?W_8X2(` 18.4.1 Classes(类别) 352
>V?W_oM) 18.4.2 对象 352
O{7rIy 18.4.3 信息(Messages) 352
<5E)6c_W) 18.4.4 属性 352
&pf"35ll 18.4.5 方法 353
Egz6rRCvg 18.4.6 变量声明 353
Q<NQ9lX 18.5 创建对象 354
#zv&h`gY 18.5.1 创建对象函数 355
<:!E'WT#f 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Vm?# ~}T 18.5.3 丢弃对象 356
:t9sAD 18.5.4 总结 356
Wks zNh 18.6 脚本中的表格 357
cTz@ga;!mI 18.6.1 方法1 357
IL:[0q 18.6.2 方法2 357
^q_wtuQ 18.7 2D Plots in Scripts 358
,SPgop' 18.8 3D Plots in Scripts 359
*s#6e} 18.9 注释 360
3ZC@q
#R
A 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
ZbiC=uh 18.11 一个更高级的脚本 362
<"K2t
Tg. 18.12 <esc>键 364
:@@`N_2? 18.13 包含文件 365
p TaC$Ne 18.14 脚本被
优化调用 366
dDSb1TM 18.15 脚本中的对话框 368
Yecdw'BW? 18.15.1 介绍 368
5t-d+vB 18.15.2 消息框-MsgBox 368
kL8E# 18.15.3 输入框函数 370
C?k\5AzT 18.15.4 自定义对话框 371
7IFZK\V 18.15.5 对话框编辑器 371
_xH<R 18.15.6 控制对话框 377
fN@ZJ~F%j 18.15.7 更高级的对话框 380
\[qxOZ{ 18.16 Types语句 384
~+d{:WY 18.17 打开文件 385
GGo~39G 18.18 Bags 387
"uP*pR^ 18.13 进一步研究 388
]8R@2L3s 19 vStack 389
tAo$;| 19.1 vStack基本原理 389
</Y(4Xwf= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
:Jf</uP_ 19.3 五棱镜 393
k]C k%[d 19.4 光束距离 396
8KN3|) 19.5 误差 399
s?s,wdp 19.6 二向分色棱镜 399
BQ<\[H; 19.7 偏振泄漏 404
;&gk)w6* 19.8 波前误差—相位 405
St(jrZb 19.9 其它计算参数 405
p^}`^>OL 20 报表生成器 406
3.Yg3&"Z 20.1 入门 406
ZXL'R|? 20.2 指令(Instructions) 406
FZ RnIg 20.3 页面布局指令 406
@U3z@v]s(h 20.4 常见的参数图和三维图 407
WO{7/h</ 20.5 表格中的常见参数 408
:/%Y"0 20.6 迭代指令 408
Kxa1F,dZ 20.7 报表模版 408
l.]wBH#RS 20.8 开始设计一个报表模版 409
3UmkFK< 21 一个新的project 413
#AP;GoIf"j 21.1 创建一个新Job 414
5!S#}=f= 21.2 默认设计 415
{chZ&8)f 21.3 薄膜设计 416
mn=b&{')e 21.4 误差的灵敏度计算 420
M%la@2SK= 21.5 显色指数计算 422
6]Q#4 21.6 电场分布 424
aeI0;u 后记 426
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