i
Lr*W#E HRP4"#9R 内容简介 V }<Hx3! Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
mHcxK@qw 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
W+N9~.q\^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
e_mUO" 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
wX dtY /'vCO
|?L 目录 `
O;+N"v Preface 1
1NJ,If] 内容简介 2
EAiE@r>4 目录 i
Fl)p^uUtl 1 引言 1
!J<}=G5 2 光学薄膜基础 2
t[gz#' 2.1 一般规则 2
' *h y!f] 2.2 正交入射规则 3
LvP{"K; 2.3 斜入射规则 6
*6uZ"4rb. 2.4 精确计算 7
Oa7x(wS 2.5 相干性 8
9e^HTUFbG 2.6 参考文献 10
z@@w?>* 3 Essential Macleod的快速预览 10
=R+z\`2 4 Essential Macleod的特点 32
llG^ +*Y8t 4.1 容量和局限性 33
FCO5SX#-g 4.2 程序在哪里? 33
Vf?+->-?{ 4.3 数据文件 35
XP#j9CF#. 4.4 设计规则 35
N~I2~f 4.5 材料数据库和
资料库 37
pPr/r& r 4.5.1材料损失 38
v.Fq.
4.5.1材料数据库和导入材料 39
-"*UICd 4.5.2 材料库 41
8Q $fXB 4.5.3导出材料数据 43
2de[ yz 4.6 常用单位 43
#'"zyidu 4.7 插值和外推法 46
GJlkEWs 4.8 材料数据的平滑 50
BN!N_r 4.9 更多光学常数模型 54
}9Yd[` 4.10 文档的一般编辑规则 55
eK]g FXk 4.11 撤销和重做 56
];@"-H 4.12 设计文档 57
&=bWXNU. 4.10.1 公式 58
f n]rMH4> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Z.9?u; 4.10.3 沉积密度 59
t{)Z$)' 4.10.4 平行和楔形介质 60
w7n6@"q 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
Yt^<^l77D 4.10.4 性能 61
Be?b|
G!M 4.10.5 保存设计和性能 64
&S\q*H=}i 4.10.6 默认设计 64
<PBrW#:' 4.11 图表 64
3&*_5<t\X 4.11.1 合并曲线图 67
Z+jgFl
4 4.11.2 自适应绘制 68
?_S f 4.11.3 动态绘图 68
i1ph{;C 4.11.4 3D绘图 69
2^-Z17Z} 4.12 导入和导出 73
7D5;lM[_ 4.12.1 剪贴板 73
?sF<L/P0
F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
45cMG~]p 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
hD OEJ 4.13 背景 77
k+*DPo@) 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
FmU>q) 4.15 生成Rugate 84
e_Cns& 4.16 参考文献 91
rL+K Sb 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
}(}+I}&~ 5.1 Jobs 92
?QzA;8H 5.2 创建一个新Job(工作) 93
K \?b6;ea 5.3 输入材料 94
j8lWra\y 5.4 设计数据文件夹 95
1Ql\aO) 5.5 默认设计 95
}%j@%Ep[ 6 细化和合成 97
1PwqWg-\\ 6.1 优化介绍 97
ppv/A4Kv 6.2 细化 (Refinement) 98
eUiJl6^x 6.3 合成 (Synthesis) 100
+q z"+g 6.4 目标和评价函数 101
hY5G=nbO* 6.4.1 目标输入 102
)ESF)aKMiz 6.4.2 目标 103
YXD6GJWo 6.4.3 特殊的评价函数 104
m%8idjnG 6.5 层锁定和连接 104
k M/cD` 6.6 细化技术 104
W'2a1E 6.6.1 单纯形 105
*0y|0J+0 6.6.1.1 单纯形
参数 106
@S3G> i 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
x50,4J%J'r 6.6.2.1 Optimac参数 108
d1=kHU4_9 6.6.3 模拟退火算法 109
E1,Sr?' 6.6.3.1
模拟退火参数 109
&p\fdR4e 6.6.4 共轭梯度 111
+-=o16*{ ! 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
r[P5
ufy2] 6.6.5 拟牛顿法 112
cO$
PK 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
9v7l@2/ 6.6.6 针合成 113
cE7xNZ;Bh 6.6.6.1 针合成参数 114
e}qG _* 6.6.7 差分进化 114
b_Us%{ 6.6.8非局部细化 115
kNX"Vo]1 6.6.8.1非局部细化参数 115
U1&pcwP 6.7 我应该使用哪种技术? 116
R#ayN* 6.7.1 细化 116
#q2cVN1 6.7.2 合成 117
+J`EBoIo 6.8 参考文献 117
UL0%oJ# 7 导纳图及其他工具 118
5B+>28G% 7.1 简介 118
{Mt4QA5iZ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
tz(\|0WDQ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
,X Zo0! 7.2.2 导纳图 120
hr%O 4&sa 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
/|{Yot
e 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
y(M- 7.5 斜入射导纳图 141
*Vk%"rwaG 7.6 对称周期 141
WB S~e 7.7 参考文献 142
i#I+ 8 典型的镀膜实例 143
&V;^xMO! 8.1 单层抗反射薄膜 145
xpo<1Sr>S 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
b-}nv`9C 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
|1d;0*HIgX 8.4 W-膜层 148
a`.] 8Jy) 8.5 V-膜层 149
cP[3p: 8.6 V-膜层高折射基底 150
lWj|7 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
w_30g6tA 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
/]=dPb% 8.9 四层抗反射薄膜 153
g?V>+oMx 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
(eS/Q%ZGK 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
K-Bf=7F, 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
b2;+a( 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
SJY<#_b 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
HJl$v#]#+ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
(17%/80-J 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
$~UQKv> 8.17 1/4波长堆栈 162
e%VJ:Dj 8.18 陷波滤波器 163
+^% y&8e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
[t55Kz*cD 8.20 褶皱 165
i_OoR"J% 8.21 消偏振分光器1 169
9z9z:PU 8.22 消偏振分光器2 171
:O:Rfmr~ 8.23 消偏振立体分光器 172
a\an 8.24 消偏振截止滤光片 173
$x&@!/&|pv 8.25 立体偏振分束器1 174
/{pVYY 8.26 立方偏振分束器2 177
41luFtE9 8.27 相位延迟器 178
%AbA(F 8.28 红外截止器 179
/60`"xH 8.29 21层长波带通滤波器 180
d%l_:M3 8.30 49层长波带通滤波器 181
'LZF^m _<< 8.31 55层短波带通滤波器 182
y=y=W5#;77 8.32 47 红外截止器 183
tjZ.p.IlG 8.33 宽带通滤波器 184
(uG.s %I 8.34 诱导透射滤波器 186
%1ofu,% 8.35 诱导透射滤波器2 188
r(` ;CY]@ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
.uzg2Kd_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
D8P<mIu}Y 8.35 增益平坦滤波器 193
&0*l=!:G^ 8.38 啁啾反射镜 1 196
'0g1v7Gx 8.39 啁啾反射镜2 198
%V-\ |cw 8.40 啁啾反射镜3 199
[Af&K22M(X 8.41 带保护层的铝膜层 200
q0Fq7rWP 8.42 增加铝反射率膜 201
]@OGp:Hz 8.43 参考文献 202
O[Xl*9P 9 多层膜 204
usiv`.
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Dt,b\6 9.2 内部透过率 204
5Cxh>,k 9.3 内部透射率数据 205
BCV<( @c 9.4 实例 206
@xR7>-$0p 9.5 实例2 210
WrhC
q6 9.6 圆锥和带宽计算 212
6'y+Ev$9 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
zAEq)9Y"l' 10 光学薄膜的颜色 216
%Kd&A* 10.1 导言 216
xlVQ[Mt 10.2 色彩 216
"?_adot5v 10.3 主波长和纯度 220
G)\s{qk 10.4 色相和纯度 221
)@.bkzW 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
9`}Wp2 10.6 色差 226
GSg|Gz""J0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
iMRb`
\KH 10.8 颜色渲染指数 234
[^r0red 10.9 色差计算 235
wsp&U
.z 10.10 参考文献 236
v{Cts3?Br 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
>E^?<}E~. 11.1 短脉冲 238
}J .f
5WaG 11.2 群速度 239
d;&'uiS 11.3 群速度色散 241
5VIpA 11.4 啁啾(chirped) 245
$|.x !sA 11.5 光学薄膜—相变 245
F\!;}z 11.6 群延迟和延迟色散 246
Q:Q)-|, 11.7 色度色散 246
@`2<^-r\ 11.8 色散补偿 249
q[{q3-W 11.9 空间
光线偏移 256
3#R~>c2 11.10 参考文献 258
"~x\bSY 12 公差与误差 260
#.p^S0\pw 12.1 蒙特卡罗模型 260
\UFno$;mA 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
:@w
;no>=* 12.2.1 误差工具 267
6Uq@v8mh 12.2.2 灵敏度工具 271
)
Ph. 12.2.2.1 独立灵敏度 271
=O~1L m; 12.2.2.2 灵敏度分布 275
{snLiCl 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
GL&ri!, 12.3 参考文献 276
~/1kCZB 13 Runsheet 与Simulator 277
j>~^jz: 13.1 原理介绍 277
\{J gjd 13.2 截止滤光片设计 277
iRo UM.% 14 光学常数提取 289
M= !Fb 14.1 介绍 289
6}mbj=E` 14.2 电介质薄膜 289
-xq)brG 14.3 n 和k 的提取工具 295
B1m@ 14.4 基底的参数提取 302
r AMnM>` 14.5 金属的参数提取 306
`),7*gn*) 14.6 不正确的模型 306
%Rv&VFg 14.7 参考文献 311
Gxv@ a 15 反演工程 313
|Q:$G!/ 15.1 随机性和
系统性 313
XG
]yfux` 15.2 常见的系统性问题 314
=]E(iR_& 15.3 单层膜 314
QQPbKok> 15.4 多层膜 314
rz+G]J 15.5 含义 319
%@q52ZQ 15.6 反演工程实例 319
QlIg'B6 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
CF9a~^+% 15.6.2 反演工程提取折射率 327
t/WauY2JUC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
,GXwi|Y 16.1 光学性质的热致偏移 329
qa#Fa)g* 16.2 应力工具 335
'vj45b 16.3 均匀性误差 339
le yhiL< 16.3.1 圆锥工具 339
<&TAN L 16.3.2 波前问题 341
O_0|Q@ 16.4 参考文献 343
z=<T[Uy 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
owZjQ 17.1 引言 345
1B=vrGq 17.2 操作数 345
3;~1rw=$< 18 如何在Function中编写脚本 351
m8$6FN 18.1 简介 351
+o(t5O[G 18.2 什么是脚本? 351
W%b<(T;
18.3 Function中脚本和操作数对比 351
0z/tceW'F 18.4 基础 352
Lx,"jA/ 18.4.1 Classes(类别) 352
hXM8`iFW5 18.4.2 对象 352
xksQMS2# 18.4.3 信息(Messages) 352
CeS8I-, 18.4.4 属性 352
)u ]J`.OA 18.4.5 方法 353
k(<5tv d 18.4.6 变量声明 353
v^y3r 18.5 创建对象 354
UBqA[9 18.5.1 创建对象函数 355
ZT4._|2 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
>8Zz<S&z 18.5.3 丢弃对象 356
Fwyv>U 18.5.4 总结 356
G& cm5 18.6 脚本中的表格 357
J}EQ_FC"$ 18.6.1 方法1 357
Gnp,~F" 18.6.2 方法2 357
i;lzFu)G 18.7 2D Plots in Scripts 358
rmpJG|( 18.8 3D Plots in Scripts 359
?l`DkUo*j 18.9 注释 360
QKc3Q5)@j 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
6@g2v^ % 18.11 一个更高级的脚本 362
4ao
oBY$ 18.12 <esc>键 364
5p"n g8nR 18.13 包含文件 365
<M nzR 18.14 脚本被
优化调用 366
-liVYI2s 18.15 脚本中的对话框 368
j]rE0Og 18.15.1 介绍 368
?|TVz!3 18.15.2 消息框-MsgBox 368
Ks@S5:9sp 18.15.3 输入框函数 370
)`F?{Sg 18.15.4 自定义对话框 371
/:>qhRFJA: 18.15.5 对话框编辑器 371
^~-i>gTD 18.15.6 控制对话框 377
[%;LZZgl 18.15.7 更高级的对话框 380
R"e~0WO 18.16 Types语句 384
_o~<f)E[9 18.17 打开文件 385
NZ9=hI;iM 18.18 Bags 387
J)A1`(x&T 18.13 进一步研究 388
"6^tG[G% 19 vStack 389
\6)l(b; 19.1 vStack基本原理 389
H&E c*MT 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
iHr{
VQ 19.3 五棱镜 393
d]VL(& 19.4 光束距离 396
%\\l/{`eW 19.5 误差 399
f3lFpS 19.6 二向分色棱镜 399
0`"]mYH 19.7 偏振泄漏 404
5FtbZ1L 19.8 波前误差—相位 405
X3(:)zUL 19.9 其它计算参数 405
Namw[TgJ 20 报表生成器 406
%/~6Qq 20.1 入门 406
f%ZqK_CW 20.2 指令(Instructions) 406
m46Q%hwV 20.3 页面布局指令 406
AR`X2m ' 20.4 常见的参数图和三维图 407
Zw| IY9D 20.5 表格中的常见参数 408
I8gGP' 20.6 迭代指令 408
'?E^\\"* 20.7 报表模版 408
.oH0yNFX 20.8 开始设计一个报表模版 409
Dk&cIZ43 21 一个新的project 413
G5ebb6[+ 21.1 创建一个新Job 414
E{^*^+c"h 21.2 默认设计 415
yY4*/w7*j4 21.3 薄膜设计 416
hdW",Bf' 21.4 误差的灵敏度计算 420
6/hY[a! 21.5 显色指数计算 422
$6XSW 21.6 电场分布 424
z!)_'A 后记 426
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