8ELCs<xI KO]T<R
h< 内容简介 "f "6]y Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
"tB;^jhRs 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
F )W: 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
}UWL-TkEjF 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
8>0e*jC DpUbzr41+k 目录 z"0I>gl Preface 1
1UE6 4Kl:S 内容简介 2
.ox8*OO< 目录 i
D'J0wT# 1 引言 1
<$X3Hye 2 光学薄膜基础 2
j!]YNH@ 2.1 一般规则 2
NdzSz]q} 2.2 正交入射规则 3
O*0l+mop 2.3 斜入射规则 6
m^bNuo 2.4 精确计算 7
;\=M;Zt 2.5 相干性 8
W3 'q\+ 2.6 参考文献 10
~},=OF-b 3 Essential Macleod的快速预览 10
>U%gctIg 4 Essential Macleod的特点 32
jV4\A
4.1 容量和局限性 33
\'|>p/5I 4.2 程序在哪里? 33
JwAYG5W 4.3 数据文件 35
BFo5\l:q8 4.4 设计规则 35
V+VkY3 4.5 材料数据库和
资料库 37
prTw'~(B 4.5.1材料损失 38
U-R6xxPZ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
maXG:l| 4.5.2 材料库 41
q U]gj@R 4.5.3导出材料数据 43
l]8D7(g 4.6 常用单位 43
`NgAT
3zq 4.7 插值和外推法 46
hFH*B~*:# 4.8 材料数据的平滑 50
pKit~A,Q 4.9 更多光学常数模型 54
:TJv=T'p' 4.10 文档的一般编辑规则 55
0l-Ef1 4.11 撤销和重做 56
4:r!|PJn{G 4.12 设计文档 57
.=X}cJ]`[ 4.10.1 公式 58
>D(R YI 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
DV<` K$ET 4.10.3 沉积密度 59
&(xH$htv1 4.10.4 平行和楔形介质 60
2oNk93D 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
qzf!l"bT 4.10.4 性能 61
&NH$nY.r 4.10.5 保存设计和性能 64
xwJH(_- 4.10.6 默认设计 64
cp#JBHO 4.11 图表 64
ha(Z< 4.11.1 合并曲线图 67
t.`@{R$hoA 4.11.2 自适应绘制 68
bO'Sgc[] 4.11.3 动态绘图 68
L5
veX} 4.11.4 3D绘图 69
iZaI_\"__ 4.12 导入和导出 73
aVK3?y2 4.12.1 剪贴板 73
Il=
W,/y 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
j(RWO 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
qoj$]
4.13 背景 77
FRg^c
kb" 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
L1Iz<> 4.15 生成Rugate 84
DGAX3N;r6{ 4.16 参考文献 91
]>~)<
5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
%jJ>x3$F 5.1 Jobs 92
ni<A3OB 5.2 创建一个新Job(工作) 93
BV>\ McI+ 5.3 输入材料 94
2@%$;. 5.4 设计数据文件夹 95
V&Xe!S 5.5 默认设计 95
`"&da#N] 6 细化和合成 97
rzh#CnL3 6.1 优化介绍 97
bpKZ3}U 6.2 细化 (Refinement) 98
nij!1z|M 6.3 合成 (Synthesis) 100
`eIenA 6.4 目标和评价函数 101
RV5n,J 6.4.1 目标输入 102
Cb9;QzBVA# 6.4.2 目标 103
2Fq<*pxAY
6.4.3 特殊的评价函数 104
4*e0 hWp 6.5 层锁定和连接 104
D (h18 6.6 细化技术 104
Bc6|n :;u 6.6.1 单纯形 105
V{^!BBQ
6.6.1.1 单纯形
参数 106
7tcPwCc{ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Lz:(6`S 6.6.2.1 Optimac参数 108
~Uxsn@nLr 6.6.3 模拟退火算法 109
dVsE^jsL 6.6.3.1
模拟退火参数 109
>|twyb 6.6.4 共轭梯度 111
5lm<% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
.8y3O] 6.6.5 拟牛顿法 112
|b|&XB_<]Z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
TJ1+g
\ 6.6.6 针合成 113
^sVX)% 6.6.6.1 针合成参数 114
_c,'>aH= 6.6.7 差分进化 114
o9F/y=.r= 6.6.8非局部细化 115
[BT/~6ovrZ 6.6.8.1非局部细化参数 115
/ew
Ukc8, 6.7 我应该使用哪种技术? 116
XI9js{p 6.7.1 细化 116
_ B5gR 6.7.2 合成 117
*{yK
8 6.8 参考文献 117
Up,vD)tG 7 导纳图及其他工具 118
IaT$6\> 7.1 简介 118
<j5NFJ9 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
jSwf*u 7.2.1 四分之一
波长规则 119
lhw ,J]0* 7.2.2 导纳图 120
4( 1(e 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
Xt#4/>dlR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
F$hYKT2| 7.5 斜入射导纳图 141
yb/%?DNQT 7.6 对称周期 141
t| 'N+-T3 7.7 参考文献 142
uvV;Mlo] 8 典型的镀膜实例 143
RW }"2 8.1 单层抗反射薄膜 145
~Q>_uw}g# 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
!X<~-G2)l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
j'BMAn ? 8.4 W-膜层 148
iTV) NsC} 8.5 V-膜层 149
"sl1vzRN 8.6 V-膜层高折射基底 150
2c:#O%d( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
*
;Cy=J+ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
NsJ(`zk: 8.9 四层抗反射薄膜 153
<F.Tx$s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
e`v`XSA[p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
?HV`|
Cw 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
!Z5[QNVaV 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
W"k8KODOY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
a\:VREKj, 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Vw&HVo 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
,$
^C4I 8.17 1/4波长堆栈 162
|)K]U 8.18 陷波滤波器 163
(>I`{9x>6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
ea00\ 8.20 褶皱 165
%0mMz.f 8.21 消偏振分光器1 169
A^2Uzmzl? 8.22 消偏振分光器2 171
ZJ 77[ 8.23 消偏振立体分光器 172
lME)?LOI 8.24 消偏振截止滤光片 173
hwIMn33 8.25 立体偏振分束器1 174
]Wq?H-B{ 8.26 立方偏振分束器2 177
E)9yH\$6 8.27 相位延迟器 178
DANw1_X\ 8.28 红外截止器 179
1[t=XDz/e 8.29 21层长波带通滤波器 180
pmFk50` 8.30 49层长波带通滤波器 181
(Gw,2-A 8.31 55层短波带通滤波器 182
L 8.32 47 红外截止器 183
H_ez'yy 8.33 宽带通滤波器 184
\a=D 8.34 诱导透射滤波器 186
p!<$vE 8.35 诱导透射滤波器2 188
.^m>AKC0cX 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
-pE(_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
5n
^TRB 8.35 增益平坦滤波器 193
RNhJ'&SYs 8.38 啁啾反射镜 1 196
E gDQ+(
- 8.39 啁啾反射镜2 198
^+1#[E 8.40 啁啾反射镜3 199
9Y<#=C 8.41 带保护层的铝膜层 200
W5' 3$,X9 8.42 增加铝反射率膜 201
8B#GbS
K 8.43 参考文献 202
!QT'L,_ 9 多层膜 204
cn-
nj] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
?"KC-u| 9.2 内部透过率 204
]Bm>-*@0N 9.3 内部透射率数据 205
;9}pOzF1q 9.4 实例 206
6O22P?v 9.5 实例2 210
*k1<:
@%e 9.6 圆锥和带宽计算 212
s #S%#LM 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
Y2[A2Uy$ef 10 光学薄膜的颜色 216
\ AC|?/sH 10.1 导言 216
!2|=PB' M 10.2 色彩 216
C( id=F 10.3 主波长和纯度 220
nxJee=qH 10.4 色相和纯度 221
k,uK6$Z 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
'vbc#_; 10.6 色差 226
v i)%$~ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
@YH+cG| 10.8 颜色渲染指数 234
ZJjTzEV%^B 10.9 色差计算 235
N|Sf=q?Ko 10.10 参考文献 236
7lo|dg80 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
wCHR7X0*b 11.1 短脉冲 238
_HA$
j2
11.2 群速度 239
/LM4-S 11.3 群速度色散 241
&l?+3$q 11.4 啁啾(chirped) 245
vw)7 !/# 11.5 光学薄膜—相变 245
P\&! ] 11.6 群延迟和延迟色散 246
Z^9/v 11.7 色度色散 246
}I!hOD>]O 11.8 色散补偿 249
0'r%,0 11.9 空间
光线偏移 256
x#N-&baS 11.10 参考文献 258
t
nS+5F 12 公差与误差 260
WpLZQ6wH 12.1 蒙特卡罗模型 260
c=6Q%S 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
3<?XTv- 12.2.1 误差工具 267
=U.
b% uC 12.2.2 灵敏度工具 271
Zh/Uu6 12.2.2.1 独立灵敏度 271
0gn@h/F2% 12.2.2.2 灵敏度分布 275
((rv]f{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
NA.1QQ;e 12.3 参考文献 276
w~@-9<^K]v 13 Runsheet 与Simulator 277
PjIeZ&p 13.1 原理介绍 277
Ce'pis 13.2 截止滤光片设计 277
%ObD2)s6:^ 14 光学常数提取 289
dtAbc7 14.1 介绍 289
RA jkH` 14.2 电介质薄膜 289
WM)F0@" 14.3 n 和k 的提取工具 295
&-1./? 14.4 基底的参数提取 302
T|"7sPgGR 14.5 金属的参数提取 306
;p ]y)3 14.6 不正确的模型 306
\NqEw@91B 14.7 参考文献 311
- /c7nF 15 反演工程 313
w^1Fi8+ 15.1 随机性和
系统性 313
3g~^LZ66 15.2 常见的系统性问题 314
Lz\UZeq 15.3 单层膜 314
? &zQaxD 15.4 多层膜 314
ofW+_DKB?l 15.5 含义 319
>x[`;O4 15.6 反演工程实例 319
Q!M)xNl/ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
^I]{7$6^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
gq5qRi`q 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
@+_&Y] 16.1 光学性质的热致偏移 329
somfv$'B 16.2 应力工具 335
{ ?{U,& 16.3 均匀性误差 339
PzY)"]g 16.3.1 圆锥工具 339
oY`qI nM_ 16.3.2 波前问题 341
-s$<Op{s 16.4 参考文献 343
j|e[s ?d 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
xiyxrR; 17.1 引言 345
<SVmOmJ-K 17.2 操作数 345
x"(9II* 18 如何在Function中编写脚本 351
K<v:-TjQZ: 18.1 简介 351
/9Ilo\MdD 18.2 什么是脚本? 351
k:#6^!b1 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
s T3p>8n 18.4 基础 352
(3*UPZv 18.4.1 Classes(类别) 352
'9J|=z9. 18.4.2 对象 352
Pj7gGf6v 18.4.3 信息(Messages) 352
0p fnV% 18.4.4 属性 352
v.W{x?5 18.4.5 方法 353
["3df>!f 18.4.6 变量声明 353
ad!(z[F'Y 18.5 创建对象 354
w5]l1}rl 18.5.1 创建对象函数 355
NE"jh_m- 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
oj}"H>tTp 18.5.3 丢弃对象 356
wUi(3g|A 18.5.4 总结 356
-PAF p3w\y 18.6 脚本中的表格 357
fY2wDD 18.6.1 方法1 357
sXl ??UGe 18.6.2 方法2 357
8o)L,{yl 18.7 2D Plots in Scripts 358
m%QqmTH 18.8 3D Plots in Scripts 359
)Mzt3u 18.9 注释 360
>Csbjf6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
X9~m8c){z 18.11 一个更高级的脚本 362
f|xLKcOP 18.12 <esc>键 364
z^sST 18.13 包含文件 365
${U6= 18.14 脚本被
优化调用 366
N_C_O$j 18.15 脚本中的对话框 368
>uHS[ _`nM 18.15.1 介绍 368
{U
<tc4^ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
um8AdiK 18.15.3 输入框函数 370
/~}_h O$S 18.15.4 自定义对话框 371
>,h1N$A+ 18.15.5 对话框编辑器 371
zj]b&In6; 18.15.6 控制对话框 377
$<e +r$1 18.15.7 更高级的对话框 380
B[NJ^b| 18.16 Types语句 384
j$eCe<.3 18.17 打开文件 385
+Z?[M1g 18.18 Bags 387
9y"TDo 18.13 进一步研究 388
Ku3!*n_\ 19 vStack 389
;.Zh,cU 19.1 vStack基本原理 389
jXEGSn 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
=aow
d4t 19.3 五棱镜 393
) Ypz! 19.4 光束距离 396
J0Four#MD 19.5 误差 399
\;
bWh 19.6 二向分色棱镜 399
B-Y+F 19.7 偏振泄漏 404
^now}u9S6 19.8 波前误差—相位 405
}(=ml7 )v 19.9 其它计算参数 405
5fHYc0 20 报表生成器 406
Zd>ZY,-5 20.1 入门 406
`F,zenk= 20.2 指令(Instructions) 406
i
X/tt 20.3 页面布局指令 406
Pi%tsKk% 20.4 常见的参数图和三维图 407
ug6r]0] 20.5 表格中的常见参数 408
96W4c]NT 20.6 迭代指令 408
u[t>Tg2R 20.7 报表模版 408
Tcs3>lJ} 20.8 开始设计一个报表模版 409
P$h;SK 21 一个新的project 413
ChIoR:y> 21.1 创建一个新Job 414
z\[(g 21.2 默认设计 415
hCLk#_ 21.3 薄膜设计 416
GUCM4jVT^ 21.4 误差的灵敏度计算 420
v,\93mNp[ 21.5 显色指数计算 422
R+^z y"~ 21.6 电场分布 424
Xr2J:1pgg 后记 426
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