H=RzY-\a% f>!)y- 7 内容简介 %A64AJZ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
'9@S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
xvw @'| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
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2015年9月3日
55q!2>Jh. Heh.CD)Q 目录 tg-U x Preface 1
=1sGT;> 内容简介 2
8?LsV< 目录 i
i^T@jg+K 1 引言 1
.j^tFvN~L 2 光学薄膜基础 2
|y1O M 2.1 一般规则 2
!l NCuR/T 2.2 正交入射规则 3
M$_E:u&D 2.3 斜入射规则 6
7.)kG}q] 2.4 精确计算 7
%hDx UZ#0 2.5 相干性 8
uDD{O~wF, 2.6 参考文献 10
}?G([s56 3 Essential Macleod的快速预览 10
sjGy=d{:oL 4 Essential Macleod的特点 32
TWE>"8] 4.1 容量和局限性 33
y_mTO4\C2 4.2 程序在哪里? 33
$ix:S$ 4.3 数据文件 35
@7UZ{+67*C 4.4 设计规则 35
E$SYXe [, 4.5 材料数据库和
资料库 37
}aO6% 4.5.1材料损失 38
!]f80z 4.5.1材料数据库和导入材料 39
zVt1Ta:j 4.5.2 材料库 41
&3gC&b^i 4.5.3导出材料数据 43
)XCG4-1 4.6 常用单位 43
xmVW6 ,<? 4.7 插值和外推法 46
)j,Y(V$P 4.8 材料数据的平滑 50
$, hHR: 4.9 更多光学常数模型 54
)7]la/0 4.10 文档的一般编辑规则 55
(A(j.[4a 4.11 撤销和重做 56
;k?Z,M: 4.12 设计文档 57
\k4tYL5 4.10.1 公式 58
.A6D&-&z 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
H(?)v.% 4.10.3 沉积密度 59
O06 2c)vIY 4.10.4 平行和楔形介质 60
$8>kk 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
)[b\wrc 4.10.4 性能 61
`D/<*e,# 4.10.5 保存设计和性能 64
hY5GNYDh 4.10.6 默认设计 64
izDfpr}s4 4.11 图表 64
:;
z]:d 4.11.1 合并曲线图 67
qu\cU(H| 4.11.2 自适应绘制 68
cMs8D 4.11.3 动态绘图 68
ZLDO&} 4.11.4 3D绘图 69
QmgO00{ 4.12 导入和导出 73
<)$&V*\ 4.12.1 剪贴板 73
$^:s)Yv 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
W Og pDs 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
3</W}]$)p 4.13 背景 77
s(Y2]X4
( 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
KvjsibI/Y 4.15 生成Rugate 84
2Tp@;[!3 4.16 参考文献 91
FEH+ PKSc 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
;!S i_b2 5.1 Jobs 92
E"%dO 5.2 创建一个新Job(工作) 93
8n/8uRIR 5.3 输入材料 94
vpq"mpfkh 5.4 设计数据文件夹 95
j>8S,b=% 5.5 默认设计 95
GIb,y,PDB 6 细化和合成 97
bvW3[ V 6.1 优化介绍 97
LpK? C<?x 6.2 细化 (Refinement) 98
#V{!|Y ' 6.3 合成 (Synthesis) 100
6E@TcN~,! 6.4 目标和评价函数 101
R
X N0v@V 6.4.1 目标输入 102
buldA5*!o 6.4.2 目标 103
`+h+X9 6.4.3 特殊的评价函数 104
3xk-D &" 6.5 层锁定和连接 104
4wKQs&: 6.6 细化技术 104
!J&UO/q. 6.6.1 单纯形 105
8-_atL 6.6.1.1 单纯形
参数 106
|(<A)C 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
1l5'N=hL 6.6.2.1 Optimac参数 108
::p%R@? 6.6.3 模拟退火算法 109
;il+C!6zpf 6.6.3.1
模拟退火参数 109
A("\m>g$b 6.6.4 共轭梯度 111
o2D;EUsNX 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
e'yw8U5E/ 6.6.5 拟牛顿法 112
wpWZn[j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
K=!
C\T"I% 6.6.6 针合成 113
NR,R.N^[ 6.6.6.1 针合成参数 114
q`VkA
\ 6.6.7 差分进化 114
x4i&;SP0 6.6.8非局部细化 115
W|Cs{rBc? 6.6.8.1非局部细化参数 115
uZTbJ3$$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
XU<XK9EA 6.7.1 细化 116
@Q7^caG 6.7.2 合成 117
\sAkKPI 6.8 参考文献 117
rf^u&f 7 导纳图及其他工具 118
3*T/ 7\ 7.1 简介 118
c|@OD3w2lM 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
Dz,|sHCmk 7.2.1 四分之一
波长规则 119
;}lsD1S: 7.2.2 导纳图 120
Wf3{z
D~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
#qu;{I#W3 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
YSzC's[ 7.5 斜入射导纳图 141
Fh/psd 7.6 对称周期 141
|!81M|H 7.7 参考文献 142
Y <`X$ 8 典型的镀膜实例 143
L&KL]n 8.1 单层抗反射薄膜 145
(}5};v 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
e(?1`1 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
*k,{[b 8.4 W-膜层 148
~W-l|-eogz 8.5 V-膜层 149
`z`=!1 8.6 V-膜层高折射基底 150
K8/jfm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
'C=(?H)M 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
![!,i\x 8.9 四层抗反射薄膜 153
1LaJ
hrp? 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
w`EC6ZN 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
TS`m&N{i") 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
0dIGX |e 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
DR
@yd, 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
ly69:TR7I 8.15十五层宽带抗反射膜 159
j<QK1d17 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
ex#-,;T 8.17 1/4波长堆栈 162
[wk1p-hf 8.18 陷波滤波器 163
_R^ZXtypd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
TV|Z$,6l 8.20 褶皱 165
&lID6{7 9Z 8.21 消偏振分光器1 169
\PD%=~ 8.22 消偏振分光器2 171
.:XX c 8.23 消偏振立体分光器 172
Q8A+\LR~) 8.24 消偏振截止滤光片 173
L{GlDoFk 8.25 立体偏振分束器1 174
qfdL *D 8.26 立方偏振分束器2 177
GPizR|}h 8.27 相位延迟器 178
L8f_^
*, 8.28 红外截止器 179
}
@
[!%hE 8.29 21层长波带通滤波器 180
U# IPYyV 8.30 49层长波带通滤波器 181
AHMvh 7O? 8.31 55层短波带通滤波器 182
"!&
o|!2 8.32 47 红外截止器 183
L8Q/!+K 8.33 宽带通滤波器 184
#S]O|$&* 8.34 诱导透射滤波器 186
\[|X^8j 8.35 诱导透射滤波器2 188
$WE=u 9m 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
+vH#xc\' 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
?&!!(dWFH 8.35 增益平坦滤波器 193
QkWEVL@uM 8.38 啁啾反射镜 1 196
9ei<ou_s 8.39 啁啾反射镜2 198
}O+S}Hbwy 8.40 啁啾反射镜3 199
eY%Ep=J 8.41 带保护层的铝膜层 200
Lctp=X4 8.42 增加铝反射率膜 201
c6 .j$6t 8.43 参考文献 202
H@1qU|4 9 多层膜 204
Unansk 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
WZjR^6 9.2 内部透过率 204
ZFh[xg'0 9.3 内部透射率数据 205
mI\[L2x 9.4 实例 206
ADM!4L(s4} 9.5 实例2 210
_v8u% 9.6 圆锥和带宽计算 212
,$aqF<+; 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
xOr"3;^ 10 光学薄膜的颜色 216
4uh~@ Lv 10.1 导言 216
eL'fJcjw< 10.2 色彩 216
Ted tmX$ 10.3 主波长和纯度 220
[h_d1\ Cr 10.4 色相和纯度 221
*3h_'3yo@ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
VD $PoP 10.6 色差 226
Z%b1B<u$ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
ONZ(0H{ 1$ 10.8 颜色渲染指数 234
xT( pB-R 10.9 色差计算 235
f
=A#:d 10.10 参考文献 236
&_s^C?x 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
Gm> =s 11.1 短脉冲 238
(w+SmD 11.2 群速度 239
IGo5b-ds 11.3 群速度色散 241
_mQj= 11.4 啁啾(chirped) 245
zGc]*R 11.5 光学薄膜—相变 245
!HtW~8|: 11.6 群延迟和延迟色散 246
]zj&U#{ 11.7 色度色散 246
GO*D4<#u 11.8 色散补偿 249
:T>OJ"p 11.9 空间
光线偏移 256
L^PBcfg 11.10 参考文献 258
t\PSB 12 公差与误差 260
Bk@EQdn 12.1 蒙特卡罗模型 260
O2f-{jnTz, 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
B/mfm 7 12.2.1 误差工具 267
IL uQf- 12.2.2 灵敏度工具 271
|eFaOL| 12.2.2.1 独立灵敏度 271
(=Oo=8\ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
sHV?njZd 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
Eg2SC? 5 12.3 参考文献 276
}7K~- 13 Runsheet 与Simulator 277
D{qr N6g# 13.1 原理介绍 277
Zlt,Us` 13.2 截止滤光片设计 277
z5D*UOy5M 14 光学常数提取 289
V}~',o<m 14.1 介绍 289
sPl3JP&s 14.2 电介质薄膜 289
W^c /l*>v 14.3 n 和k 的提取工具 295
#;+SAoN
14.4 基底的参数提取 302
-G'3&L4
D 14.5 金属的参数提取 306
t!u>l 14.6 不正确的模型 306
cxFyN;7 14.7 参考文献 311
ccx0aC3@I 15 反演工程 313
Z.rhM[*+0C 15.1 随机性和
系统性 313
5`lVC$cP 15.2 常见的系统性问题 314
k9NHdi7&2 15.3 单层膜 314
|Ho}
D~ 15.4 多层膜 314
(yeWArQ 15.5 含义 319
L)S
V?FBx 15.6 反演工程实例 319
aWP9i& 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
7{k?"NF 15.6.2 反演工程提取折射率 327
OB^j
b8 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
x^cJ~e2 16.1 光学性质的热致偏移 329
bweAmSs 16.2 应力工具 335
e?
|4O<@ 16.3 均匀性误差 339
Z^%HDB9^ 16.3.1 圆锥工具 339
TN08,:k 16.3.2 波前问题 341
"5Z5x%3I 16.4 参考文献 343
eOfVBF<C2 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
H|MAbx
7 17.1 引言 345
o{l]n* 17.2 操作数 345
8%a
^j\L 18 如何在Function中编写脚本 351
-q
nOq[ 18.1 简介 351
tWQ$`<h 18.2 什么是脚本? 351
.ezZ+@LI+# 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
ZsYY)<n 18.4 基础 352
=.):tGDp 18.4.1 Classes(类别) 352
d69dC*> 18.4.2 对象 352
mgodvX 18.4.3 信息(Messages) 352
64<*\z_ 18.4.4 属性 352
9A|9:OdG1 18.4.5 方法 353
K!2%8Ej,J 18.4.6 变量声明 353
=rkW325O 18.5 创建对象 354
F[)tg#}@G 18.5.1 创建对象函数 355
T&:~= 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
rd=+[:7L 18.5.3 丢弃对象 356
0xaK"\Q 18.5.4 总结 356
PIoBK CJ 18.6 脚本中的表格 357
|eJR3o 18.6.1 方法1 357
\>{;,f 18.6.2 方法2 357
0< }BSv 18.7 2D Plots in Scripts 358
EN8xn9M? 18.8 3D Plots in Scripts 359
#>sIXY 18.9 注释 360
i.KRw6 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
_kBx2>qQ 18.11 一个更高级的脚本 362
ov
>5+"q) 18.12 <esc>键 364
)@=fGN Dt 18.13 包含文件 365
.&8a ;Q?c 18.14 脚本被
优化调用 366
@Q&k6.{4Z 18.15 脚本中的对话框 368
Wdga(8t 18.15.1 介绍 368
{K:]dO 18.15.2 消息框-MsgBox 368
C<w&mFozL 18.15.3 输入框函数 370
5ci1ce 18.15.4 自定义对话框 371
j6L (U~% 18.15.5 对话框编辑器 371
f9)0OHa 18.15.6 控制对话框 377
l?Ibq} [~ 18.15.7 更高级的对话框 380
9;L8%T
( 18.16 Types语句 384
7mtg 18.17 打开文件 385
R D?52\ 18.18 Bags 387
O]j<