s]V{}bY` $D2Ain1 内容简介 f R{WS:Pv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
#q^>qX
y 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
*SAcH_I2$> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
m-pIFL<^N 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
+$pO E!(`275s 目录 '
m#Ymp Preface 1
`zvT5=*-# 内容简介 2
#f jX|b 目录 i
2Xk1AS 1 引言 1
.jG.90 2 光学薄膜基础 2
G@l|u 2.1 一般规则 2
aV0;WH_3 2.2 正交入射规则 3
mhHm# 2.3 斜入射规则 6
EzY
scX.[ 2.4 精确计算 7
T J"{nB 2.5 相干性 8
B1AF4}~5 2.6 参考文献 10
D-;43>yi< 3 Essential Macleod的快速预览 10
DQHGq_unP 4 Essential Macleod的特点 32
lf7H8k, - 4.1 容量和局限性 33
gs2&0rnOy\ 4.2 程序在哪里? 33
q=i,'.nS 4.3 数据文件 35
Yh!\:9@( 4.4 设计规则 35
9ixnf=$Jp 4.5 材料数据库和
资料库 37
*Sp O|*' 4.5.1材料损失 38
rt4|GVa 4.5.1材料数据库和导入材料 39
N'1 [t 4.5.2 材料库 41
v(WL 3[y; 4.5.3导出材料数据 43
61 HqBa 4.6 常用单位 43
kv`3Y0R-" 4.7 插值和外推法 46
%>QSeX 4.8 材料数据的平滑 50
]`+"o[ 4.9 更多光学常数模型 54
iOA3x 8J 4.10 文档的一般编辑规则 55
c9 TkIe 4.11 撤销和重做 56
U1@P/ 4.12 设计文档 57
^SES')x 4.10.1 公式 58
=?QQb> 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
dIe 6:s 4.10.3 沉积密度 59
r'}k`A5> 4.10.4 平行和楔形介质 60
#p^pvdvh3 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
6-E4)0\ 4.10.4 性能 61
8CHf. SXh 4.10.5 保存设计和性能 64
JZ*?1S> 4.10.6 默认设计 64
)I1V2k$n 4.11 图表 64
sZ(Q4)r
4.11.1 合并曲线图 67
6(RqR 4.11.2 自适应绘制 68
q.Aw!]:! 4.11.3 动态绘图 68
MZ#2WP)F 4.11.4 3D绘图 69
a>e
1jM[ 4.12 导入和导出 73
r:b.>5CS) 4.12.1 剪贴板 73
UmHb-uk ; 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
DL/*t.)"et 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
B=qRZA!DQ? 4.13 背景 77
7.=s1~p 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
N,'qMoNf 4.15 生成Rugate 84
{hp@j# 4.16 参考文献 91
"gVH;<&] 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Pxuz { 5.1 Jobs 92
qv >( 5.2 创建一个新Job(工作) 93
Bk(XJAjY 5.3 输入材料 94
\y+F!;IxL 5.4 设计数据文件夹 95
vt7C 5.5 默认设计 95
ErUk>V 6 细化和合成 97
}z%/6`7)| 6.1 优化介绍 97
"g&l~N1$ 6.2 细化 (Refinement) 98
*v-xC5L1\ 6.3 合成 (Synthesis) 100
MkIO0&0O 6.4 目标和评价函数 101
~V)VGGOL$v 6.4.1 目标输入 102
K>E!W!-PJ 6.4.2 目标 103
%.} 6.4.3 特殊的评价函数 104
p~VW3u] 6.5 层锁定和连接 104
Q? |M BTo 6.6 细化技术 104
bSKV|z/x 6.6.1 单纯形 105
1+[|pXT} 6.6.1.1 单纯形
参数 106
0hr)tYW,G 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
dEl3?~ 6.6.2.1 Optimac参数 108
LWR&(p.% 6.6.3 模拟退火算法 109
'
=s*DL`0 6.6.3.1
模拟退火参数 109
9!<3qx/ 6.6.4 共轭梯度 111
`e:RZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
M(gWd8?# 6.6.5 拟牛顿法 112
<qZ+U4@I) 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
i]Of<eQ" 6.6.6 针合成 113
Cl){sP=8W 6.6.6.1 针合成参数 114
&^<T/PiR 6.6.7 差分进化 114
R-0Ohj 6.6.8非局部细化 115
00
,jneF 6.6.8.1非局部细化参数 115
@Pg@ltUd 6.7 我应该使用哪种技术? 116
JHOBg{Wg 6.7.1 细化 116
Nv#, s_hG 6.7.2 合成 117
{dH<Un(4Z 6.8 参考文献 117
]qTr4`. 7 导纳图及其他工具 118
, X+(wp 7.1 简介 118
Q>Q}/{8! 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
mqxy(zS] 7.2.1 四分之一
波长规则 119
M/I d\~ 7.2.2 导纳图 120
\r&@3a.> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
^d=@RTyo/ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
f*@:{2I.v 7.5 斜入射导纳图 141
tAn6pGp 7.6 对称周期 141
s: .XF|e{ 7.7 参考文献 142
q.Mck9R7 8 典型的镀膜实例 143
+VFwYdW, 8.1 单层抗反射薄膜 145
qf {B 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
jCa;g{#@ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
~&jCz4M 8.4 W-膜层 148
3Q"+
#Ob 8.5 V-膜层 149
XsMphZnK 8.6 V-膜层高折射基底 150
+u)$o 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
)}lV41u 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
M- A}(r +J 8.9 四层抗反射薄膜 153
I=-;*3g6 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
^aMdbB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
f@g 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
VAzJclB 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
|ZzBCL8q 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
d+)L\
`4 8.15十五层宽带抗反射膜 159
CT`X~y10 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
':dHYvP/UX 8.17 1/4波长堆栈 162
_QCI<|A 8.18 陷波滤波器 163
J4X35H=Z 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
}e @-[RJ! 8.20 褶皱 165
Wuz~$SU 8.21 消偏振分光器1 169
DgP%Q 8.22 消偏振分光器2 171
pdu 8.23 消偏振立体分光器 172
w\4m-Z{ 8.24 消偏振截止滤光片 173
(`xnA~BN 8.25 立体偏振分束器1 174
S!cXc/H-R 8.26 立方偏振分束器2 177
"|rqt.f2[ 8.27 相位延迟器 178
^a5>`W 8.28 红外截止器 179
%tLq&tyeY 8.29 21层长波带通滤波器 180
Sa~C#[V 8.30 49层长波带通滤波器 181
iB-s*b<`~ 8.31 55层短波带通滤波器 182
K@hUif|([ 8.32 47 红外截止器 183
x~^nlnKVf 8.33 宽带通滤波器 184
0&~u0B{ 8.34 诱导透射滤波器 186
'& :"/4@) 8.35 诱导透射滤波器2 188
CB1u_E_ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
5w9<_W0d 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
2N]s}/l 8.35 增益平坦滤波器 193
.@V>p6MV 8.38 啁啾反射镜 1 196
ARo5 Ss{ 8.39 啁啾反射镜2 198
YJ$
=`lIM 8.40 啁啾反射镜3 199
[t'"4 8.41 带保护层的铝膜层 200
]42l:at 8.42 增加铝反射率膜 201
mws.) 8.43 参考文献 202
h='=uj8o5 9 多层膜 204
J>35q'nN]F 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
cGKk2'v? 9.2 内部透过率 204
7m:, -xp 9.3 内部透射率数据 205
GAKJc\o 9.4 实例 206
i2E7$[ 9.5 实例2 210
5c8x:
e@ 9.6 圆锥和带宽计算 212
l<?wB|1' 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
"
cg>g/ 10 光学薄膜的颜色 216
cO9Aw ! 10.1 导言 216
7(Kc9sJC%% 10.2 色彩 216
WTx;,TNG 10.3 主波长和纯度 220
1\uS~RR 10.4 色相和纯度 221
5JXLfYTUI 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
7j8_O@_ 10.6 色差 226
#4>F%_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
dGe 10.8 颜色渲染指数 234
;U&VPIX$ 10.9 色差计算 235
X*Zv,Wm 10.10 参考文献 236
75f.^4/% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
FReK 11.1 短脉冲 238
jYv
!} 11.2 群速度 239
@$]h[ 11.3 群速度色散 241
|Oe6OCPf 11.4 啁啾(chirped) 245
;nE}%lT 11.5 光学薄膜—相变 245
HFOp4 11.6 群延迟和延迟色散 246
V5+a[`] 11.7 色度色散 246
"/5b3^a 11.8 色散补偿 249
xmDwoLU 11.9 空间
光线偏移 256
~m7+^c@, 11.10 参考文献 258
,")7uMZaF\ 12 公差与误差 260
_1ins;c52 12.1 蒙特卡罗模型 260
"5Mo%cUp 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
}- Sr@bE 12.2.1 误差工具 267
"2J;~ 12.2.2 灵敏度工具 271
Wj&s5;2a 12.2.2.1 独立灵敏度 271
.PgkHb=l@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
;<\*(rUe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
trLs4o, 12.3 参考文献 276
vq}V0-
< 13 Runsheet 与Simulator 277
aF:LL>H 13.1 原理介绍 277
novZ<?7 5; 13.2 截止滤光片设计 277
Ad `IgZ 14 光学常数提取 289
Dts:$PlCk 14.1 介绍 289
tR3hbL$W 14.2 电介质薄膜 289
Zh@\+1] 14.3 n 和k 的提取工具 295
b~}}{fm&f 14.4 基底的参数提取 302
JLhp25{x 14.5 金属的参数提取 306
]+AI: 14.6 不正确的模型 306
)'JSu=Ej 14.7 参考文献 311
SDkN 15 反演工程 313
4.8,&{w<m 15.1 随机性和
系统性 313
Rjf| 15.2 常见的系统性问题 314
7_RU*U^ 15.3 单层膜 314
lk80)sTZ 15.4 多层膜 314
mN{$z<r 15.5 含义 319
F&0rI8Nr 15.6 反演工程实例 319
4?Io@[7A) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
vzL>ZBeZ 15.6.2 反演工程提取折射率 327
x{m)I<.: 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
VaB7)r 16.1 光学性质的热致偏移 329
{R K#W~h 16.2 应力工具 335
wP%;9y2B 16.3 均匀性误差 339
z,)Fvs4U. 16.3.1 圆锥工具 339
HwHI$IB 16.3.2 波前问题 341
v [x`I; 16.4 参考文献 343
Hl#o& *Ui" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
$jHL8r\e7 17.1 引言 345
|l9AgwDg 17.2 操作数 345
9} vWTt0 18 如何在Function中编写脚本 351
;(XSw%Y
H 18.1 简介 351
(/%}a`2#o 18.2 什么是脚本? 351
U5Y*xm< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
tQ/U'Ap& 18.4 基础 352
JOMZ&c^ 18.4.1 Classes(类别) 352
/<mc~S7 18.4.2 对象 352
1xw},y6T2 18.4.3 信息(Messages) 352
|k8;[+ 18.4.4 属性 352
7Qo*u;fr 18.4.5 方法 353
V#=N?p 18.4.6 变量声明 353
_7Z$" 18.5 创建对象 354
*
08LW|:, 18.5.1 创建对象函数 355
g$A1*<+ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
vOqT Ld 18.5.3 丢弃对象 356
(nBsf1l 18.5.4 总结 356
U}UIbJD*= 18.6 脚本中的表格 357
H:|yu 18.6.1 方法1 357
VR'w$mp 18.6.2 方法2 357
sx22|j`)V 18.7 2D Plots in Scripts 358
Ss8`;> 18.8 3D Plots in Scripts 359
\UXQy{Ex 18.9 注释 360
y"2c; *7[{ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
(vQShe\ 18.11 一个更高级的脚本 362
(F
@IUbnl 18.12 <esc>键 364
V@$B>HeK 18.13 包含文件 365
}Iu 6]?|' 18.14 脚本被
优化调用 366
=/zQJzN 18.15 脚本中的对话框 368
O".#B 18.15.1 介绍 368
rP*?a~< 18.15.2 消息框-MsgBox 368
3,pRmdC 18.15.3 输入框函数 370
&B))3WFy 18.15.4 自定义对话框 371
>9|Q,/b0 18.15.5 对话框编辑器 371
)&*&ZL0 18.15.6 控制对话框 377
&R 0BuFL8 18.15.7 更高级的对话框 380
[\I\). 18.16 Types语句 384
h322^24-2 18.17 打开文件 385
Cu0 /TeEM 18.18 Bags 387
}@x0@sI9 18.13 进一步研究 388
towQoqv 19 vStack 389
M,l
Ib9 19.1 vStack基本原理 389
jML}{>Gy8S 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
-1fT2e 19.3 五棱镜 393
U2G\GU1 X 19.4 光束距离 396
V;>p@uE,P 19.5 误差 399
P*\.dAi 19.6 二向分色棱镜 399
<}|+2f233+ 19.7 偏振泄漏 404
P,,@&*
: 19.8 波前误差—相位 405
_v_ak4m> 19.9 其它计算参数 405
XrYz[h*)! 20 报表生成器 406
/H}83 C 20.1 入门 406
S]k<Ixvf 20.2 指令(Instructions) 406
'GAjx{gM 20.3 页面布局指令 406
2 &R-zG 20.4 常见的参数图和三维图 407
XWK A0 20.5 表格中的常见参数 408
<x,$ODso 20.6 迭代指令 408
Qp{{OjD 20.7 报表模版 408
ujHqwRh 20.8 开始设计一个报表模版 409
~]}7|VN.} 21 一个新的project 413
ptX;-'j( 21.1 创建一个新Job 414
`^RpT]S 21.2 默认设计 415
iQ:]1H s 21.3 薄膜设计 416
=EFF2M`F 21.4 误差的灵敏度计算 420
&g|-3)A 21.5 显色指数计算 422
'r3I/qg*m 21.6 电场分布 424
-(~CZ 后记 426
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