Rz)v-Yu
nMLU-C!t 内容简介 i[mC3ghM6, Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
.V7Y2!4TE 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
y/z9Ce*> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
m9 ^m 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
j)<;g( ',:3>{9 目录 tWcizj;?wK Preface 1
kx:c*3q.k 内容简介 2
\dC.%# 目录 i
"0!~g/X`rK 1 引言 1
l#
}As.o} 2 光学薄膜基础 2
4
`j,&= 2.1 一般规则 2
i-|/2I9 % 2.2 正交入射规则 3
!."Izz/ 2.3 斜入射规则 6
MX"A@p~H 2.4 精确计算 7
u}Lc|_ea` 2.5 相干性 8
b0!*mrF]6 2.6 参考文献 10
+oE7~64LL 3 Essential Macleod的快速预览 10
~JAH-R 4 Essential Macleod的特点 32
Q@PJ)fwN 4.1 容量和局限性 33
y>DfM5> 4.2 程序在哪里? 33
f+Pg1Q0zI 4.3 数据文件 35
=ZxW8DK 4.4 设计规则 35
+8L(pMI4 4.5 材料数据库和
资料库 37
w:~nw;.T 4.5.1材料损失 38
SH .9!lQv 4.5.1材料数据库和导入材料 39
JsZAP 4.5.2 材料库 41
7qCJ]%)b6 4.5.3导出材料数据 43
}IxY(`:qs 4.6 常用单位 43
)6O\WB| 4.7 插值和外推法 46
9:bh3@r/ 4.8 材料数据的平滑 50
$q4 XcIX 7 4.9 更多光学常数模型 54
jydp4ek_n 4.10 文档的一般编辑规则 55
Zm"!E6`69 4.11 撤销和重做 56
6ON 4.12 设计文档 57
*+_fP |cv 4.10.1 公式 58
{hkM*:U 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
u5[1Z|O 4.10.3 沉积密度 59
S3%.-)ib 4.10.4 平行和楔形介质 60
pko!{,c 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
X
,V= od> 4.10.4 性能 61
-o=P85V 4.10.5 保存设计和性能 64
r6gt9u: 4.10.6 默认设计 64
sR7{ i 4.11 图表 64
.y/NudD 4.11.1 合并曲线图 67
[ZL r:2+z 4.11.2 自适应绘制 68
;o~+2Fir 4.11.3 动态绘图 68
3&drof\{ 4.11.4 3D绘图 69
3B!&ow<rt 4.12 导入和导出 73
J4Q)`Y\~ 4.12.1 剪贴板 73
~:P8g<w
4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Zi[{\7a 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
')1}#V/I 4.13 背景 77
S0Rf>Eo4 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
w@gl 4.15 生成Rugate 84
3iwoMrp 4.16 参考文献 91
#cSw"A 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
<3],C)Zwc 5.1 Jobs 92
?<>,XyY 5.2 创建一个新Job(工作) 93
S*2L4Uj`| 5.3 输入材料 94
7gZVg@ 5.4 设计数据文件夹 95
_D7HQ 5.5 默认设计 95
SoXX}<~E4 6 细化和合成 97
`JY>v io 6.1 优化介绍 97
Mc#O+'](f 6.2 细化 (Refinement) 98
@4 Os?_gJ\ 6.3 合成 (Synthesis) 100
-Y
6.?z 6.4 目标和评价函数 101
82Z[eo 6.4.1 目标输入 102
Y*5@|Q 6.4.2 目标 103
ZF/J/;uI 6.4.3 特殊的评价函数 104
A
.jp<> 6.5 层锁定和连接 104
^w&5@3d 6.6 细化技术 104
PJSDY1T 6.6.1 单纯形 105
e GqvnNv 6.6.1.1 单纯形
参数 106
#(26t _a 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)\I? EU8 6.6.2.1 Optimac参数 108
!S >|Qh 6.6.3 模拟退火算法 109
:#Ex3H7 6.6.3.1
模拟退火参数 109
alb+R$s 6.6.4 共轭梯度 111
2EqsfU*
I 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
ga2Q3mV 6.6.5 拟牛顿法 112
U4^p({\|- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
8 /RfNGY 6.6.6 针合成 113
-!bLMLIg 6.6.6.1 针合成参数 114
c9ov;Bw6S 6.6.7 差分进化 114
%x'bo>h@ 6.6.8非局部细化 115
nY"rqILX? 6.6.8.1非局部细化参数 115
&[W3e3Asra 6.7 我应该使用哪种技术? 116
:>er^\ 6.7.1 细化 116
p0y0T|H^ 6.7.2 合成 117
$@:>7Y" 6.8 参考文献 117
0,L$x*Nj5 7 导纳图及其他工具 118
#BT6bH08X 7.1 简介 118
J?n)FgxS 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
\{+nXn 7.2.1 四分之一
波长规则 119
!rsqr32] 7.2.2 导纳图 120
3>@qQ_8%~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
dx?njR 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
`
HE:D2b 7.5 斜入射导纳图 141
e2Kpx8kWj 7.6 对称周期 141
N`|Ab(. 7.7 参考文献 142
C}8e<[}) 8 典型的镀膜实例 143
ttAVB{kdo 8.1 单层抗反射薄膜 145
OCOO02Wq1 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
L9unhx 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
`S/1U87 8.4 W-膜层 148
3Ld ;zW 8.5 V-膜层 149
Pguyf2/w 8.6 V-膜层高折射基底 150
\Zz= 4
j 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
SU#P.y18% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
!>kv.`|7~ 8.9 四层抗反射薄膜 153
FOUs=
E[ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
O3w_vm' 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
7p>-oR" 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
B,m$ur#$ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
Dxa)7dA| 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Mp=kZs/ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
TLL[F;uZ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
9snyX7/!L 8.17 1/4波长堆栈 162
^s(X VVA 8.18 陷波滤波器 163
LN3dp?;_{ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
NV:XPw/ 8.20 褶皱 165
o YI=p3l 8.21 消偏振分光器1 169
s*~jvL 8.22 消偏振分光器2 171
9bcyPN 8.23 消偏振立体分光器 172
Hb AMoow! 8.24 消偏振截止滤光片 173
M_.,c Vk 8.25 立体偏振分束器1 174
DneSzqO"o 8.26 立方偏振分束器2 177
O]%m{afM 8.27 相位延迟器 178
t1{%FJ0F 8.28 红外截止器 179
8.3_Wb(c 8.29 21层长波带通滤波器 180
A7,$y!D 8.30 49层长波带通滤波器 181
ZEyGqCf3 8.31 55层短波带通滤波器 182
V8U`%/`N 8.32 47 红外截止器 183
/%q9hI 8.33 宽带通滤波器 184
~
GT\RAj[ 8.34 诱导透射滤波器 186
^(m6g &$( 8.35 诱导透射滤波器2 188
1q233QSW) 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
LX?r=_\ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
N5an9r&z(1 8.35 增益平坦滤波器 193
.lF\b A| 8.38 啁啾反射镜 1 196
UE#Ni 5 8.39 啁啾反射镜2 198
GqD!W8+ 8.40 啁啾反射镜3 199
r5qx! > 8.41 带保护层的铝膜层 200
rs<&x(=Hv 8.42 增加铝反射率膜 201
.8PO7# 8.43 参考文献 202
y>cmKE 9 多层膜 204
[Fj#7VZK 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Gx* 0$4xJ3 9.2 内部透过率 204
8W<)c 9.3 内部透射率数据 205
2=,Sz1`t 9.4 实例 206
M^JZ]W( 9.5 实例2 210
2"Uk}Yz| 9.6 圆锥和带宽计算 212
7 KdM>1! 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
[dF=1E>W_J 10 光学薄膜的颜色 216
6p6Tse] 10.1 导言 216
z&vms 10.2 色彩 216
#`L}. 10.3 主波长和纯度 220
_NqT8C4C 10.4 色相和纯度 221
]GRq 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
-r'seb5 10.6 色差 226
`rdfROKv 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
9-iB?a7{. 10.8 颜色渲染指数 234
<^'+]? 10.9 色差计算 235
I\%Lb
z 10.10 参考文献 236
iai4$Y(% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
@N_H]6z4 11.1 短脉冲 238
N u2]~W& 11.2 群速度 239
<J}9.k 11.3 群速度色散 241
2hC$"Dfp 11.4 啁啾(chirped) 245
KeHE\Fq^V 11.5 光学薄膜—相变 245
59Q Q_#> 11.6 群延迟和延迟色散 246
Y6%OV?}v! 11.7 色度色散 246
_
*s 11.8 色散补偿 249
9}0Jc(B/x 11.9 空间
光线偏移 256
`0XbV A 11.10 参考文献 258
^W[`##,{Od 12 公差与误差 260
[,$mpJCI 12.1 蒙特卡罗模型 260
fQ_8{=<-&X 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
GhQ`{iJM 12.2.1 误差工具 267
g+r{>x 12.2.2 灵敏度工具 271
@wgGnb) 12.2.2.1 独立灵敏度 271
YJvT
p~ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
`"": 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
si.a]k/f 12.3 参考文献 276
`"mK\M 13 Runsheet 与Simulator 277
}J'wz;t1 13.1 原理介绍 277
'L59\y8H 13.2 截止滤光片设计 277
{#M{~ 14 光学常数提取 289
];~[Olc 14.1 介绍 289
C{,] 1X6g 14.2 电介质薄膜 289
JU \J
14.3 n 和k 的提取工具 295
ZV4'
|q 14.4 基底的参数提取 302
(ai-n,y 14.5 金属的参数提取 306
vk+%#w 14.6 不正确的模型 306
t}+c/ C%b= 14.7 参考文献 311
PH%gX`N 15 反演工程 313
\bA'Furp 15.1 随机性和
系统性 313
x2c*k$<p 15.2 常见的系统性问题 314
Wc;D{p?Lb 15.3 单层膜 314
Eq;frnw>q 15.4 多层膜 314
6U9Fa=%>} 15.5 含义 319
Ns8NaD 15.6 反演工程实例 319
/r@ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
5nqdY* 15.6.2 反演工程提取折射率 327
+1fOW4!5 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
vS__*}^ 16.1 光学性质的热致偏移 329
3Il/3\ 16.2 应力工具 335
XXmu|h 16.3 均匀性误差 339
HwMsP$`q 16.3.1 圆锥工具 339
IMrOPwjc 16.3.2 波前问题 341
K2`WcEe 16.4 参考文献 343
:!15>ML;- 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
%)ov,p| 17.1 引言 345
-+@~*$
d 17.2 操作数 345
~0GX~{;r 18 如何在Function中编写脚本 351
Z@O
e}\.$ 18.1 简介 351
l^?A8jG 18.2 什么是脚本? 351
5<?$/H|7T 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
\JC(pn 18.4 基础 352
Dohe(\C@ 18.4.1 Classes(类别) 352
<%uZwk># 18.4.2 对象 352
9sU,.T 18.4.3 信息(Messages) 352
jAHn`Bxz 18.4.4 属性 352
k r^#B^ 18.4.5 方法 353
P,=J"%a - 18.4.6 变量声明 353
jN>UW}? 18.5 创建对象 354
R:x04!} 18.5.1 创建对象函数 355
|sM#g1D@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
D ,^
U%<` 18.5.3 丢弃对象 356
pvxqeC9` 18.5.4 总结 356
urjp&L& 18.6 脚本中的表格 357
g]JI}O*5 18.6.1 方法1 357
5z]KkPQ 18.6.2 方法2 357
)X$n'E 18.7 2D Plots in Scripts 358
g~u!,Zc 18.8 3D Plots in Scripts 359
Z i&X ,K~ 18.9 注释 360
yE{UV>ry 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
i.,B
0s]Z 18.11 一个更高级的脚本 362
<_uv!N 18.12 <esc>键 364
{z
~
' 18.13 包含文件 365
SYLkC
[0k 18.14 脚本被
优化调用 366
U<byR!qLie 18.15 脚本中的对话框 368
o|E(_Y4d 18.15.1 介绍 368
.sMi"gg 18.15.2 消息框-MsgBox 368
vjS7nR"T 18.15.3 输入框函数 370
rn*VL(Yd( 18.15.4 自定义对话框 371
P"<ad
kr 18.15.5 对话框编辑器 371
`P*j~ZLlXN 18.15.6 控制对话框 377
iAhRlQ{Qu 18.15.7 更高级的对话框 380
1H@F>}DP 18.16 Types语句 384
3e1"5~?'< 18.17 打开文件 385
KO$8lMm$ 18.18 Bags 387
[/]3:| 18.13 进一步研究 388
lR^Qm| 19 vStack 389
;yrcH+I$_ 19.1 vStack基本原理 389
Z6pDQ^Ii 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
K2v)"|T) 19.3 五棱镜 393
G&Sg.<hn 19.4 光束距离 396
^>uGbhBp 19.5 误差 399
mt7:`- 19.6 二向分色棱镜 399
\LXNdE2B 19.7 偏振泄漏 404
(b!DJ;(O9 19.8 波前误差—相位 405
[-a/] 19.9 其它计算参数 405
`rLMMYD= 20 报表生成器 406
izA3 INT 20.1 入门 406
NYRNop( N# 20.2 指令(Instructions) 406
$%t 20.3 页面布局指令 406
6h8NrjX 20.4 常见的参数图和三维图 407
<{j9|mt 20.5 表格中的常见参数 408
e@YR/I8my 20.6 迭代指令 408
Yb*}2 20.7 报表模版 408
/2I("x] 20.8 开始设计一个报表模版 409
e&nw&9vo 21 一个新的project 413
G9Ezm*I;: 21.1 创建一个新Job 414
%VZ\4+8S 21.2 默认设计 415
L.[2l Q 21.3 薄膜设计 416
' 'N@ <| 21.4 误差的灵敏度计算 420
vkLG<Y 21.5 显色指数计算 422
bN)?szh&Y