-72EXO=| {l)$9! 内容简介 @ 5^nrB Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
+J|H~` 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
(Vr%4Z8 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
2j:0!% 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
oNtoqYwH hJ$9Hb 目录
}DXG;L Preface 1
BZ=I/L 内容简介 2
Z,/K$;YWo 目录 i
~ney~Pz_ 1 引言 1
d\ 8v
VZ
2 光学薄膜基础 2
&iInru3 2.1 一般规则 2
'L7qf'RV 2.2 正交入射规则 3
59O-"Sc[ 2.3 斜入射规则 6
puJB&u"4L 2.4 精确计算 7
Z;%uDlcXI 2.5 相干性 8
?+))J~@t 2.6 参考文献 10
`0N7G c 3 Essential Macleod的快速预览 10
JwB'B 4 Essential Macleod的特点 32
bx(@ fl:m 4.1 容量和局限性 33
m/1FVC@* 4.2 程序在哪里? 33
G.H8
><% 4.3 数据文件 35
y-db CYMc 4.4 设计规则 35
v !8=B21 4.5 材料数据库和
资料库 37
J\r\_P@;c 4.5.1材料损失 38
~g\~x 4.5.1材料数据库和导入材料 39
6,A|9UX=` 4.5.2 材料库 41
~PI2G9 4.5.3导出材料数据 43
0eNdKE 4.6 常用单位 43
=w!ik9 4.7 插值和外推法 46
4%^z=% 4.8 材料数据的平滑 50
.P$m?p# 4.9 更多光学常数模型 54
dgjK\pH`h 4.10 文档的一般编辑规则 55
TIKkS*$ 4.11 撤销和重做 56
Z-U u/GjB 4.12 设计文档 57
K9lekevB 4.10.1 公式 58
Qz,2PO 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
st;iGg 4.10.3 沉积密度 59
BS*79heY 4.10.4 平行和楔形介质 60
UPI- j#yc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
y)fMVD"( 4.10.4 性能 61
Qds<j{2 4.10.5 保存设计和性能 64
lN#j%0MaUo 4.10.6 默认设计 64
2ZY$/ 4.11 图表 64
H-PVV&r 4.11.1 合并曲线图 67
xgcxA: 4.11.2 自适应绘制 68
WM'!|lg 4.11.3 动态绘图 68
:QGkYJ 4.11.4 3D绘图 69
byxlC?q7 4.12 导入和导出 73
KClkPL!jP 4.12.1 剪贴板 73
az F!V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
=/Gd<qz3 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
LN|(Z* 4.13 背景 77
+6#$6 hG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
zr/v .$< 4.15 生成Rugate 84
i%-yR DIX 4.16 参考文献 91
|%C2 cx 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
gsbr8zwG, 5.1 Jobs 92
^eh.Iml'@ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
;OlnIxH(W 5.3 输入材料 94
)Ka-vX)D@ 5.4 设计数据文件夹 95
~HB#7+b 5.5 默认设计 95
E`o_R=% 6 细化和合成 97
~_fc=^o 6.1 优化介绍 97
FJc8g6M 6.2 细化 (Refinement) 98
! :&SfPv 6.3 合成 (Synthesis) 100
o8R_Ojh 6.4 目标和评价函数 101
= LNU%0m 6.4.1 目标输入 102
0]4X/u#N 6.4.2 目标 103
CPJ21^ 6.4.3 特殊的评价函数 104
H~Uf2A)C 6.5 层锁定和连接 104
2Mt$Dah 6.6 细化技术 104
+MX~1RU+ 6.6.1 单纯形 105
V
vrsf6l] 6.6.1.1 单纯形
参数 106
X5iD<Lh 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
8\rca:cF
6.6.2.1 Optimac参数 108
"z{/*uM2< 6.6.3 模拟退火算法 109
Pvc)-A 6.6.3.1
模拟退火参数 109
dPEDsG0$a 6.6.4 共轭梯度 111
FBXktSg 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
sfX~X/ 6.6.5 拟牛顿法 112
#kv9$ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
dHDtY$/_ 6.6.6 针合成 113
:qdyCsn2 6.6.6.1 针合成参数 114
>%tP"x{ 6.6.7 差分进化 114
R4'.QZ-x 6.6.8非局部细化 115
G<?RH"RZr 6.6.8.1非局部细化参数 115
b-_l&;NWg 6.7 我应该使用哪种技术? 116
rr
tMd 6.7.1 细化 116
G3_7e A#; 6.7.2 合成 117
N|yA]dg[ 6.8 参考文献 117
h"1}j'2>@ 7 导纳图及其他工具 118
sWlxt q g 7.1 简介 118
NCKR<!( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
j\>&]0-Iq 7.2.1 四分之一
波长规则 119
{'{}@CuA2 7.2.2 导纳图 120
~rV $.:%va 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
`,V&@}&"n 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
xRWfZ3E# 7.5 斜入射导纳图 141
;5/Se"Nd 7.6 对称周期 141
^UvL1+ 7.7 参考文献 142
z\|<h=EU 8 典型的镀膜实例 143
vFe=AY<Rt| 8.1 单层抗反射薄膜 145
MGF!ZZ\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
&}u_e`A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
1'hpg>U 8.4 W-膜层 148
&u:U"j 8.5 V-膜层 149
K}cZK 8.6 V-膜层高折射基底 150
oO
tjG3B({ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
gv eGBi 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
Vx!ZF+ 8.9 四层抗反射薄膜 153
)j8'6tk)Z 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
%1{S{FB 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
lz`\Q6rZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Aa9l-:R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
l iY/BkpH 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
()|e
xWW 8.15十五层宽带抗反射膜 159
pss')YP. 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Xn"#Zy_ 8.17 1/4波长堆栈 162
iX?j "=! 8.18 陷波滤波器 163
efyEzL 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
Tcy9oYh!Pn 8.20 褶皱 165
A5R"|<UPR 8.21 消偏振分光器1 169
#sU>L= 8.22 消偏振分光器2 171
:tV"uWZFU 8.23 消偏振立体分光器 172
Z%?>H iy'o 8.24 消偏振截止滤光片 173
NkUY_rKPb 8.25 立体偏振分束器1 174
eV_",W 8.26 立方偏振分束器2 177
i`i`Hu> 8.27 相位延迟器 178
IYe[IHny1 8.28 红外截止器 179
HHx5VI 8.29 21层长波带通滤波器 180
_&HFKpHQ 8.30 49层长波带通滤波器 181
x<t?Yc9 8.31 55层短波带通滤波器 182
CM~x1f *v 8.32 47 红外截止器 183
Ne9VRM
P 8.33 宽带通滤波器 184
MZ)lNU l 8.34 诱导透射滤波器 186
\&d1bq 8.35 诱导透射滤波器2 188
iw.F8[}) 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
:2
\NG} 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
#: EhGlq8 8.35 增益平坦滤波器 193
\ $TM=Ykj 8.38 啁啾反射镜 1 196
xz`0V}dPl 8.39 啁啾反射镜2 198
#F/W_G7 v 8.40 啁啾反射镜3 199
[ !~8TF 8.41 带保护层的铝膜层 200
0]ai*\,W7~ 8.42 增加铝反射率膜 201
"vYjL&4h 8.43 参考文献 202
Zp/P/97p 9 多层膜 204
Uvk: 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
MNh:NFCRA 9.2 内部透过率 204
>]B_+r0m^ 9.3 内部透射率数据 205
:"Vmy.xq 9.4 实例 206
D{7sfkcJ 9.5 实例2 210
W<#Kam:8e 9.6 圆锥和带宽计算 212
kJ* N`= 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
[g==#[ 10 光学薄膜的颜色 216
A
_7I0^ 10.1 导言 216
W^W.* ?e` 10.2 色彩 216
e9\_H=t+ 10.3 主波长和纯度 220
DW,Z})9 10.4 色相和纯度 221
v%#@.D!) 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
2UR1T~r 10.6 色差 226
mJ8EiRSE 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
9AWP`~l` 10.8 颜色渲染指数 234
,*[N_[ 10.9 色差计算 235
!FK)iQy$0 10.10 参考文献 236
KfK5e{yT 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
uKY1AC__ 11.1 短脉冲 238
3W[||V[r]< 11.2 群速度 239
s_Z5M2o 11.3 群速度色散 241
n1x3q/~ 11.4 啁啾(chirped) 245
a U<+ ` 11.5 光学薄膜—相变 245
P e}
T 11.6 群延迟和延迟色散 246
vqF=kB"P 11.7 色度色散 246
,-n_(U 11.8 色散补偿 249
t[HsqnP 11.9 空间
光线偏移 256
<UIE-# 11.10 参考文献 258
K=4|GZ~p}` 12 公差与误差 260
PE_JO(e;Xm 12.1 蒙特卡罗模型 260
t@2MEo 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
D7IhNWrgj 12.2.1 误差工具 267
XB[EJGaX 12.2.2 灵敏度工具 271
zGL.+@ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
juWbd|ad" 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Eg4&D4TGp 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
tI0D{Xrc 12.3 参考文献 276
c?Zi/7 13 Runsheet 与Simulator 277
ZlMS=<hgFx 13.1 原理介绍 277
P-Gp^JX8 13.2 截止滤光片设计 277
B90fUK2g 14 光学常数提取 289
l>oJ^J 14.1 介绍 289
'^Q$:P{G? 14.2 电介质薄膜 289
wgQx.8 h> 14.3 n 和k 的提取工具 295
-23sm~` 14.4 基底的参数提取 302
ihct~y-9W 14.5 金属的参数提取 306
*aYuuRx 14.6 不正确的模型 306
&j"_hFhv 14.7 参考文献 311
H-%
B<7 15 反演工程 313
bdBLfWe 15.1 随机性和
系统性 313
|41~U\ 15.2 常见的系统性问题 314
8yswi[ 15.3 单层膜 314
i"^ yy+ 15.4 多层膜 314
M>*xbBl 15.5 含义 319
fndH]Yp 15.6 反演工程实例 319
Tkj
F/zv 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
*]Eyf") 15.6.2 反演工程提取折射率 327
TD/ 4lL~(x 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
@6y)wA9Yx 16.1 光学性质的热致偏移 329
>+%0|6VSb 16.2 应力工具 335
8y4t9V 16.3 均匀性误差 339
"`KT7 16.3.1 圆锥工具 339
$GD
Q1&Z 16.3.2 波前问题 341
]~pM;6Pu0 16.4 参考文献 343
?%T]V+40 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
bhKe"#m|S 17.1 引言 345
XCGK&OGI 17.2 操作数 345
CE4Kc33OU| 18 如何在Function中编写脚本 351
(
_MY;S 18.1 简介 351
@><8YN^)% 18.2 什么是脚本? 351
h.xtkD)Y~ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
QwnqysNx4 18.4 基础 352
L7yEgYB 18.4.1 Classes(类别) 352
~T=a]V 18.4.2 对象 352
S;u2B_/ 18.4.3 信息(Messages) 352
[1e/@eC5 18.4.4 属性 352
&!>.)I` 18.4.5 方法 353
[ mo9? 18.4.6 变量声明 353
,}^FV~ 18.5 创建对象 354
j9f Q V 18.5.1 创建对象函数 355
1/=6s5vS} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Jb|dpu/e 18.5.3 丢弃对象 356
Z>.(' 18.5.4 总结 356
o#-^Lg& 18.6 脚本中的表格 357
F>k/;@d 18.6.1 方法1 357
nKch:g 18.6.2 方法2 357
,H]S-uK~ 18.7 2D Plots in Scripts 358
&8JK^zQq 18.8 3D Plots in Scripts 359
T9YrB 18.9 注释 360
5[`f(; 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
FY,)iZ}Pq 18.11 一个更高级的脚本 362
FD8d-G 18.12 <esc>键 364
R E9`T 18.13 包含文件 365
,UxAHCR~9 18.14 脚本被
优化调用 366
\
Ju7.3. 18.15 脚本中的对话框 368
WFfn:WSWU 18.15.1 介绍 368
M
~6$kT 18.15.2 消息框-MsgBox 368
T=[/x= 18.15.3 输入框函数 370
!wo 18.15.4 自定义对话框 371
fjqd16{Q 18.15.5 对话框编辑器 371
(J.U{N v 18.15.6 控制对话框 377
% 3<7HY]~ 18.15.7 更高级的对话框 380
eY`o=xN 18.16 Types语句 384
p|w0
i[hc 18.17 打开文件 385
V?n=yg 18.18 Bags 387
@lCyH(c% 18.13 进一步研究 388
-T>i5'2) 19 vStack 389
d M;v39 19.1 vStack基本原理 389
n}8}:3" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
qy/t<2' 19.3 五棱镜 393
dlioa Yc 19.4 光束距离 396
O-n JuZJgX 19.5 误差 399
=F46v{la 19.6 二向分色棱镜 399
OgCz[QXr_ 19.7 偏振泄漏 404
(JT
273 19.8 波前误差—相位 405
AK&=/[U> 19.9 其它计算参数 405
UYhxgPGsj 20 报表生成器 406
FlT5R*m 20.1 入门 406
ZDm Y${J 20.2 指令(Instructions) 406
:c9 H2 20.3 页面布局指令 406
^MvBW6#1 20.4 常见的参数图和三维图 407
e_IRF+> 20.5 表格中的常见参数 408
5Rae?*XH 20.6 迭代指令 408
JD]uDuE 20.7 报表模版 408
o`Q.;1(Y' 20.8 开始设计一个报表模版 409
aqv'c
j> 21 一个新的project 413
9<5S!?JL 21.1 创建一个新Job 414
V}Ce3wgvA 21.2 默认设计 415
&W*^&0AV 21.3 薄膜设计 416
b[ ~-b 21.4 误差的灵敏度计算 420
{=ATRwUL 21.5 显色指数计算 422
BCh|^Pk 21.6 电场分布 424
6>z,7 [ 后记 426
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