df}B:?Ew. IgZX,4i=o 内容简介 VM|8HR7U Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
}i?P(
Au 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
:y0'[LV 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
r0?`t!%V 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
kf^Wzp \U p<m>3\ 目录 2L ~U^ Preface 1
RQv`D&u_ 内容简介 2
Ywlym\
[+ 目录 i
R>#T{<<L 1 引言 1
K@%. T# 2 光学薄膜基础 2
E9QNx62 2.1 一般规则 2
aZ#c_Q#gZ 2.2 正交入射规则 3
}4\>q$8' 2.3 斜入射规则 6
QfRt3\^` 2.4 精确计算 7
`<q{8 2.5 相干性 8
n(-XI&Kn 2.6 参考文献 10
naW}[y*y; 3 Essential Macleod的快速预览 10
(8k3z` 4 Essential Macleod的特点 32
P#"vlNa 4.1 容量和局限性 33
!)KX?i[Q 4.2 程序在哪里? 33
MvJEX8M 4.3 数据文件 35
n+j'FfSz 4.4 设计规则 35
Q{V|{yV^y 4.5 材料数据库和
资料库 37
(N0G[(> 4.5.1材料损失 38
|_
E)2b:h 4.5.1材料数据库和导入材料 39
.u)Po;e` 4.5.2 材料库 41
[u=b[( 4.5.3导出材料数据 43
^~8l|d_ 4.6 常用单位 43
/ IAK'/ 4.7 插值和外推法 46
gey`HhZp) 4.8 材料数据的平滑 50
|'b=xeH.^< 4.9 更多光学常数模型 54
kT!FC0E{ 4.10 文档的一般编辑规则 55
jo0p/5; 4.11 撤销和重做 56
qGr(MDLc 4.12 设计文档 57
0:Ak4L6k 4.10.1 公式 58
7-Fh!=\f/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
S_ e }>- 4.10.3 沉积密度 59
cdf8YN0!
4.10.4 平行和楔形介质 60
] +LleS5 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
Oy&Myjny< 4.10.4 性能 61
DU|0#z=*t5 4.10.5 保存设计和性能 64
C$b$)uI; 4.10.6 默认设计 64
Z~9\7QJn 4.11 图表 64
8 U B?X 4.11.1 合并曲线图 67
1wi{lJaz 4.11.2 自适应绘制 68
=;i@,{
~ 4.11.3 动态绘图 68
AFF7fK 4.11.4 3D绘图 69
d/j$_NQ&! 4.12 导入和导出 73
qWfG@hn 4.12.1 剪贴板 73
tz6d}$ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
L/_OgL]YdI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
4M}u_}9 4.13 背景 77
CZS{^6Ye 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
.u>IjK^ 4.15 生成Rugate 84
A_muuOIcI 4.16 参考文献 91
EdhT;! 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
0-oR
{
{ 5.1 Jobs 92
Wt"fn&R} 5.2 创建一个新Job(工作) 93
a<B[~J 4i 5.3 输入材料 94
AhZ8B'Ee 5.4 设计数据文件夹 95
xVao3+r 5.5 默认设计 95
j{C+`~O 6 细化和合成 97
4/e-E^ 6.1 优化介绍 97
<iajtq<Z 6.2 细化 (Refinement) 98
]2T =%(* 6.3 合成 (Synthesis) 100
6'3@/. 6.4 目标和评价函数 101
Ix93/FAn 6.4.1 目标输入 102
#joGIw 6.4.2 目标 103
G9TK)Nz 6.4.3 特殊的评价函数 104
<(TTYf8lS 6.5 层锁定和连接 104
Yc/Nz(m 6.6 细化技术 104
(Eq0 |"cj 6.6.1 单纯形 105
&B1d+.+ 6.6.1.1 单纯形
参数 106
,a9<\bd) 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
o$FqMRep
6.6.2.1 Optimac参数 108
,Drd s"H 6.6.3 模拟退火算法 109
9[N+x2q 6.6.3.1
模拟退火参数 109
K'+GK S7. 6.6.4 共轭梯度 111
}#Z Q\[ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
gk >-h,>" 6.6.5 拟牛顿法 112
$?YRy_SI 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
w4H3($
K 6.6.6 针合成 113
L1D{LzlBti 6.6.6.1 针合成参数 114
-9Wx;u4]o 6.6.7 差分进化 114
O,>1GKw"\ 6.6.8非局部细化 115
I2hX;pk, 6.6.8.1非局部细化参数 115
H[#s&Fk2 6.7 我应该使用哪种技术? 116
6TvlK*<r= 6.7.1 细化 116
$`W.9 6.7.2 合成 117
<i``#"/ 6.8 参考文献 117
@C{IgV 7 导纳图及其他工具 118
Nc:, [8{l 7.1 简介 118
*lRP ZN 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
L']EYK5 7.2.1 四分之一
波长规则 119
B<i)je! 7.2.2 导纳图 120
\Q7Nz2X 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
cobq+Iyu 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
3U9]&7^ 7.5 斜入射导纳图 141
Z;M]^? 7.6 对称周期 141
r+-KrO' 7.7 参考文献 142
] S<y,d- 8 典型的镀膜实例 143
( >zXapb2 8.1 单层抗反射薄膜 145
4vq,W_n.hQ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
s,XKl5'+8e 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
kFZw"5hb 8.4 W-膜层 148
6*u#^">,< 8.5 V-膜层 149
9oKRnc 8.6 V-膜层高折射基底 150
D ksSD 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
9`yG[OA 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
*xR;}%s\ 8.9 四层抗反射薄膜 153
h<U<KO 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
m:CiXM 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
7K>FCT 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
vU0j!XqE 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
O3WhO@`6) 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Z(Fsk4, 8.15十五层宽带抗反射膜 159
~n9BN'@x 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
/(
%Q 8.17 1/4波长堆栈 162
e0Cr> I5/e 8.18 陷波滤波器 163
*jM~VTXwt 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
KoVy,@ 8.20 褶皱 165
mJe;BU"y] 8.21 消偏振分光器1 169
Mk9' 8.22 消偏振分光器2 171
nQ2V 8.23 消偏振立体分光器 172
dmI,+hHtL 8.24 消偏振截止滤光片 173
,6:ya8vB 8.25 立体偏振分束器1 174
,=whwl "tA 8.26 立方偏振分束器2 177
6<jh0=$ 8.27 相位延迟器 178
1^ZQXUzl%i 8.28 红外截止器 179
S e/VOzzg 8.29 21层长波带通滤波器 180
3qU#Rg
;7 8.30 49层长波带通滤波器 181
)X2=x^u*U 8.31 55层短波带通滤波器 182
+U_> Bo 8.32 47 红外截止器 183
5m{!Rrb 8.33 宽带通滤波器 184
aTF~rAne< 8.34 诱导透射滤波器 186
c+chwU0W 8.35 诱导透射滤波器2 188
CKwrE]h 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
L1ZhH3}X 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
ovJ#2_ 8.35 增益平坦滤波器 193
|:Gz9u + 8.38 啁啾反射镜 1 196
rKEi1b 8.39 啁啾反射镜2 198
'0)a|1, 8.40 啁啾反射镜3 199
{E`[`Kf 8.41 带保护层的铝膜层 200
U/'"w
v1y 8.42 增加铝反射率膜 201
GADb Xp3 8.43 参考文献 202
)\#w=P 9 多层膜 204
+M-x*;. 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
|;3Ru vX?+ 9.2 内部透过率 204
?Iy$'am]L 9.3 内部透射率数据 205
PhL }V|W> 9.4 实例 206
'X&sH/>r 9.5 实例2 210
lj0"2@z3"E 9.6 圆锥和带宽计算 212
(PAkKY} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
q8%T)$! 10 光学薄膜的颜色 216
)7@f{E#w 10.1 导言 216
):HjpJvF 10.2 色彩 216
(8DJf"} 10.3 主波长和纯度 220
8sb<$M$c 10.4 色相和纯度 221
R!IODXP= 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
"`]G>,r_ 10.6 色差 226
(3 xCW
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
6)63Yp( 10.8 颜色渲染指数 234
fa7Z=:aG 10.9 色差计算 235
^UI{U1N~Bz 10.10 参考文献 236
Pf&\2_H3s9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;|_aACina 11.1 短脉冲 238
;Q"xXT`;: 11.2 群速度 239
Sc03vfmo"N 11.3 群速度色散 241
8|kr|l 11.4 啁啾(chirped) 245
/Y$UJt 11.5 光学薄膜—相变 245
W"
>[sn| 11.6 群延迟和延迟色散 246
BoQLjS{kN 11.7 色度色散 246
GPBp.$q+B 11.8 色散补偿 249
+-tvNX%IJ 11.9 空间
光线偏移 256
OUCLtn\ 11.10 参考文献 258
_GEt:=DAP# 12 公差与误差 260
K=,nX7Z5 12.1 蒙特卡罗模型 260
sXHrCU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
|iN!V3#S 12.2.1 误差工具 267
i#Tm] ++ 12.2.2 灵敏度工具 271
cQ(zBf 12.2.2.1 独立灵敏度 271
A&EVzmj-+X 12.2.2.2 灵敏度分布 275
;UuCSfs{ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
rg Gm[SL*< 12.3 参考文献 276
9))E\U 13 Runsheet 与Simulator 277
Bk,:a, 13.1 原理介绍 277
Ia_I~ U$ 13.2 截止滤光片设计 277
$n_'#m2LE 14 光学常数提取 289
/d; C)%$
14.1 介绍 289
fZ8%Z
14.2 电介质薄膜 289
e8T#ZWr* 14.3 n 和k 的提取工具 295
:|cC7,S 14.4 基底的参数提取 302
hBb&-/ 14.5 金属的参数提取 306
V1y" 14.6 不正确的模型 306
5(BB`) 14.7 参考文献 311
#[ZF'9x 15 反演工程 313
ZH'- >/ 15.1 随机性和
系统性 313
9G njJ 15.2 常见的系统性问题 314
7&oT}Z 15.3 单层膜 314
7ux0|l 15.4 多层膜 314
-|E|-' 15.5 含义 319
/ZC/yGdIS_ 15.6 反演工程实例 319
+ob<?
T 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
0*!CJ;%N 15.6.2 反演工程提取折射率 327
"rhU2jT=c 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
b(^g v 16.1 光学性质的热致偏移 329
<1")JDW 16.2 应力工具 335
0\fV'JDOR 16.3 均匀性误差 339
kU uDA><1 16.3.1 圆锥工具 339
fTQ_miAlP 16.3.2 波前问题 341
) 0p9I0= 16.4 参考文献 343
[[uKakp
17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
"},0Cs 17.1 引言 345
mOiA}BGw 17.2 操作数 345
'Xj9sAB 18 如何在Function中编写脚本 351
yGGQ;!/ 18.1 简介 351
_H[LUl9 18.2 什么是脚本? 351
1Z9_sd~/6 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
uZ[7[mK}n7 18.4 基础 352
TL^af- 18.4.1 Classes(类别) 352
_i@{:v 18.4.2 对象 352
=&Dt+f& 18.4.3 信息(Messages) 352
~W?F. 18.4.4 属性 352
i%~^3/K 18.4.5 方法 353
h7],/? s 18.4.6 变量声明 353
KDx~^OO 18.5 创建对象 354
rByC6HV" 18.5.1 创建对象函数 355
lqD.epm 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
sZ~q|}D- 18.5.3 丢弃对象 356
2t9JiH 18.5.4 总结 356
c
eH8 18.6 脚本中的表格 357
E0F8FR' 18.6.1 方法1 357
<i~O0f] 18.6.2 方法2 357
)C?bb$
G 18.7 2D Plots in Scripts 358
PwF
1Pr`r 18.8 3D Plots in Scripts 359
~3]ZN'b\ 18.9 注释 360
XwI~ 0 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
\BIa:}9O 18.11 一个更高级的脚本 362
U`{'-L. 18.12 <esc>键 364
Cxn<#Kf\-< 18.13 包含文件 365
~|W0+ &): 18.14 脚本被
优化调用 366
{_#~&I