LH;G: Ke'2"VkQt 内容简介 $H} Mn"G Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
tV9C33 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
ZtoE=7K 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Z(M)2 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
~S!kn1&O )}!'VIe^! 目录 Uzn|)OfWP Preface 1
!.$P`wKr 内容简介 2
|GQ$UB 目录 i
5.#9}] 1 引言 1
uLljM{I 2 光学薄膜基础 2
M3 u8NRd5| 2.1 一般规则 2
9m4rNvb 2.2 正交入射规则 3
Dt.Wb&V_w 2.3 斜入射规则 6
q?4uH;h:^G 2.4 精确计算 7
e~;)-Z 2.5 相干性 8
iXRt9)MT{ 2.6 参考文献 10
,
~X;M"U 3 Essential Macleod的快速预览 10
7F:;3c 4 Essential Macleod的特点 32
G\ZRNb 4.1 容量和局限性 33
q:EQ, 4.2 程序在哪里? 33
J9.p8A^^2 4.3 数据文件 35
63Yu05' 4.4 设计规则 35
%iC63)(M 4.5 材料数据库和
资料库 37
_ n4ma 4.5.1材料损失 38
{~g 4.5.1材料数据库和导入材料 39
\#,#_ 4.5.2 材料库 41
'LLx$y.Ei[ 4.5.3导出材料数据 43
2z# @:Q 4.6 常用单位 43
L.[uMuUa 4.7 插值和外推法 46
r.^X>? 4.8 材料数据的平滑 50
5yi q# 4.9 更多光学常数模型 54
z.HNb$; 4.10 文档的一般编辑规则 55
ibs"Iv34 4.11 撤销和重做 56
K0=E4>z,`q 4.12 设计文档 57
mm<iT59 4.10.1 公式 58
WCT W#<izm 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Yj/nzTVJ[ 4.10.3 沉积密度 59
uN3J)@;_ 4.10.4 平行和楔形介质 60
=w$"wzc 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
gr{Sh`Cm- 4.10.4 性能 61
l]y%cJ~$'D 4.10.5 保存设计和性能 64
igj@{FN 4.10.6 默认设计 64
*js$r+4 4.11 图表 64
@b\_696. 4.11.1 合并曲线图 67
E(+wl 4.11.2 自适应绘制 68
N:jiZ) 4.11.3 动态绘图 68
.r%|RWs6W 4.11.4 3D绘图 69
>1pH 91c' 4.12 导入和导出 73
oe|<xWu 4.12.1 剪贴板 73
u!Nfoq&'u 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
6ilC#yyp 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
H6S vU 4.13 背景 77
qq3Qd,$Z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
=1OAy`8 4.15 生成Rugate 84
cYy@ 4.16 参考文献 91
D)7$M]d% 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
]l7\Zq 5.1 Jobs 92
YkAWKCOni 5.2 创建一个新Job(工作) 93
xYVjUb(,X 5.3 输入材料 94
vek:/'sj3p 5.4 设计数据文件夹 95
YGV#. 5.5 默认设计 95
y{I[}$k 6 细化和合成 97
_JIUds5 6.1 优化介绍 97
^*ezj1 6.2 细化 (Refinement) 98
fy>And* 6.3 合成 (Synthesis) 100
15T[J%7f 6.4 目标和评价函数 101
Nz3%}6F: 6.4.1 目标输入 102
z<vO# 6.4.2 目标 103
, !%R5*?=D 6.4.3 特殊的评价函数 104
|-Esc|J( 6.5 层锁定和连接 104
AD%D ,l 6.6 细化技术 104
{%~4RZA 6.6.1 单纯形 105
4'hcHdL9 6.6.1.1 单纯形
参数 106
?&<o_/`-H5 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
)Z]y.W ) 6.6.2.1 Optimac参数 108
J[Yg]6 6.6.3 模拟退火算法 109
`CEj 4 6.6.3.1
模拟退火参数 109
<6O_t,K] 6.6.4 共轭梯度 111
h4.=sbzZ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
U;Ll.BFP 6.6.5 拟牛顿法 112
D<3V#Opw 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
chMc(.cN0 6.6.6 针合成 113
^N2M/B|0 6.6.6.1 针合成参数 114
]v\egfW,W 6.6.7 差分进化 114
jM1%6 6.6.8非局部细化 115
i|]Va44 6.6.8.1非局部细化参数 115
b' oGt, 6.7 我应该使用哪种技术? 116
u6Qf*_- K 6.7.1 细化 116
fw|+7 O 6.7.2 合成 117
=_m9so 6.8 参考文献 117
PSf5p\<5 7 导纳图及其他工具 118
-llx: 7.1 简介 118
dbuJ~?D, 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
|*c\6 : 7.2.1 四分之一
波长规则 119
eBC%2TF 7.2.2 导纳图 120
cI%"Ynq"3 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
zIm_7\e 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
vG<pc_ak 7.5 斜入射导纳图 141
7Cd_zZ 7.6 对称周期 141
uQu/(5 7.7 参考文献 142
lHKf#| 8 典型的镀膜实例 143
:EmQ_?( ^ 8.1 单层抗反射薄膜 145
2Jo~m_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
ImV]}M~_ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
8hK P 8.4 W-膜层 148
;w6fM 8.5 V-膜层 149
bH\C5zt6( 8.6 V-膜层高折射基底 150
:`Uyn!w 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
QSF"8Uk 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
C3\E.u? 8.9 四层抗反射薄膜 153
y3cf[Q 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
sP?$G8-^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
^6aS]t 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
5Z9 ~
&U 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
a%T -Z.rd 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
x9)aBB 8.15十五层宽带抗反射膜 159
MZ5Y\-nq\ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Cl6m$YUt 8.17 1/4波长堆栈 162
@1qdd~B} 8.18 陷波滤波器 163
.5Knb c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
!0ce kSesr 8.20 褶皱 165
l 70,Jo?78 8.21 消偏振分光器1 169
&v$,pg%-: 8.22 消偏振分光器2 171
v.Xoq 8.23 消偏振立体分光器 172
-*|:v67C& 8.24 消偏振截止滤光片 173
3T|Y} 8.25 立体偏振分束器1 174
JvfQib 8.26 立方偏振分束器2 177
yOWOU`y? 8.27 相位延迟器 178
Zn@W7c,_I 8.28 红外截止器 179
!.3R~0b 8.29 21层长波带通滤波器 180
SLtSqG7~ 8.30 49层长波带通滤波器 181
69C8-fF0[I 8.31 55层短波带通滤波器 182
zb5N,!%r 8.32 47 红外截止器 183
-]Q(~'a 8.33 宽带通滤波器 184
n$XdSh/ 8.34 诱导透射滤波器 186
IX<r5!
8.35 诱导透射滤波器2 188
_)KY 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
dU]i-NF 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
aqs%m ( 8.35 增益平坦滤波器 193
v<;: 0 8.38 啁啾反射镜 1 196
JBR[;
zM 8.39 啁啾反射镜2 198
=n-z;/NL 8.40 啁啾反射镜3 199
Q !9HA[Ly 8.41 带保护层的铝膜层 200
g.x=pt 8.42 增加铝反射率膜 201
-B1YZ/.rz" 8.43 参考文献 202
4!l
sk:R 9 多层膜 204
N%9h~G 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
`,wcQ 9.2 内部透过率 204
G HD^%)T5^ 9.3 内部透射率数据 205
%won=TG8 9.4 实例 206
[J0*+C9P* 9.5 实例2 210
6hkkNXqkf 9.6 圆锥和带宽计算 212
-IBO5;2_ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
+w"_$Tj@; 10 光学薄膜的颜色 216
j2|XDOf 10.1 导言 216
c 9rVgLqn! 10.2 色彩 216
;rd6ko 10.3 主波长和纯度 220
F`!TV(,bY 10.4 色相和纯度 221
:GQUM 6 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
)YuRjBcp," 10.6 色差 226
AG]WO8f) 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
L@w0N)P<!{ 10.8 颜色渲染指数 234
2~f6~\4GL+ 10.9 色差计算 235
ht?CHUu 10.10 参考文献 236
4d!S#zx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
3bWum 11.1 短脉冲 238
Oqpp=7 11.2 群速度 239
>DL/.. 11.3 群速度色散 241
81Z4>F: 11.4 啁啾(chirped) 245
U.: sK* 11.5 光学薄膜—相变 245
Fse['O~ 11.6 群延迟和延迟色散 246
>):m-I 11.7 色度色散 246
MDk*j,5V 11.8 色散补偿 249
Hk,lX r 11.9 空间
光线偏移 256
p ZtgIS(3 11.10 参考文献 258
OCCEL9d 12 公差与误差 260
'9qn*H`' 12.1 蒙特卡罗模型 260
a\=-D: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
huz86CO 12.2.1 误差工具 267
Yi 6Nw+$ 12.2.2 灵敏度工具 271
yVaU t_Zi 12.2.2.1 独立灵敏度 271
pA<eTlH 12.2.2.2 灵敏度分布 275
Q uB+vL 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
~z5@V5z 12.3 参考文献 276
=yo{[&Jz 13 Runsheet 与Simulator 277
RU6KIg{H 13.1 原理介绍 277
E#8_hT]5 13.2 截止滤光片设计 277
qU#$2 14 光学常数提取 289
U
IfH*6X 14.1 介绍 289
2}w#3K 14.2 电介质薄膜 289
<
kz[:n: 14.3 n 和k 的提取工具 295
+P|2m"UA 14.4 基底的参数提取 302
<;%0T
xK|U 14.5 金属的参数提取 306
iNQ0p:<k 14.6 不正确的模型 306
W2`.RF^ 14.7 参考文献 311
P*YK9Hl< 15 反演工程 313
tRteyNA 15.1 随机性和
系统性 313
ym\(PCa5` 15.2 常见的系统性问题 314
l7z6i*R 15.3 单层膜 314
GMb(10T` 15.4 多层膜 314
6UlF5pom 15.5 含义 319
M ?*Tf& 15.6 反演工程实例 319
;|<(9u` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
,t1vb3 15.6.2 反演工程提取折射率 327
O+_N!/ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
3y ryeS 16.1 光学性质的热致偏移 329
P/MM
UmO 16.2 应力工具 335
<W*xshn 16.3 均匀性误差 339
0 " y%9
16.3.1 圆锥工具 339
JS!*2*Wr 16.3.2 波前问题 341
\5~;MI.Sq 16.4 参考文献 343
dAL3. % 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
?g3 ]~;# 17.1 引言 345
]9*;;4Mg 17.2 操作数 345
qaG# ; 18 如何在Function中编写脚本 351
U]1(&MgV 18.1 简介 351
\tx%WC 18.2 什么是脚本? 351
vZu~LW@1 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
1{Jb" 18.4 基础 352
DK6?E\< 18.4.1 Classes(类别) 352
<'+ %\ 18.4.2 对象 352
Q`A6(y/s? 18.4.3 信息(Messages) 352
cwe1^SJ6y 18.4.4 属性 352
.'1SZe7O 18.4.5 方法 353
|CIC$2u 18.4.6 变量声明 353
s]H^wrg& 18.5 创建对象 354
(e9fm|n!)| 18.5.1 创建对象函数 355
R*9NR,C 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
(PRBS\*G 18.5.3 丢弃对象 356
``u:lL 18.5.4 总结 356
__I/F6{ 9V 18.6 脚本中的表格 357
nNaXp*J 18.6.1 方法1 357
&:3Z.G 18.6.2 方法2 357
C!&y 18.7 2D Plots in Scripts 358
\4{2eU 18.8 3D Plots in Scripts 359
jQ=~g-y 18.9 注释 360
>o~Z>lr 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
8uch i 18.11 一个更高级的脚本 362
aXY->< 18.12 <esc>键 364
%}&(h/= e 18.13 包含文件 365
I
:)W*SK 18.14 脚本被
优化调用 366
xx)-d,S 18.15 脚本中的对话框 368
\.#p_U5In 18.15.1 介绍 368
+}@8p[`) 18.15.2 消息框-MsgBox 368
!%PWig- 18.15.3 输入框函数 370
,*Z. 18.15.4 自定义对话框 371
g%a|q~) 18.15.5 对话框编辑器 371
PB53myDQ 18.15.6 控制对话框 377
@I-Lv5 18.15.7 更高级的对话框 380
V&ot3- Rf 18.16 Types语句 384
6X)@ajGWg~ 18.17 打开文件 385
W3rl^M=r 18.18 Bags 387
&|Np0R 18.13 进一步研究 388
~n?>[88" 19 vStack 389
^"i~DC 19.1 vStack基本原理 389
Q@-ovuxi 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
gSt`% 19.3 五棱镜 393
X!tf#tl 19.4 光束距离 396
h}L}[
19.5 误差 399
@5VV|Wt= 19.6 二向分色棱镜 399
<>Y?vC 19.7 偏振泄漏 404
Paj vb-f 19.8 波前误差—相位 405
-$2kO`|p 19.9 其它计算参数 405
? _g1*@pA 20 报表生成器 406
PftxqJz 20.1 入门 406
PRB{VC<k 20.2 指令(Instructions) 406
)92r{%N 20.3 页面布局指令 406
lfN~A"X 20.4 常见的参数图和三维图 407
~9\zWRh 20.5 表格中的常见参数 408
v~|?3/{Q 20.6 迭代指令 408
dy>!KO 20.7 报表模版 408
)G1P^WV4 20.8 开始设计一个报表模版 409
!>z:m!MlQ 21 一个新的project 413
XfYC7-e9c 21.1 创建一个新Job 414
ihCIh6 21.2 默认设计 415
'%saL >0 21.3 薄膜设计 416
9QC.TG@ 21.4 误差的灵敏度计算 420
c#/H:?q?a 21.5 显色指数计算 422
\qh*E#j 21.6 电场分布 424
sEc;!L 后记 426
M*eJ
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