NLu[<u U* 7yjun|Lt}X 内容简介 KWM.e1( Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
K'B*D*w 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
VK!HuO9l 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
x.$cP 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
qMoo#UX {-Gh 62hDg 目录 _ gGA/ Preface 1
hAt4+O&P 内容简介 2
' 6)Yf}I 目录 i
my/KsB 1 引言 1
vz)R84 2 光学薄膜基础 2
s>W :vV@ 2.1 一般规则 2
f^KN8N 2.2 正交入射规则 3
&3J^z7kU 2.3 斜入射规则 6
xel|,|*Yq 2.4 精确计算 7
+Jm vB6s 2.5 相干性 8
L2_[M' 2.6 参考文献 10
_BONN6=*y 3 Essential Macleod的快速预览 10
7w]3D 4 Essential Macleod的特点 32
|!/+T^u 4.1 容量和局限性 33
vvs2:87zvJ 4.2 程序在哪里? 33
$j8CF3d.6 4.3 数据文件 35
hk$I- 4.4 设计规则 35
YWJ$Pp 4.5 材料数据库和
资料库 37
@^DVA}*b) 4.5.1材料损失 38
a47e 4.5.1材料数据库和导入材料 39
22;B: 4.5.2 材料库 41
[ LQOP3f 4.5.3导出材料数据 43
;Qi!~VsP; 4.6 常用单位 43
cucmn*o? 4.7 插值和外推法 46
? JTTl; 4.8 材料数据的平滑 50
5;G0$M0 4.9 更多光学常数模型 54
C#8A| 4.10 文档的一般编辑规则 55
F=a 4.11 撤销和重做 56
j9yOkaVEg 4.12 设计文档 57
NEPK 4.10.1 公式 58
Z"qJil} 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
bg/=P>2 4.10.3 沉积密度 59
$|7=$~y 4.10.4 平行和楔形介质 60
KJv%t_4'F 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
gK( G1 4.10.4 性能 61
!* KQ2#e 4.10.5 保存设计和性能 64
54B`T/>R:E 4.10.6 默认设计 64
+>%51#2.Q 4.11 图表 64
6 !?]
( 4.11.1 合并曲线图 67
KhP_U{)D 4.11.2 自适应绘制 68
4[&&E7]EX 4.11.3 动态绘图 68
WW+F9~S 4.11.4 3D绘图 69
p Q!lY 4.12 导入和导出 73
Lb?q5_ 4.12.1 剪贴板 73
[La}h2gz 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
US=K}B=g 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
.t8hTlV?<B 4.13 背景 77
~ ^D2]j 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
6k![v@2R 4.15 生成Rugate 84
Gy;Fe= 4.16 参考文献 91
w c~s: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
s$,G5Feub 5.1 Jobs 92
e igVT4 5.2 创建一个新Job(工作) 93
4mKH
|\g 5.3 输入材料 94
*DXX*9 0 5.4 设计数据文件夹 95
BTYYp1 5.5 默认设计 95
B/qN1D]U. 6 细化和合成 97
9W+DW_M 6.1 优化介绍 97
$}0!dR2 6.2 细化 (Refinement) 98
lrwQ
>N 6.3 合成 (Synthesis) 100
10.ZBfn 6.4 目标和评价函数 101
fI2y(p{? 6.4.1 目标输入 102
n%G[Y^^, 6.4.2 目标 103
'h7x@[| 6.4.3 特殊的评价函数 104
:-lq Yd5^ 6.5 层锁定和连接 104
9;uH}j8sE 6.6 细化技术 104
k3e6y 6.6.1 单纯形 105
0I :5}$+J? 6.6.1.1 单纯形
参数 106
:Ny[?jtc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
F|y0q:U 6.6.2.1 Optimac参数 108
%`K{0b 6.6.3 模拟退火算法 109
H=*0KX{ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
E.sZjo1 6.6.4 共轭梯度 111
);yZyWDV 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
0v9i43[S|J 6.6.5 拟牛顿法 112
!Q<3TfC 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Vgkj4EE 6.6.6 针合成 113
l:bbc!3 6.6.6.1 针合成参数 114
ZMr[:,Jp 6.6.7 差分进化 114
oM^vJ3 6.6.8非局部细化 115
US^%pd 6.6.8.1非局部细化参数 115
- US>]. 6.7 我应该使用哪种技术? 116
.w _BA) 6.7.1 细化 116
2L[!~h2 6.7.2 合成 117
Y2tBFeWY 6.8 参考文献 117
p:$kX9mT& 7 导纳图及其他工具 118
#8
^b] 7.1 简介 118
<gGO 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
?b'(39fj 7.2.1 四分之一
波长规则 119
f*88k='\W 7.2.2 导纳图 120
z_ '!?K{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
[{R>'~ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
5} <OB-9 7.5 斜入射导纳图 141
=8TBkxG 7.6 对称周期 141
k%\y,b* 7.7 参考文献 142
J %B/(v` 8 典型的镀膜实例 143
JUj.:n2e 8.1 单层抗反射薄膜 145
P*>?/I`G 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
6R8>w, 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
BFP@Yn~k 8.4 W-膜层 148
6[RTL2&W 8.5 V-膜层 149
]q4LNo 8.6 V-膜层高折射基底 150
y1~
QKz 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
2M\7j 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
$;}@2U 8.9 四层抗反射薄膜 153
6I=xjgwvf 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
0S4Y3bac& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
ahZ@4v 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
]N0B.e~D 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
0bJT0_ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
tJQZRZViu 8.15十五层宽带抗反射膜 159
QmGK!
H>3 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
d8R|0RZ 8.17 1/4波长堆栈 162
?/5<}W#7} 8.18 陷波滤波器 163
I![/bwObG 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
^jdtp 8.20 褶皱 165
sa/9r9hc+ 8.21 消偏振分光器1 169
*SI,K)BP 8.22 消偏振分光器2 171
9!_LsQ\) 8.23 消偏振立体分光器 172
yw%ES 8.24 消偏振截止滤光片 173
pFiE2V_aS 8.25 立体偏振分束器1 174
#lSGH 5Fp? 8.26 立方偏振分束器2 177
]5:[6;wS 8.27 相位延迟器 178
7h!nt=8Y 8.28 红外截止器 179
lX/7 8.29 21层长波带通滤波器 180
59:kL<;S- 8.30 49层长波带通滤波器 181
7@y}J5, 8.31 55层短波带通滤波器 182
Xt:j~cVA 8.32 47 红外截止器 183
$AvaOI.l 8.33 宽带通滤波器 184
&z*4Uij 8.34 诱导透射滤波器 186
*%_M?^ 8.35 诱导透射滤波器2 188
EV* |\ te 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
X}h}3+V 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
"Wk K1u 8.35 增益平坦滤波器 193
vO"E4s 8.38 啁啾反射镜 1 196
4DP<)KX 8.39 啁啾反射镜2 198
Sx Bo% 8.40 啁啾反射镜3 199
[I'q"yRu]i 8.41 带保护层的铝膜层 200
n>:e8KVM; 8.42 增加铝反射率膜 201
*!Gb_!98 8.43 参考文献 202
X MF? y 9 多层膜 204
C R't 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
2v4&'C 9.2 内部透过率 204
v$q\3#5|' 9.3 内部透射率数据 205
<; Td8O89_ 9.4 实例 206
JJM!pD\ h 9.5 实例2 210
|pU>^ 9.6 圆锥和带宽计算 212
FOPmvlA\-< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
jE5=e</ 10 光学薄膜的颜色 216
~"wnlG-: 10.1 导言 216
9WQ'"wyAQ 10.2 色彩 216
FcOrA3tt 10.3 主波长和纯度 220
h]|2b0 10.4 色相和纯度 221
(tzAUrC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
7<2?NLE8* 10.6 色差 226
,g|ht%" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
aK,\e/Oo 10.8 颜色渲染指数 234
KO}TCa 10.9 色差计算 235
h4ghMBo% 10.10 参考文献 236
>%_i#|dE> 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
4zBcq<R7 11.1 短脉冲 238
+_f813$C 11.2 群速度 239
bOV]!)o 11.3 群速度色散 241
G"vEtNoV 11.4 啁啾(chirped) 245
s>>lf&7 11.5 光学薄膜—相变 245
H66~!J0;a 11.6 群延迟和延迟色散 246
`sRys oW 11.7 色度色散 246
OQyZ' 11.8 色散补偿 249
iq8Hq)I] 11.9 空间
光线偏移 256
Pb@$RAU63 11.10 参考文献 258
{gDoktC@M 12 公差与误差 260
Dl}va 12.1 蒙特卡罗模型 260
j{/wG:: 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
W%9"E??c 12.2.1 误差工具 267
L>57eF)7 12.2.2 灵敏度工具 271
V0F1X s` 12.2.2.1 独立灵敏度 271
1py>[II@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275
ty9(mtH+ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
n0^3F1Z 12.3 参考文献 276
^c sOXP=Yp 13 Runsheet 与Simulator 277
C$v
!emu 13.1 原理介绍 277
Mt121Q&" 13.2 截止滤光片设计 277
C\cZ 14 光学常数提取 289
)L,Nh~ 14.1 介绍 289
K*j1Fy: 14.2 电介质薄膜 289
/"1[qT\F 14.3 n 和k 的提取工具 295
e#tWQM3 14.4 基底的参数提取 302
#Z_f/@b 14.5 金属的参数提取 306
p!K]c D 14.6 不正确的模型 306
~~WX#Od*$ 14.7 参考文献 311
7{=+Va5 15 反演工程 313
6~8dMy;w 15.1 随机性和
系统性 313
:Ui'x8yt 15.2 常见的系统性问题 314
Lez]{%+.`[ 15.3 单层膜 314
twPD'X!r 15.4 多层膜 314
6wyhL-{: 15.5 含义 319
_#o75*42tT 15.6 反演工程实例 319
-kzg(+sm 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
FWyfFCK 15.6.2 反演工程提取折射率 327
NbhQ- 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Yb>A?@S 16.1 光学性质的热致偏移 329
};8PPR)\y 16.2 应力工具 335
ogE|8`Tq^ 16.3 均匀性误差 339
t~]tw 16.3.1 圆锥工具 339
-/6Ms%O 16.3.2 波前问题 341
(R{z3[/u& 16.4 参考文献 343
NUX2{8gs 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
<d3N2 17.1 引言 345
J)=Ts({ 17.2 操作数 345
'jU ;.vZex 18 如何在Function中编写脚本 351
|DoD.?v 18.1 简介 351
fu`|@S 18.2 什么是脚本? 351
\MmKz^tO 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
x*F_XE1#M 18.4 基础 352
GG`;c?d@ 18.4.1 Classes(类别) 352
CK} _xq2b 18.4.2 对象 352
At8^yF
18.4.3 信息(Messages) 352
G%fNGQwT 18.4.4 属性 352
(0bXsfe 18.4.5 方法 353
]4-t*Em 18.4.6 变量声明 353
_VAX~Y] 18.5 创建对象 354
1VO>Bh.Wm 18.5.1 创建对象函数 355
-gLU>I7wV 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
zB)wYKwZ 18.5.3 丢弃对象 356
I~U;M+n*y 18.5.4 总结 356
'xc=N 18.6 脚本中的表格 357
>`.$Tyw 18.6.1 方法1 357
EoHrXv 18.6.2 方法2 357
IgtTYxI 18.7 2D Plots in Scripts 358
fhQ}Z%$ 18.8 3D Plots in Scripts 359
G!m;J8#m( 18.9 注释 360
*Y9' tHI 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
L)/^%/! 18.11 一个更高级的脚本 362
>WW5;7$ 18.12 <esc>键 364
83YQ c 18.13 包含文件 365
[5jXYqD=vj 18.14 脚本被
优化调用 366
g2&P 18.15 脚本中的对话框 368
hvU\l`m 18.15.1 介绍 368
Qx}hiv/ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
&+F}$8, 18.15.3 输入框函数 370
u1i
?L' 18.15.4 自定义对话框 371
&$E.rgtg 18.15.5 对话框编辑器 371
BZWGXzOFh 18.15.6 控制对话框 377
_^u^@.Q'i< 18.15.7 更高级的对话框 380
Y^J/jA0\B 18.16 Types语句 384
W&Gt^5 18.17 打开文件 385
dRnO5
7+{ 18.18 Bags 387
\jThbCb 18.13 进一步研究 388
91j.%#[v' 19 vStack 389
k8ej. 19.1 vStack基本原理 389
(
G# W6 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
XYsU)(;j 19.3 五棱镜 393
%W]"JwRu 19.4 光束距离 396
QDJ:LJz\ 19.5 误差 399
$79-)4;z4 19.6 二向分色棱镜 399
_i+7O^=d6X 19.7 偏振泄漏 404
?;)F_aHp 19.8 波前误差—相位 405
92S,W?( 19.9 其它计算参数 405
QF`o%mI 20 报表生成器 406
joJ:*oL 20.1 入门 406
K_E- Hgg_ 20.2 指令(Instructions) 406
piKR*|F 20.3 页面布局指令 406
2XGbqZj 20.4 常见的参数图和三维图 407
"f<+~ 20.5 表格中的常见参数 408
t+Rt*yjO 20.6 迭代指令 408
_a~-B@2g 20.7 报表模版 408
(dVrGa54 20.8 开始设计一个报表模版 409
&26H 21 一个新的project 413
xK C{P{: 21.1 创建一个新Job 414
8Nz Xe 7 21.2 默认设计 415
b9@VD)J0E 21.3 薄膜设计 416
bv8GJ # 21.4 误差的灵敏度计算 420
X-=J7G`\h# 21.5 显色指数计算 422
o@g/,V $ 21.6 电场分布 424
Kw^tvRt'* 后记 426
9,zM.g9Qv 有兴趣可以扫码加微联系