bSsX)wHm (cJb/|?3 内容简介 u6h"=l{ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
&niROM,;K 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
n}X)a-= 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
*kE2d{h^=C 讯技科技股份有限公司
2015年9月3日
_UKH1qUd4 6n37R#( 目录 Vvu+gP'z. Preface 1
!^BXai/ 内容简介 2
1^rODfY 0 目录 i
TWE$@/9 )g 1 引言 1
v]+,kbT 2 光学薄膜基础 2
:c%vl$ 2.1 一般规则 2
l1On .s 2.2 正交入射规则 3
<_&tP=h 2.3 斜入射规则 6
l}B,SkP^ 2.4 精确计算 7
zS*GYE(l^ 2.5 相干性 8
f!2`N 2.6 参考文献 10
j;@7V4' 3 Essential Macleod的快速预览 10
Iu`eQG 4 Essential Macleod的特点 32
)>08{7 4.1 容量和局限性 33
i)=!U>B_0 4.2 程序在哪里? 33
#"% ]1={b 4.3 数据文件 35
jz(}P8 4.4 设计规则 35
g(m3
& 4.5 材料数据库和
资料库 37
w.exLC 4.5.1材料损失 38
P<yd 4.5.1材料数据库和导入材料 39
.n]P6t 4.5.2 材料库 41
+V*FFv 4.5.3导出材料数据 43
:{<( )gfk 4.6 常用单位 43
0]3%BgZ(a8 4.7 插值和外推法 46
{:M5t1^UC 4.8 材料数据的平滑 50
?h4-D:!$L 4.9 更多光学常数模型 54
Rg~ ~[6G> 4.10 文档的一般编辑规则 55
=BO} hk 4.11 撤销和重做 56
)P>Cxzs 4.12 设计文档 57
l9
RjxO.~U 4.10.1 公式 58
+`g&J 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
Gr6XqO_ 4.10.3 沉积密度 59
bj^YB,iSM 4.10.4 平行和楔形介质 60
ukBj@.~ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
_uU}J5d. 4.10.4 性能 61
|NFX"wv:c< 4.10.5 保存设计和性能 64
+FiM?,G 4.10.6 默认设计 64
O@St^o*A} 4.11 图表 64
b6BeOR*ps 4.11.1 合并曲线图 67
]l.y/pRP5[ 4.11.2 自适应绘制 68
o(5Xj$Z 4.11.3 动态绘图 68
P_)h8-!+ $ 4.11.4 3D绘图 69
J8w#J 4.12 导入和导出 73
N9IBw', 4.12.1 剪贴板 73
Dn;6O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
T.nY>Q8 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
AK%2#}k. 4.13 背景 77
v7"' ^sZ? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
qXmkeidb&W 4.15 生成Rugate 84
|,rIB 4.16 参考文献 91
H/m -$;cF3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Enr8"+.( 5.1 Jobs 92
@Q~Oc_z 5.2 创建一个新Job(工作) 93
;KqH]h) 5.3 输入材料 94
7kapa59 5.4 设计数据文件夹 95
EJ&[I%jU 5.5 默认设计 95
jeM % XI 6 细化和合成 97
J5PXmL 6.1 优化介绍 97
3D>syf 6.2 细化 (Refinement) 98
T^YdAQeE 6.3 合成 (Synthesis) 100
0X =Yly*m@ 6.4 目标和评价函数 101
L/,#:J 6.4.1 目标输入 102
L2:v#c()#) 6.4.2 目标 103
3n-~+2l 6.4.3 特殊的评价函数 104
tM3eB= .* 6.5 层锁定和连接 104
kx=.K'd5H 6.6 细化技术 104
3x2*K_A5:Q 6.6.1 单纯形 105
]H8,} 6.6.1.1 单纯形
参数 106
)Cl!, m)~ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
m~a' 6.6.2.1 Optimac参数 108
{w*5uI%%e 6.6.3 模拟退火算法 109
FWpcWmS`s 6.6.3.1
模拟退火参数 109
9C[i#+_3M 6.6.4 共轭梯度 111
M]PH1 2Ob 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
pj?wQ' 6.6.5 拟牛顿法 112
$w{!}U 2+- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
FTvFtdY 6.6.6 针合成 113
meQ>mW 6.6.6.1 针合成参数 114
)`5kfj 6.6.7 差分进化 114
$oKT-G 6.6.8非局部细化 115
tVJ}NI # 6.6.8.1非局部细化参数 115
?g*#ld() 6.7 我应该使用哪种技术? 116
f4Aevh: 6.7.1 细化 116
1"k"<{% 6.7.2 合成 117
F&?&8. 6.8 参考文献 117
.9X, )^D 7 导纳图及其他工具 118
LlAMtw" 7.1 简介 118
.*+?] 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
wWV`k 7.2.1 四分之一
波长规则 119
QRbiO 7.2.2 导纳图 120
c\.Hs9T > 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
*3 .+19Q 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
=ZdP0l+V=k 7.5 斜入射导纳图 141
\ci'Cbn\o 7.6 对称周期 141
D{1k{/cF 7.7 参考文献 142
J+oK:tzt8 8 典型的镀膜实例 143
Y]
Q=kI 8.1 单层抗反射薄膜 145
et[n ;nl>V 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
-olD!zKS 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
m,UMb#7Y 8.4 W-膜层 148
k@QU<cvI 8.5 V-膜层 149
D|`O8o?) 8.6 V-膜层高折射基底 150
6
6S
I 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
7P!<c/ E 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
2xy
&mNx 8.9 四层抗反射薄膜 153
daamP$h9 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
\va'>?#o1 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
ux-puG 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
C4vmgl& 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
aKi&2>c5> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
|#hj O3 8.15十五层宽带抗反射膜 159
""-#b^DQ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
ktQMkEj# 8.17 1/4波长堆栈 162
k e$g[g 8.18 陷波滤波器 163
&fH;A X. 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
W$_}lE$ 8.20 褶皱 165
qfF/X"#0 8.21 消偏振分光器1 169
Qoa gy L 8.22 消偏振分光器2 171
j*2Q{ik>J 8.23 消偏振立体分光器 172
}O=QXIF5 8.24 消偏振截止滤光片 173
[QC<u1/"K 8.25 立体偏振分束器1 174
5\hJ& 8.26 立方偏振分束器2 177
>(N0''eM] 8.27 相位延迟器 178
/F#_~9JXG 8.28 红外截止器 179
cBxBIC 8.29 21层长波带通滤波器 180
/W4F(3oM 8.30 49层长波带通滤波器 181
pv/LTv 8.31 55层短波带通滤波器 182
X~ca8!Dq 8.32 47 红外截止器 183
<G d?,}\ 8.33 宽带通滤波器 184
VK/@jrL+ 8.34 诱导透射滤波器 186
SRL`! 8.35 诱导透射滤波器2 188
z@WuKRsi 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
v]`}T/n 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
r?^[o 8.35 增益平坦滤波器 193
:-Gf GL>] 8.38 啁啾反射镜 1 196
QL_~E;U 8.39 啁啾反射镜2 198
y^utMH 8.40 啁啾反射镜3 199
ssdpwn' 8.41 带保护层的铝膜层 200
oSGx7dj+ 8.42 增加铝反射率膜 201
RPH]@ 8.43 参考文献 202
A\{dq: 9 多层膜 204
G8Hj<3` 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
rgth2y] 9.2 内部透过率 204
tCkKJ)m
9.3 内部透射率数据 205
/$]#L% 9.4 实例 206
Ww(($e! 9.5 实例2 210
Jptzc:~B 9.6 圆锥和带宽计算 212
DyZe+,g;S 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
&hciv\YT2W 10 光学薄膜的颜色 216
g~zz[F 8U 10.1 导言 216
qx#k()E.U 10.2 色彩 216
>FrF"u:kM 10.3 主波长和纯度 220
&c;@u?:@S 10.4 色相和纯度 221
eVRFb#EU0e 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
h>s|MZQ:* 10.6 色差 226
m(~5X0 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
}zA
kUt 10.8 颜色渲染指数 234
#X~{p4Lr 10.9 色差计算 235
[A@K)A$f 10.10 参考文献 236
hXxgKi% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
|~QHCg< 11.1 短脉冲 238
UkO L7M 11.2 群速度 239
MjGeH>c 11.3 群速度色散 241
axf 4N@ 11.4 啁啾(chirped) 245
#2N']VP 11.5 光学薄膜—相变 245
mFL"h 11.6 群延迟和延迟色散 246
('SA9JG 11.7 色度色散 246
f7y a0%N 11.8 色散补偿 249
(X!?#)fyn 11.9 空间
光线偏移 256
:?!kZD! 11.10 参考文献 258
#bFJ6;g=V 12 公差与误差 260
O'5xPJ 12.1 蒙特卡罗模型 260
A6?+$ Hr 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
B/P E{ / 12.2.1 误差工具 267
J;?#Zt]`L 12.2.2 灵敏度工具 271
KY1(yni&8[ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
nEtG(^N 12.2.2.2 灵敏度分布 275
1M%'Xe7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
SONv])); 12.3 参考文献 276
T]&%
KQ 13 Runsheet 与Simulator 277
)3W`>7> 13.1 原理介绍 277
Fpz)@0K; 13.2 截止滤光片设计 277
".n,R"EF 14 光学常数提取 289
:/F=j;o 14.1 介绍 289
p i;,?p- 14.2 电介质薄膜 289
tbx* }uy2 14.3 n 和k 的提取工具 295
%/b3G*$W 14.4 基底的参数提取 302
2WKYf0t 14.5 金属的参数提取 306
}N^A
(`L 14.6 不正确的模型 306
b4l=Bg" 14.7 参考文献 311
9qhX\, h 15 反演工程 313
<W,M?r+
15.1 随机性和
系统性 313
fjc8@S5x9j 15.2 常见的系统性问题 314
f-w-K)y$ht 15.3 单层膜 314
~/R,oQ1!g} 15.4 多层膜 314
RnvPqNs 15.5 含义 319
(MI8Kkb1d 15.6 反演工程实例 319
[|
\Z"
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
03] 15.6.2 反演工程提取折射率 327
\I!C`@0 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
d0@&2hO 16.1 光学性质的热致偏移 329
z>\vYR$ 16.2 应力工具 335
\Lp|S:u 16.3 均匀性误差 339
yvPcD5s5 16.3.1 圆锥工具 339
9VEx0mkdd 16.3.2 波前问题 341
;oej~ 16.4 参考文献 343
\O*8% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
{_ &*"bK 17.1 引言 345
YQ\c0XG 17.2 操作数 345
!=C74$TH
18 如何在Function中编写脚本 351
PrA?e{B5m 18.1 简介 351
(qf%,F,_L 18.2 什么是脚本? 351
C-vFl[@a0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
@X _<y 18.4 基础 352
C}i1)
18.4.1 Classes(类别) 352
*.4VO+^ 18.4.2 对象 352
,Z2fVz~9 18.4.3 信息(Messages) 352
k<bA\5K 18.4.4 属性 352
5Op|="W. 18.4.5 方法 353
:\]TAQd- 18.4.6 变量声明 353
fyRSg B00$ 18.5 创建对象 354
-E*VF{IG1 18.5.1 创建对象函数 355
EWI2qaSnO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
,'7 X|z/_> 18.5.3 丢弃对象 356
*0EB{T1 18.5.4 总结 356
(%bqeI!ob 18.6 脚本中的表格 357
~\UH`_83[ 18.6.1 方法1 357
EAPLe{qw:q 18.6.2 方法2 357
+,"O#`sy< 18.7 2D Plots in Scripts 358
K\bA[5+N 18.8 3D Plots in Scripts 359
ws^ 7J/8 18.9 注释 360
X&s@S5=r] 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
*OX;ZQg0 18.11 一个更高级的脚本 362
JO|%Vpco 18.12 <esc>键 364
/h.hFM/ 18.13 包含文件 365
~>j5z&:& 18.14 脚本被
优化调用 366
1FkS$ j8: 18.15 脚本中的对话框 368
~d9R:t1 18.15.1 介绍 368
<Mt>v2a3Y 18.15.2 消息框-MsgBox 368
!=-{$& { 18.15.3 输入框函数 370
;ui=7[Us 18.15.4 自定义对话框 371
/t4#-vz 18.15.5 对话框编辑器 371
ZxDh94w/ 18.15.6 控制对话框 377
X(YR).a~ 18.15.7 更高级的对话框 380
lhp.zl 18.16 Types语句 384
;J]Lzh 18.17 打开文件 385
+!@@55I- 18.18 Bags 387
q_J)68B R 18.13 进一步研究 388
sI&|qK-( 19 vStack 389
AW6 "1(D 19.1 vStack基本原理 389
3Z taj^v 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
`vMrlKq 19.3 五棱镜 393
4s <|8 19.4 光束距离 396
D|8Pe{` 19.5 误差 399
NFAjh?# 19.6 二向分色棱镜 399
ZQ MK1 19.7 偏振泄漏 404
L/39<&W 19.8 波前误差—相位 405
0@BhRf5 19.9 其它计算参数 405
OYbgt4 20 报表生成器 406
5[qCH(6 20.1 入门 406
1kX>sajp~ 20.2 指令(Instructions) 406
y}.?`/Q# 20.3 页面布局指令 406
x_k@hGSC 20.4 常见的参数图和三维图 407
6
_Cc+}W 20.5 表格中的常见参数 408
HZ_,f"22 20.6 迭代指令 408
;7
F'xz" 20.7 报表模版 408
qs U ob 20.8 开始设计一个报表模版 409
mO?yrM * 21 一个新的project 413
'1f:8 21.1 创建一个新Job 414
n0T>sE-9 21.2 默认设计 415
d i;Fj 21.3 薄膜设计 416
]"T1clZKd( 21.4 误差的灵敏度计算 420
=Zt7}V 21.5 显色指数计算 422
xGBp+j1H 21.6 电场分布 424
P c'0.4 后记 426
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