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摘要 pqnZ:'V :vRUb>z 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;=F]{w]$+ ZhYOz 5,u'p8}. *\T
]Z&E" 设计任务 7^*[ XH XfYhLE w//L2. /G& %T ^Uq"hT(41 光栅特性与参数的严格分析 GEQ3r'B| L0dj 76'M 不同光栅周期的衍射效率
I'>r 9~6)u=4sS" b@m\ca 1GI/gc\ 考虑光栅周期的选择 j_Qkw ?
U3 y-cgE z-;2)RkV2 偏振相关衍射特性 |)+;d i{5,mS&
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)MlT=k6S ;!H|0sv 偏振相关衍射特性 FatLc|[ rXG?'jN Kb5 Y A $2lPUQZ<5 基于参数优化的光栅设计 2c4x=% v cZg3:j 具有固定周期的二维参数优化 }vspjplk^ C=uYX"
JOvRUDZ 二维参数优化 - 设计#1 afNqK~ *D6X&Hg&5
(M,IgSn9 oGXndfd" 二维参数优化 - 设计#2 8,m3]Lg ic]b"ItD
(@"5:M ]31UA>/TI 制造公差分析 - 设计#2 @Wb_Sz4` PGaYYc3X
`7mRUDz klwNeGF]N 不同光栅周期的三维参数优化 \WN,. r}]%(D](v
M)v4>Rw+ 1YxG<K] 制造公差分析 a][QY1E@? \8e27#PJR
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