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摘要 d(F4-kBd !m?W+z~J 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 8X)1bNGqhe +^3
*Y"6Z +m4?a\U 9d8U@= 设计任务 (d# W3 V"5LNtf T1M>N # 66vkf* 7l3Dxw/N 光栅特性与参数的严格分析 T;#:Y lB(P+yY,/' 不同光栅周期的衍射效率 ^3ysY24 Q LsaRw-4.c E[M.q;rM /JmWiBQIn 考虑光栅周期的选择 M7c53fz v7mg8' [t"#4[ 偏振相关衍射特性 9iN}v "tz`@3,5dN
Xagz(tm/ Rip[ 偏振相关衍射特性 !CLL{\F tNYCyw{K
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63eH)! 85#+_}# 偏振相关衍射特性 ]lA.? 3`{[T17 m-R`( +A<7:`sO 基于参数优化的光栅设计 e@L?jBj8m @.l?V6g9T 具有固定周期的二维参数优化 M~-jPY,+ ;xjw'%n,
*7K)J8kq 二维参数优化 - 设计#1 xcC^9BAj 6Lz:J:Q)
gkld}t*U <%=@Ue 二维参数优化 - 设计#2 Mf`@X[-; 92g&,Wb
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X;3gKiD B2)SNhF2Y 不同光栅周期的三维参数优化 ItwJL` B/bS:
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