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摘要 oFDJwOJ'Bj 0N`'a?x 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _OY<Hb3%M Aw,#oG {N  Dy|DQ> ?} Rap =& 设计任务 <= gf|( <;q)V%IUz  FX&)~) * <l9 d +]S!pyZ" 光栅特性与参数的严格分析 1vL$k[^&d Z*kZUx7I< 不同光栅周期的衍射效率 ?t"bF :! N,?D<NjXl  _Z3_I_lW Mb\[` 4z 考虑光栅周期的选择 tg%C>O A,f%0
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