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摘要 Vi|#@tC' 0PCGDLk8 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b7ZSPXV ?gXp*>Kg[ X5w$4Kj&4l 2B`JGFcdcB 设计任务 ,`sv1xwd >8[Z.fX 3$
PV2" HK%7g 43 :X,\~) 光栅特性与参数的严格分析 MWh6]gGs l}P=/#</T 不同光栅周期的衍射效率 tT._VK]o&R =i3n42M# 1AFA=t:]p 6wg^FD_Q 考虑光栅周期的选择 \}G^\p6?M uEx-]F UGatWj 偏振相关衍射特性 3iU=c&P U%/+B]6jP
f)<6 23jwAsSo 偏振相关衍射特性 h>bx}$q 7PF%76TO
VS|2|n1<6 ,]/X\t5]D 偏振相关衍射特性 /Gfw8g\} :MDKC /mC $`'/+x"% 'we>q@ 基于参数优化的光栅设计 nT)vNWT= Z #m+ObHK1 具有固定周期的二维参数优化 &>}5jC.I {7pli{`
U`s{Jm 二维参数优化 - 设计#1 >5SSQ\ 2~a k|f4Cf,
CTA3*Gn x$(f7?s] 1 二维参数优化 - 设计#2 Wn}'bqp #)VF3T@#'
,v}k{( 16{ 8Cv?Z.x5 制造公差分析 - 设计#2 kAGBdaJ" +qdEq_m
f|oh.z_R )BfAw 不同光栅周期的三维参数优化 p{dj~ &v W=4FFl[
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