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摘要 I0Vm^\8 k=LY 6 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 w(vf>L6( 3}"VUS 0wh  n1H*][CK o*<( ,I% 设计任务 @FQ@* XD F*a+&% Q  *@O;IiSE 4 F'@yi^Gt '8dqJ `Gj 光栅特性与参数的严格分析 "$WZd |_O1V{Q= 不同光栅周期的衍射效率 }>grGr%oR `aCcTs7~]p  j *CnnM# n o}[wu:>yk 考虑光栅周期的选择 6ds&n#n cM5 5
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