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摘要 gi>W&6 cE>m/^SKr 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
}ikN &JYkh > OnU-FX< r7#.DJnN. 设计任务 Xy. /1`X yVQW|D0,j RUq[HxF)
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V 光栅特性与参数的严格分析 "%bU74> Dc*
H:x; 不同光栅周期的衍射效率 *&I
_fAh] l8J2Xd @ c[V.j+Iy#^ ;>/yY]F7 考虑光栅周期的选择 cv1PiIl ;at1|E* vRn]u57O 偏振相关衍射特性 >j7]gi( 7z$bCO L=S
W9oWj7&h s(ap~UCOw 偏振相关衍射特性 cL!A,+S[_ ?`xm_udc
$-|$4lrS }I MV@z B 偏振相关衍射特性 9~$E+m( Q^=0p0 Kv:Rvo >y,. `ECn 基于参数优化的光栅设计 hrO9_B|# !Eb|AHa 具有固定周期的二维参数优化 4"3.7.<Q` ir>S\VT4
!G6h~`[ 二维参数优化 - 设计#1 s|:1z"q x%O6/rl
`8tstWYa]Y OHW|?hI=[ 二维参数优化 - 设计#2 @Kn@j D; xG(iSuz
1G67#L)USq %C@p4 制造公差分析 - 设计#2 Fa\jVFIQ WbBd<^Q
eMdf[eS eX lJ=S} 不同光栅周期的三维参数优化 @$t\yBSK [k(b<'
`S5::U6E XN>bv|*q 制造公差分析 -'L~Y~'. ^nNpT!o
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