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摘要 3i1TBhs6 h~lps?.#b 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 :nOI|\ rC Ya4yW9*  ]nNn"_qh WjguM 设计任务 I?
="Er[g} p:V1VHT,  (&SPMhs_|( ~b @"ir+g4 tOX -vQ 光栅特性与参数的严格分析 _Q 'f^Kj K~4bT= 不同光栅周期的衍射效率 $*`E;}S0 uFA}w:Fm  9k \M<jA %l,CJd5 考虑光栅周期的选择 $_3 )m h$mGaw vZ~  W[ R`],x` 偏振相关衍射特性 "~S2XcR[ E BiDyr
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