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摘要 ZlT }cA/n j6
wFks 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =~D? K9o zp:dArh0 <I+k B^ Er ({f}Z-% 设计任务 _jWs(OmJ mw@Pl\= 6FUW^dt 5ut| eD`3 !8{VLg 光栅特性与参数的严格分析 5{c;I<0 &i#$ia r 不同光栅周期的衍射效率 LUOjaX (jc@8@Wo. +;N]34>S7 ]l,BUf-O 考虑光栅周期的选择 SSK}'LQ d?,'$$ aB wQ_4_W 偏振相关衍射特性 c[dSO(= :4ryi&Y
~Y 6'sM| 0w?da~ 偏振相关衍射特性 18&"j 8'm 'Wlbh:=$
!fh (k FO!Td 偏振相关衍射特性 bA;OphO( B8&q$QV N*Y[[N( qmS9*me
{ 基于参数优化的光栅设计 o`T.Zaik, s~M4. 06P 具有固定周期的二维参数优化 $?= $F *?)MJ@
TxrW69FV7 二维参数优化 - 设计#1 *x36;6~W; |9*Rnm_
#bOv}1,s ;6tra_ 二维参数优化 - 设计#2 c_/BS n Y}~sTuWU
_4{0He`q 'gwh: 制造公差分析 - 设计#2 bz*@[NQ _@5Xmr
5Xq+lLW> '+Dsmoy 不同光栅周期的三维参数优化 }$ y.qqG |J$A%27
Gu;40)gm $LP(\T([ 制造公差分析 2&6D`{"P &RR;'wLoQT
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