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摘要 R+e)TR7+ 3XQe? 2:< 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ahCwA} \v<S:cTf $]}K ; }Y!s:w# 设计任务 .m>Qlh
O'#;Ge/, 8\:>;XG6f ?[>Y@we GBR$k P 光栅特性与参数的严格分析 T"C.>G'[B omy3<6 不同光栅周期的衍射效率 w2/3[VZ}l fO^s4gWTg AFvv+
ss ot!m=s 考虑光栅周期的选择 vfx{:3fO 3B,dL|q(@J {}iS5[H] 偏振相关衍射特性 0.nkh6? On!+7is'
,WnZ^R/n fl9VokAT 偏振相关衍射特性 p}/D{|xO <&O*'
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mJ5%+.V ePv`R'# 偏振相关衍射特性 T\6,@7 1{d;Ngx N=T} q *Hg-J} 基于参数优化的光栅设计 5[)#3vY fz|_c*&64 具有固定周期的二维参数优化 \ISg6v{/ O&;d8 2IA{
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0, 二维参数优化 - 设计#1 D0kz;X 8*{jxN'M
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h4hp5M BBV>QL 制造公差分析 - 设计#2 p8YOow7) ~dLbhjden
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