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摘要 \,&co )+"'oY$]} 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ;9ly'<up iNWo"=J 0zCw>wBPW ?wF'<kEH 设计任务 T<@ cd|` kbfC|5S VY"9?2?/ E55t*^` g'u?Rn7*J 光栅特性与参数的严格分析 C?= P bb`':3% 不同光栅周期的衍射效率 B Ma)O ;Y mTw
R:AA,^Z u#A<hq; 考虑光栅周期的选择
"t$k -}4NT{E HCJ>X;(`f? 偏振相关衍射特性 i Q6epg1wB G,<T/f
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z%7SrUj2 ^eGNgE 偏振相关衍射特性 7GSV X _G| hx
|R@~-Ht *;U'[H3Q 偏振相关衍射特性 rgf# wH%hN q;D+ai 7HJS.047 8?O>ZZtu 基于参数优化的光栅设计 y}K\%;`[a [;.`,/ 具有固定周期的二维参数优化 J5[~LZKW ,prF6*g+WE
lvpc*d|K 二维参数优化 - 设计#1 J.+BD\pa c$,_>tcP
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(zYy}g#n $W42vjr4 制造公差分析 - 设计#2 )Vk6;__ >x@P|\
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