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摘要 E<Q
f!2s$ 3G(miP6 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %|^fi8!:| <psZQdH  D"a~ #^ ZR(x%ews 设计任务 E( Z8 %@6}GmK^  1q,{0s_kp [D<1 CF R
wZ]),o 光栅特性与参数的严格分析 z}MP)|aH: ;e1ku|>$ 不同光栅周期的衍射效率 $d_|NssvU t},/}b  ]3X@_NYj T Kg aV;92 考虑光栅周期的选择 .~l=zu 1f":HnLRM  *U
P@9D 偏振相关衍射特性 UOx kO ''0fF_ P
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'*"vkgN 偏振相关衍射特性 6jC`8l:
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 3_MS.iM '.81zpff 偏振相关衍射特性 x7eQ2h6O @tZ&2RY1  _s .G
=AEBeiz 基于参数优化的光栅设计 SV~cJ]F MM x9(`t*. 具有固定周期的二维参数优化 H\0~#(z?.
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 NbU [l 二维参数优化 - 设计＃1 -T[lx\}
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 IHcD*zQ &3TEfvz 制造公差分析 - 设计＃2 hNH'XQxO Y}#J4i0b*
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