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摘要 6
74X)hB oU? X"B9 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 %BLKB%5 hDMp^^$ 5xUPqW%3 9<mj@bI$ 设计任务 H4Ek,m|c 9Bw"VN]W iL1so+di a<.@+sj{ Y|nTc.A 光栅特性与参数的严格分析 7SZs/wWh% p~ItHwiT 不同光栅周期的衍射效率 O9)8a] $7YLU{0 ^umAfk5r?H /WVMT]T6^, 考虑光栅周期的选择 {Aw3Itef Cz)D3Df^ 8:NHPHxB 偏振相关衍射特性 .R5z>:A +ETw:i9!?
xRN$cZC Xii#Qtd. 偏振相关衍射特性 a@J:*W ApB0)N
8t!"K_Mkx bxq`E!] 偏振相关衍射特性 -NeF6 UUq9UV-h %xz02$k Cj9Tj'0@I+ 基于参数优化的光栅设计 a mgex$ !
+ 7ve[z 具有固定周期的二维参数优化 pE N`&'4 7F\g3^z9`
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Op{Mc$5a /([aD~. 不同光栅周期的三维参数优化 6"(&lK\^ )Be;Zw.|
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