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摘要 kr=&x)Wy! /-mo8]J#2~ 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 h^`!kp <gtqwH] \_#Z~I{ Qgel^"t]i 设计任务 ?F!='6D}b L{i,.aE/nO kCuIEv@ j,%<16f^A qFpRY7eq 光栅特性与参数的严格分析 iuxS=3lT"K }ag
-J."5M 不同光栅周期的衍射效率 tt%lDr1A) ;`(l)X+7 FFvF4]|L hG8!aJo 考虑光栅周期的选择 <"SOH;w L6jD4ec8 Hyj<Fqr!. 偏振相关衍射特性 =Ll:Ba Q
AD=qB5:
P%nN#Qm yH:gFEJ:x 偏振相关衍射特性 ([+u U! jH4'jB
}5I+VY7a iFi6,V*PRt 偏振相关衍射特性 b;AGw3SF 6(9S'~*'R > 0kZ-M5 Y#A0ud, 基于参数优化的光栅设计 ;hcOD4or :K#z~#n 具有固定周期的二维参数优化 @ 7WWoy UmC_C[/n?
6y4&nTq[ 二维参数优化 - 设计#1 UF$JVb oU`J~6.&S
IL\2?(&Z 4)zHkN+ 二维参数优化 - 设计#2 h\@\*Xz<v y!,Ly_x$@
4J"S?HsW| e=yQFzQT) 制造公差分析 - 设计#2 SMMsXH jEkO#xI
Z fQzA}QD >;9+4C<z0 不同光栅周期的三维参数优化 y7?n;3U]CS @'Y^A
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