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摘要 8l>/ZZ.NXi xex/L%!Rj 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 LB? evewu x_v pds #PoUCRRC ~yt+xWV 设计任务 -:pLlN-f 5LhFD Gi]Pwo${ }pPxN@X Hh$D:ZO 光栅特性与参数的严格分析 iK(n'X5i |?V6__9 不同光栅周期的衍射效率 93)& @]WN|K ~c! XQJ =B*,S#r 考虑光栅周期的选择 e_g7E+6 0Vh|UJ'&7 HkJ$r<J2 偏振相关衍射特性 5Tb93Q@c #p*{p)]HiA
m$*dPje h<6@&yzp 偏振相关衍射特性 CO0Nq/@ _tb)F"4V
w80g)4V+ @4T+0&OI10 偏振相关衍射特性 9w}A7(' mxq'A +x-n,!( a)Qx43mOS 基于参数优化的光栅设计 0kQAT# Xko[Z;4v8' 具有固定周期的二维参数优化 P[8`]= fJd!;ur)0
{#zJx(2yG 二维参数优化 - 设计#1 87>\wUJ LC*@/((
F,P,dc $vTU|o>| 二维参数优化 - 设计#2 [FAoC3 k-h r_-iOxt~5
hCc_+/j| BB|w-W=Kd 制造公差分析 - 设计#2 :?U1^!$$1 tlCgW)<?
Tr(w~et *'QD!Tc 不同光栅周期的三维参数优化 v /G, jQj`GnN|
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