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摘要 `xhiG9mz~ ?`nF"u> 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 CFW\ ^vPt Ppt 2ja@NT $hkMJ),T~ 设计任务 CTbz?Kn b Hr2LhQCN T/_JXK>W 8"M*,?.] 0RLyAC| 光栅特性与参数的严格分析 ',MiD=_ &~u=vuX 不同光栅周期的衍射效率 L29,Y=n@ o|s JTY pX:FXzYQ $>3/6(bW 考虑光栅周期的选择 +7jr ]kP9 2o`a^'Iw ;
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Ns-cT'1- 制造公差分析 - 设计#2 ExDH@Lb uf*sI
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