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摘要 W j MRH+ @h9MxCE! 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 QT!5l` V[hK2rVH.  @h?crJ 6$ pR$6,Vi 设计任务 1~5trsB+5 >SI<rR[~%  >1|g5 \ 7 a4uc |:q/Dt@ 光栅特性与参数的严格分析 !,&yyx. JdNF-64ky 不同光栅周期的衍射效率 FLr ; `3 %5B%KCCN  hU {-a` #$ 1 $T 考虑光栅周期的选择 ]q ktj=p *i%quMv  %FA@)?~ 偏振相关衍射特性 gR gog*z }STYG`
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Vz :_mKA 基于参数优化的光栅设计 1mW % p^QZ q >v 具有固定周期的二维参数优化 CEtR[Cu
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 JOfV] eCL %} q bkkZ 制造公差分析 - 设计＃2 `a4 $lyZ +;gsRhWk
 @.9I3E-= IgX4.]W5 不同光栅周期的三维参数优化 -
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