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摘要 z+FhWze T[B@7$Dp* 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 `o
yz"07m n|IdEgD$ T{d7,.: vE7 L> 7 设计任务 P!:Y<p{=> GM|gm-t<@ "2(lgxhj RS!~5nk5 G*uy@s: 光栅特性与参数的严格分析 Teu4 ; .,(bDXl? 不同光栅周期的衍射效率 z6S
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#u1.|s&p 考虑光栅周期的选择 (o)nN8 @4Z>; ;({&C34a 偏振相关衍射特性 ]=of=T: 'W usEME
1BwCJ7?8 2;r(?ebw 偏振相关衍射特性 K/79Tb- p8hF`D~
o)Kx:l +f % @3AA< 偏振相关衍射特性 ~ ?m'; %/b?T]{ [5,aBf)X ]24aK_Uu 基于参数优化的光栅设计 GLQ1rT su/l'p' 具有固定周期的二维参数优化 I0P)DR B-ReBtN
LOpnPH` 二维参数优化 - 设计#1 ]WR+>)ERb ^'!]|^
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二维参数优化 - 设计#2 =z'- B~ jhrmQS
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E0 !ccKbw)J# 制造公差分析 - 设计#2 x$d3fsEE <at/z9b
uFOxb}a9v vpcx 1t< 不同光栅周期的三维参数优化 ,$EM3 =Ig'Aw$ x
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