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摘要 YiDO V) i#`q<+/q 光栅,特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅,具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Xi98:0<= ?!U[~Gq #Or;"}P>fB )_=2lu3%{ 设计任务 c
Rq2 re 5o dT\>Sn TB!I 4?'vP ' 6p)AQTh> 光栅特性与参数的严格分析 SXm%X(JU MVsFi]- 不同光栅周期的衍射效率 Nhjq.& W8^m-B& pi?MAE*f {7OHEArv
考虑光栅周期的选择 +1!iwmch> sI!H=bp-8 67II9\/ 偏振相关衍射特性 mLxgvp 05`"U#`:
&3[oM)-V -Lh7!d 偏振相关衍射特性 [8i)/5D4 g4[VgmhJ
E[]5Od5# #hZ$;1. 偏振相关衍射特性 =1l6(pJ E+]9!fDy< _F;v3|`D@< 0Ds3wNz 基于参数优化的光栅设计 ?BnU0R_r] (90/,@66l 具有固定周期的二维参数优化 D0r viO y>P+"Z.K%}
I+8n;I)]X 二维参数优化 - 设计#1 ^a4z*#IOr Pb#M7=J/
^}_Ka //k hzqJ! 二维参数优化 - 设计#2 Q5+1'mzAB Gmz^vpQ]t
4+RR`I8$Ge { qNPhi 制造公差分析 - 设计#2 +3)r
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hH8&g%{2 E7:xPNU 不同光栅周期的三维参数优化 %;,fI'M ^,>w`8
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