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摘要 9'g{<(R] C) s1'
=TZ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 P1 stL,
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设计任务 2 _n*u^X:_ f MPq  Mk/!,N<h# FNCLGAiZ x9A
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*- IlF] 基于参数优化的光栅设计 JdUz!=I
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 Y = g>r]2 二维参数优化 - 设计＃1 2^^'t 6@ o~o6S=4, }
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H 制造公差分析 - 设计＃2 L*
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