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摘要 P}HC (S1 8
AFMn[{ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 sffhPX\I A9
U5,mOz  'gCJ[ ce ^6 Yd} 设计任务 ^^%JoQ. R.K?
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mb1 @B?FE\ 光栅特性与参数的严格分析 ton 1oq
0!pJ5q ,A 不同光栅周期的衍射效率 gNqAj# m wh%xkXa[ur  ` M:DZNy, kVd5,Qd 考虑光栅周期的选择 I!P4(3skAB
Jn Y$fs*"  rvwa! YY} 偏振相关衍射特性 P$ _&
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Vp" 偏振相关衍射特性 pe.Ml7o"
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 nob0T5G 'S*k_vuN 偏振相关衍射特性 cMaOM}mS 4ZwK pQ6  Tg0CE60"
Ke!'go hv 基于参数优化的光栅设计 7/aOsW"6 Q,gLi\siI 具有固定周期的二维参数优化 Rb EKP(uw
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 ]n;1x 1' 二维参数优化 - 设计＃1 QTH7grB2v 2z\e\I
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M :5b0np! 二维参数优化 - 设计＃2 }gv8au< T]9m:z X9s
 XogVpk A qtMD CXZ^n 制造公差分析 - 设计＃2 36vgX=} F9a^ED0l\
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