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摘要 JSCZX:5 :S_3(/} \ 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ML)5nJD P
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7 1aZ zCuN 8 设计任务 &_Vd Ok *aP+Wq  FN>ns, HOY@< ' vgyv~Px]AW 光栅特性与参数的严格分析 LQr+)wI ;_ TP Jy 不同光栅周期的衍射效率 0|L%)'F Iu=n $H  ~4}'R _ Wh7}G 考虑光栅周期的选择 8s@k0T<O m7n8{J1O2  IT5a/;J 偏振相关衍射特性 !^h{7NmP[ k0 4CSzE"%
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^j)0&}fB 基于参数优化的光栅设计 aEJds}eE6) s DF 5 具有固定周期的二维参数优化 T=- $ok`G
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