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摘要 &j;wCvE4+ M$ wC=b 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <;lkUU(WT2 \UA[  L7l
FtX+b n3WlZ!$ 设计任务 :: ` HQ@^ !n`fTK<$  M*0]ai|; p#-Z4- ` -uS!\ 光栅特性与参数的严格分析 Zj( AJ* r 9gW|}&- 不同光栅周期的衍射效率 5=-Q4d @@f"%2ZR[  yWmJ~/*lG 0S"mVZ*P 考虑光栅周期的选择 KR} ?H#% /'SNw?&  *V CXihgo 偏振相关衍射特性 w?L6!) oiz 7g^]:3f!
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h4gXvPS&r 基于参数优化的光栅设计 :
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 = jN.1} 二维参数优化 - 设计＃1 .^` {1% T= DbBy0-
 fgTg7 m gjyYCjF 二维参数优化 - 设计＃2 )MVz$h{c.] (TtkFo'!U
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46Yc ;?Tbnn Wn 制造公差分析 - 设计＃2
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 ,_ H:J.ik Qp5VP@t 不同光栅周期的三维参数优化 -m zIT4
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