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摘要 _&gi4)q d&AG~,&d| 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 4TtC~#D: mdi!Q1pS  [xS7 ae .OPknC 设计任务 dwO fEYC %~rEJB@{  oD)x\ )t8 n,N->t$ i v{u3[c
光栅特性与参数的严格分析 c%&,(NJ]K ]OAU&t { 不同光栅周期的衍射效率 \CB^9-V3 Cbbdq%ySI  Mz@{_*2 ,Py\Cp=Dw 考虑光栅周期的选择 x :SjdT ) CGQ}  7 N}@zPAZ 偏振相关衍射特性 [2:d@=%. Yuv(4a<M%
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y?s z&*: 基于参数优化的光栅设计 pa-*&p [P2>KQ\ 具有固定周期的二维参数优化 }8'_M/u\
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