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摘要 ^l _W9s /5suyM=U 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Cb.~Dv
! :?jOts>uP  ksm=<I"C UX2`x9 设计任务 _V6;` {$WK GC$Hp!H  62%. ddM4 ~ b8U#'KD <JYV
G9s} 光栅特性与参数的严格分析 #(bMZ!/ ( Y4! v1 不同光栅周期的衍射效率 _l}&| : 2}I1z_dq~  %S.R@C[3 Aq QArSu, 考虑光栅周期的选择 $C(} OyZgg(iN  N}VK H5U| 偏振相关衍射特性 D19uI&U4 7 qgHH p
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Rj SVa.x 偏振相关衍射特性 yWF DGk
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 <d$|~qS _ %{&yXi:mS 偏振相关衍射特性 9dJARSUuF z930Wi{@  @\z2FJ79w
d1``} naNw 基于参数优化的光栅设计 0z_e3H{P27 e<9IwS!/ 具有固定周期的二维参数优化 VoWlBH
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 vkASp&a 二维参数优化 - 设计＃1 e6QUe.S t_x \&+W
 4mQ:i7~ F^3Q 0KsT 二维参数优化 - 设计＃2 k[gO>UGB; +VI2i~
 \;.\g6zX B;2os ^* 制造公差分析 - 设计＃2 !d&K,k o.k eM4OQ
 UOy`N~\gh+ x =5k74 不同光栅周期的三维参数优化 j0Kj>
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