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摘要 qr*e9Uk^ nAsc^ Yh 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 daf -B- oChf&W 8u  "`pg+t& J3r':I}\ 设计任务 G he@m6|D N>@.( f&w  $ M|vIw{# # S|On[Q ! 1bCS4fs^> 光栅特性与参数的严格分析 i-sm 9K'ns Kc3/*eu; 不同光栅周期的衍射效率 LH~
t5 tK\$L Z  EY Z,GT-I B+'w'e$6 考虑光栅周期的选择 v1NFz>Hx 8nSw7:z  #hEU)G' $+ 偏振相关衍射特性 You~
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 k{\a_e` 2bpFQ8q 偏振相关衍射特性 y8|}bd<Sr I=8MLv  kChCo0Q>1
z9zo5Xc= 基于参数优化的光栅设计 L%.=Sb mS 1a#R7chl 具有固定周期的二维参数优化 w`R t "d_B
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