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摘要 wT+60X'
VJK4C8] 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 0P$19 T N =aj|auu  7ojh=i mY (421$w,B% 设计任务 $/Wec ,`& YRZw|H{>t  (:~_#BA zQ<&[Tuwa IuPDr % 光栅特性与参数的严格分析 Kg2@]J9m nUONI+6Z / 不同光栅周期的衍射效率 rA<J^dX=C oU3gy[wF;b  6k,@+ @]t. vr47PM2al 考虑光栅周期的选择 P/~dY[6m ~qb?#IY] `  *URY8 a`bO 偏振相关衍射特性 H SG9|}$ n$j B "1
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 UlN}SddI9 p(4Ek" 偏振相关衍射特性 0=`aXb- @AG=Eq9<o  J=^5GfM)J
3s: ) CXO 基于参数优化的光栅设计 `,GFiTPd
v/KTEM 具有固定周期的二维参数优化 h;K9}w
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Hr9 制造公差分析 - 设计＃2 U_B`SS rUiUv (q
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