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摘要 ='<0z?Af wYZFW'5p 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 qJ!&H _
v\=ag  U.U N=uv_ RajzH2j+> 设计任务 D OiL3i"H e"P>b? OY  YuXq >[B[Q_}) c*ac9Y'o 光栅特性与参数的严格分析 zuR!,-W =xFw4 D9 不同光栅周期的衍射效率 "
cx\P,< bCHA!zO  EX UjdJs" iqURl I);P 考虑光栅周期的选择 Js[dT|>. jI!}}K)d  )xIk#>) 偏振相关衍射特性 <zH24[ J< BBM.^ ]
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7zGE 基于参数优化的光栅设计 Fu:VRul=5$ Va > ~ 7 具有固定周期的二维参数优化 ZAVj q;bq
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