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摘要 mS&[<[x }g5h"N\$o 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 AX<TkS@wjb z#8GF^U:T  L8/o9N1 W446;)?5 设计任务 #B;` T [ OZQ hT)nS]  _I3j 7f,V Euk#C ;uBg bX=ht^e [ 光栅特性与参数的严格分析 F FK79e/5 MU-ie*+ 不同光栅周期的衍射效率 pj?+cy
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