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摘要 GK`U<.[c ts /Ha*h 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 M nnVk= nu `R(2/  ?~3Pydrb # Tg@:mw5 设计任务 j a'_syn s^"*]9B"  NtG^t}V AIG5a$}& 1wy?<B.f 光栅特性与参数的严格分析 Tl
L,dPM u\3=m%1 不同光栅周期的衍射效率 6Qn};tbnD 9>6?tb"f*H  uC|bC#; n
>@Qx$- 考虑光栅周期的选择 v[4-?7- M mQk@~  ID~}pEQ 偏振相关衍射特性 6 SF29[& *o=[p2d"X
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y\=^pla 基于参数优化的光栅设计 W)AfXy
K.Y.K$NjP{ 具有固定周期的二维参数优化 S;tvt/\! Z
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 x$z>.4 二维参数优化 - 设计＃1 ZyV^d3F@$ +o]J0Gu
 P} w0= x b! &'cw 二维参数优化 - 设计＃2 2 3X-h#w Q!(qb
 SP;1 XXlL |(=b 制造公差分析 - 设计＃2 Oo/@A_JO@ P"|-)d
 H-3*} ,9 yJdkD VxYr 不同光栅周期的三维参数优化 *9US>m Vy
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