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摘要 >xo<i8<Miv (.!9 光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
n(N u |MGT8C&^!  ]2f-oz*hU QEqYqAGzu| 设计任务 ?P[:,0_ Yf9E0po  r~T!$Tb K>.}>)0 9~Sa7 P 光栅特性与参数的严格分析 el5Pe{j ' @Ik5 BT 不同光栅周期的衍射效率
:MF`q.:X 3HtM<su*h  &_ Cc rR@]`@9 考虑光栅周期的选择 9{fP.ifdv7 m33&obSP  iSf%N >y'K 偏振相关衍射特性 -S]ercar @Un/,-ck
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 Yl au X n0HJ^"_ 制造公差分析 - 设计＃2 ]v: ,< =S n+=7u[AZi
 Oq <3&* .6[8$8c 不同光栅周期的三维参数优化 v,K um<oi?
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