摘要
:"im2J O5v)}4 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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9-`P\/ f6$$e+ 1阶的
参数优化
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E&_q"jJRi ~!iZn 结果-容差分析
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V/dL-;W; `P43O gA 在
VirtualLab Fusion中查看
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{k15!(:i~a g)**)mz[ VirtualLab Fusion的工作流程
`=.A])> $p)e.ZMgE •构造光栅结构
;4s7\9o - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
.Y*jL &! - 倾斜光栅的高级配置[用例]
N2Qb+ •分析光栅衍射效率
v~AD7k2{8 - 光栅级次分析器[用例]
9cJ1J7y •使用参数优化优化光栅参数
m2x=Qv][@c •使用参数运行进行容差分析
a)qlrtCl - 参数运行文档的用法[用例]
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C.(<IcSG jFH wu* VirtualLab Fusion技术
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