摘要
N+tS:$ V =f["M=)ZJ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
U".-C`4v w;_ D s 
@Q^;qMy hi=U 建模任务
_PaO w%Y9 p<jr&zVEc> 
8%"e-chd J0K"WmW 1阶的
参数优化
`MD/C Fl4 %(]rc%ry0 
9D<HJ ( [q@%)F 结果-容差分析
7%'<}u V OX>Sl 
|j+~Td3})& mvw:E_ 结果-容差分析
d ?K8Ygz IlrmXSr 
DkIkiw{L 'UyL%h;nJ 在
VirtualLab Fusion中查看
lD pi1]2 -FI 1$ 
%F~
dmA#: .DQ]q o]OG VirtualLab Fusion的工作流程
L:<'TXsRA U]acm\^Z •构造光栅结构
l0_V-|x - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
8M|Q^VeT,1 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
. EcM n •分析光栅衍射效率
$ d"+Njd - 光栅级次分析器[用例]
fCfY.vd5 •使用参数优化优化光栅参数
[h1{{Nb#ez •使用参数运行进行容差分析
U`Zn*O~/ - 参数运行文档的用法[用例]
<wC1+/ ] - \QtE}|4 
@o ED tN U*@_T 3N VirtualLab Fusion技术
v<wT`hiKW iCS/~[ 
NEk [0
