摘要
n'THe|:I lK0s=4c{ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
Z+ixRch@-s KacR?Al
Kl{-z X k^z0Lo|)' 建模任务
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u^Vh.g] 1!vPc93 $$ 1阶的
参数优化
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@<2d8ed ^o YPyk`9 结果-容差分析
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PY?8[A+ k'Gw!p} 在
VirtualLab Fusion中查看
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K1OkZ6kl n#4Gv|{XMD VirtualLab Fusion的工作流程
b^x07lO ,9d9_c.T •构造光栅结构
+c--&tBo - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
:$?Q D - 倾斜光栅的高级配置[用例]
gw^'{b •分析光栅衍射效率
2:Q(Gl`<l - 光栅级次分析器[用例]
}k7_'p&yk •使用参数优化优化光栅参数
Hy] •使用参数运行进行容差分析
VevNG* - 参数运行文档的用法[用例]
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h./P\eDc eZH~je{1 VirtualLab Fusion技术
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