摘要
('o&Q_ fJ80tt?r 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ua& @GXv Z LDX*<( VirtualLab Fusion的工作流程
O2#S: ~h r\mPIr| •构造光栅结构
C6k4g75U2 - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
L{PH0Jf - 倾斜光栅的高级配置[用例]
i-13~Dk •分析光栅衍射效率
zHFTCL>" - 光栅级次分析器[用例]
V<0$xV1b|= •使用参数优化优化光栅参数
=P_fv •使用参数运行进行容差分析
F3 f@9@b - 参数运行文档的用法[用例]
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G' Hh {_: 5~xeO@%I VirtualLab Fusion技术
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