摘要
,k/*f+t @7%nMTZ@&v 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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&|H?J,> 4)iSz> 1阶的
参数优化
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~xu<xy@E VZJs@qx:Z 结果-容差分析
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D@%@ iU{F\> 在
VirtualLab Fusion中查看
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<O>r e3s @Wy>4B^ VirtualLab Fusion的工作流程
on+
c*# z:|4S@9 •构造光栅结构
;&P%A<[` - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
$ W(m - 倾斜光栅的高级配置[用例]
S[{#AX=0 •分析光栅衍射效率
_;{n+i[ - 光栅级次分析器[用例]
Dq
Kk9s;6_ •使用参数优化优化光栅参数
7f'9Dm` •使用参数运行进行容差分析
(H<S&5[ - 参数运行文档的用法[用例]
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>tqLwC."' #5N#^#r" VirtualLab Fusion技术
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