摘要
>Jm"2U}lZW %HSl)zEo>C 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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^p_u.P K@@9:T$ (:Cc3 3ViM ?p 1阶的
参数优化
Zj-BuE&@f daOS8_py xaL#MIR"u" Dw |3Z 结果-容差分析
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aed+C:N bV3lE6z +$(0w35V5 JCQ:+eqt 在
VirtualLab Fusion中查看
q{X T 7<yp"5><) _=6 OP8 /84bv= VirtualLab Fusion的工作流程
Bp0bY9xLg_ +p?hGoF= •构造光栅结构
S!7g) - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
9bn2UiJk - 倾斜光栅的高级配置[用例]
ypA: P •分析光栅衍射效率
Lh 9S8EU - 光栅级次分析器[用例]
S?,_<GD)w •使用参数优化优化光栅参数
Igjr~@# •使用参数运行进行容差分析
b%nkIPA - 参数运行文档的用法[用例]
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