摘要
*.i`hfRc &1VC0"YJWy 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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/O&j1g@ \Hy~~Zh2 建模任务
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scA&:y T$RZRZo 1阶的
参数优化
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&|',o ?'F #5'9T:8 结果-容差分析
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\]o#tYN\a0 \5O4}sm$* 在
VirtualLab Fusion中查看
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(u RAK RELLQpz3 VirtualLab Fusion的工作流程
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3A [['un\~r~ •构造光栅结构
CB6<Vng}C - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
qf+I2kyS - 倾斜光栅的高级配置[用例]
gwT"o •分析光栅衍射效率
V~ZAs+(2Z - 光栅级次分析器[用例]
VBsS1!g •使用参数优化优化光栅参数
}}K44<]u •使用参数运行进行容差分析
y<.1+TG - 参数运行文档的用法[用例]
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VirtualLab Fusion技术
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