摘要
vQ:x% =] ^H5w41 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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%'{V%IXQ I$aXnd6) 建模任务
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RzHN 1阶的
参数优化
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gXq!a|eH v$t {o{3 结果-容差分析
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VirtualLab Fusion中查看
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+7Sf8tg\ ~@%(RMJm& VirtualLab Fusion的工作流程
!IO&&\5 .KFA218h*x •构造光栅结构
;rNd701p" - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
!$D&6M|C8l - 倾斜光栅的高级配置[用例]
G5!|y#T •分析光栅衍射效率
vAi"$e - 光栅级次分析器[用例]
UE" 7
•使用参数优化优化光栅参数
Lqg] Fd •使用参数运行进行容差分析
1pWk9Xuh - 参数运行文档的用法[用例]
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F\ ;2 i:( U%D it VirtualLab Fusion技术
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