摘要
OKq={l U_,K_6vj 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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0#KB.2AP zuZlP 建模任务
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=1vVITwl Kq0hT4w 1阶的
参数优化
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t|zLR ,/>~J]:\; 结果-容差分析
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Lsozl<@ AH],>i3 在
VirtualLab Fusion中查看
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Q$9`QY*6"p g%<7Px[W VirtualLab Fusion的工作流程
*lG$B@;rc| JhDjY8?86 •构造光栅结构
Z@8amT;Y - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
qO9_e - 倾斜光栅的高级配置[用例]
F<w/@.&m •分析光栅衍射效率
-}juj;IVv - 光栅级次分析器[用例]
{w^flizY •使用参数优化优化光栅参数
[P{Xg:0 •使用参数运行进行容差分析
uyG4zV\h* - 参数运行文档的用法[用例]
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%/MK$ ix&hsNzD VirtualLab Fusion技术
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