摘要
^). ["^? vhv 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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i_e%HG gY&WH9sp?9 建模任务
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V}X>~ '% UR~ s\m 1阶的
参数优化
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fSVb.MZa7 ,@kLH"a0 结果-容差分析
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Lpohc4d[V FsLd&$?T& 在
VirtualLab Fusion中查看
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ot0g@q[3 lK_T%1Gz VirtualLab Fusion的工作流程
-tIye{ ^8KxU •构造光栅结构
<JIqkGeAi - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
,rV;T";r - 倾斜光栅的高级配置[用例]
L*OG2liJ •分析光栅衍射效率
`S+n,,l - 光栅级次分析器[用例]
1-$+@Xl •使用参数优化优化光栅参数
Eh^gR`I •使用参数运行进行容差分析
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iK 5 - 参数运行文档的用法[用例]
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(ZY VirtualLab Fusion技术
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