摘要
5"mH6%d :8 o3,}X@p 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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+(/' b'* G'0JK+=o 建模任务
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H*E4+3y }2.0e5[ 1阶的
参数优化
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F/w*[Xi
Sh .~7:o.BE`n 结果-容差分析
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Apbgm[m|{ m,^UD{ 在
VirtualLab Fusion中查看
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J?_-Dg(= rtC:3fDy VirtualLab Fusion的工作流程
e_3($pj -h%1rw •构造光栅结构
>^J - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
$*c!9Etl4 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
6L, "gF<n •分析光栅衍射效率
y7U?nP ')+ - 光栅级次分析器[用例]
Kdr}7#c •使用参数优化优化光栅参数
o[B"J96b •使用参数运行进行容差分析
a+,zXJQYq - 参数运行文档的用法[用例]
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-fT}Nj\ X3R:^ff\ VirtualLab Fusion技术
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