摘要
I[\~pi, XYE|=Tr] 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
=OVDJ0ozZ q'2vE;z Kb
sV^:u^ /zn=AAYb 建模任务
d:H'[l.F% *7BfK(9T
[}RoZB&I 1J@Iekat 1阶的
参数优化
FMfpjuHk gL; Kie6Z
+n3I\7G> D:)Wr, 26 结果-容差分析
}[*' Z 6jEj9?O
2|1fb-AR NE995; 结果-容差分析
'j1e(wq hy;VvAH5
ao(T81 tF2"IP. 在
VirtualLab Fusion中查看
hbjAxioA D}-.<
9g9 2eKS 1^iBS VirtualLab Fusion的工作流程
*O?c~UJhhV )P$(]{ •构造光栅结构
`i7r] - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
(FuIOR - 倾斜光栅的高级配置[用例]
$YYWpeW
' •分析光栅衍射效率
n ]ikc| - 光栅级次分析器[用例]
WJ7|0qb •使用参数优化优化光栅参数
Bd>~F7VWs •使用参数运行进行容差分析
Xtp8^4Va - 参数运行文档的用法[用例]
pYO =pL^Q 2*Z2uV^
(8 nv&| ``o]i{x VirtualLab Fusion技术
*kr/,_K V\~.
^aFm6HS1