摘要
0aT:Gy; hY}Q|-| 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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1UQ,V`y g-3^</_fZ 建模任务
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/R&`]9].s TE`5i~R* 1阶的
参数优化
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c`i 结果-容差分析
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<K- 在
VirtualLab Fusion中查看
fY]"_P # epP~J_f
fW= N he|Q(? VirtualLab Fusion的工作流程
%/dOV[/ 3ynkf77cn •构造光栅结构
K6{wM - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
iEn:Hh) - 倾斜光栅的高级配置[用例]
[G 9Pb) •分析光栅衍射效率
coCT]< - 光栅级次分析器[用例]
8Z!%rS •使用参数优化优化光栅参数
08\w!!a: •使用参数运行进行容差分析
,#;hI{E - 参数运行文档的用法[用例]
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2:
QT`e& ByqVNz0L VirtualLab Fusion技术
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