摘要
(k"0/*F4_ j1+I_ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
U Lq`!1{
4z~;4
&\6(iL e(1{W P 建模任务
g%m-*v* ^:f)XZ
/L!
=## {LqYb:/C5U 1阶的
参数优化
vKdS1Dn1 Tb:'M:dM"
Vz!{nL0Q( OzRo 结果-容差分析
m%"=sX7/9 #%OS=.V
}
MP_ $SFreyI;Uf 结果-容差分析
SjJ$Oinc I7'v;*
X
)
=-a |6Iw\YU 在
VirtualLab Fusion中查看
i \lr
KA "8(8]GgYx
%){/O}I]> ?h#F& y VirtualLab Fusion的工作流程
!@ AnwV] t0:~BYXu •构造光栅结构
+8|Xj!!*} - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
iQCs8hIR - 倾斜光栅的高级配置[用例]
QOJ5 •分析光栅衍射效率
2#UVpgX? - 光栅级次分析器[用例]
P$clSJW •使用参数优化优化光栅参数
1O)m(0tb[ •使用参数运行进行容差分析
R \y
qM;2 - 参数运行文档的用法[用例]
dOgc%(kz wb]Z4/j#
=G'J@[d{d 6Ol)SQE, VirtualLab Fusion技术
j \ #y n4+^f~Y
i5*/ZA_