摘要
9%Eo<+myh \>$3'i=mQ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
-I?8\ =h\unQ1T
XCyU)[wY xlcL;e&^P 建模任务
&+5ij;AD zC,c9b
W1Vy5V|M $c{fPFe- 1阶的
参数优化
y{KYR) QHXA?nBX
9?iA~r|+ OKPNsN 结果-容差分析
`r'$l<(4WV F| jl=i
\483S]_-z{ bj6;>Ezp3( 结果-容差分析
eo*l^7 a]/KJn/B(
s0O]vDTR,H Jmuyd\?,b 在
VirtualLab Fusion中查看
q|{z9V< BCfmnE4%
n:[@#xs- lc8g$Xw3 VirtualLab Fusion的工作流程
9=q& SG s:k?-u@ •构造光栅结构
jF-:e;- - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
<Umr2Vw- - 倾斜光栅的高级配置[用例]
bvOnS0,y •分析光栅衍射效率
]Cs=EZr - 光栅级次分析器[用例]
%VGW]!QR •使用参数优化优化光栅参数
to'CuPkT •使用参数运行进行容差分析
9
JhCSw-<) - 参数运行文档的用法[用例]
5T%2al,F` w4fQ~rcUIc
?b:Pl{? >F>VlRg VirtualLab Fusion技术
dF[|9%) &:&~[4>%a
* RyU*au