摘要
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y fQdQ[ 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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U.\kAEJ Z3Y%VHB_F( 1阶的
参数优化
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SrxX-Hir LdcP0G\"VG 结果-容差分析
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PeOgXg)L`z Y (Q8P{@( 结果-容差分析
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f-PDgs c`Tg xMu 在
VirtualLab Fusion中查看
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utgnW VirtualLab Fusion的工作流程
zK}.Bhj# YS9| J=!~ •构造光栅结构
!|SawT5t - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
q^gd1K<N - 倾斜光栅的高级配置[用例]
Bi]%bl>% •分析光栅衍射效率
&"=inkh - 光栅级次分析器[用例]
+ IMP< •使用参数优化优化光栅参数
eb7`R81G •使用参数运行进行容差分析
=^6]N~*,D - 参数运行文档的用法[用例]
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Mb-C DPT r3|vu"Uei VirtualLab Fusion技术
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