摘要
n=n!Hn A -G?@U 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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V7!x-E/ &<-Sxjj 建模任务
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aO?(ZL }r6SV%]: 1阶的
参数优化
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"EQ-`b=I4 b}p 0&%I 结果-容差分析
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=u(. Y _mKO4Atw 在
VirtualLab Fusion中查看
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(CS"s+y1 VirtualLab Fusion的工作流程
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%lAJ]$m •构造光栅结构
Sve~-aG - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
JNRG[j - 倾斜光栅的高级配置[用例]
WaQCq0Enj •分析光栅衍射效率
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xJ4 - 光栅级次分析器[用例]
`9Zoq=/ •使用参数优化优化光栅参数
jm'(t=Ze •使用参数运行进行容差分析
lqa.Nj - 参数运行文档的用法[用例]
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&Jv j@,>$d :bFmw dX VirtualLab Fusion技术
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