摘要
<$JaWL (5\NB0 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Y3Q9=u*5 utr:J 建模任务
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irjP>3_e Dd`Mv$*d8 1阶的
参数优化
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o=`C<} 4>J
结果-容差分析
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u{L!n$D7 3po:xMY 结果-容差分析
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XC+A_"w) T1H"\+ 在
VirtualLab Fusion中查看
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Pi|o` d 4!KoFoZt* VirtualLab Fusion的工作流程
q:g2Zc'Y~W J[&b`A@.o •构造光栅结构
Dih3}X&jn$ - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
&iV{:)L - 倾斜光栅的高级配置[用例]
jVq(?Gc •分析光栅衍射效率
x#:| }pR - 光栅级次分析器[用例]
"Iix
)Ue •使用参数优化优化光栅参数
Q%f|~Kl-hd •使用参数运行进行容差分析
LW(6$hpPp - 参数运行文档的用法[用例]
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fDP$ sW C"{k7yT VirtualLab Fusion技术
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