摘要
mGJRCK_ Zdfh*MHMg 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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K(WKx7Kky^ kZi/2UA5Z 1阶的
参数优化
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# nAq~@X #ZP;] W 结果-容差分析
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在
VirtualLab Fusion中查看
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i` ay9J8N Y4_xV& VirtualLab Fusion的工作流程
<z>oY2% ZNL+w4 •构造光栅结构
KCH`=lX - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
pUW7p - 倾斜光栅的高级配置[用例]
3=*ur( Qy •分析光栅衍射效率
Z/|=@gpw - 光栅级次分析器[用例]
Tf?`_jL •使用参数优化优化光栅参数
-8<vW e •使用参数运行进行容差分析
{esb"beGLa - 参数运行文档的用法[用例]
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-hZ5i )+w1nw|m
}Gy M<!: j['B9vG VirtualLab Fusion技术
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