摘要
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5z0 +P! ibHfP 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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C]EkVcKFA q]scKWYI 建模任务
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#Mw 6>5}< "_^vQ1M]Z 1阶的
参数优化
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%<)!]8}P* l*>,K2F 结果-容差分析
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lfw|Q@ Wu~cy}\ 结果-容差分析
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n!-]f.=P *z'v 在
VirtualLab Fusion中查看
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%lk^(@+ T 9])Id;+91 VirtualLab Fusion的工作流程
mv,5Q6! B[.$<$}G •构造光栅结构
Qz"+M+~%& - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
R-Ys<; - 倾斜光栅的高级配置[用例]
GaCRo7 •分析光栅衍射效率
`# U<'$ - 光栅级次分析器[用例]
b>-h4{B[ •使用参数优化优化光栅参数
(#?O3z1@" •使用参数运行进行容差分析
`w&?SXFO8 - 参数运行文档的用法[用例]
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G} f9:G \G#_z|'dN VirtualLab Fusion技术
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