摘要
-C<Ni s;4r)9Uvx 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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q^k]e{PD ;5wr5H3 建模任务
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9 ?~ Y I~.d/!>Z 1阶的
参数优化
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>hbT' Or@ cXo^.u 结果-容差分析
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C5 ^eD^[c }th^l*g 在
VirtualLab Fusion中查看
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<7%4= t uiQk=[ c VirtualLab Fusion的工作流程
q4rDAQyPO 5Si\hk:o •构造光栅结构
&G"r>,HU - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
^3:DeZf!u - 倾斜光栅的高级配置[用例]
4/B n9F •分析光栅衍射效率
^sjL@.'m$N - 光栅级次分析器[用例]
+e6c4Tw/ •使用参数优化优化光栅参数
0fd\R_"d. •使用参数运行进行容差分析
P_w\d/3 - 参数运行文档的用法[用例]
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V ^U1o[` )5Bkm{v3 VirtualLab Fusion技术
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