[技术]倾斜光栅的参数优化与容差分析 [复制链接]

摘要 "v~w#\pz7  
Ctt{j'-[  
对于如背光、光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。 R_4600  
*Xl&N- 04  
.6OE8w 1  
o*I-~k  
建模任务 [?Aq#av  
P
RX:*0  
kRE^G*?  
xb_35'$M  
1阶的参数优化 6z=:x+m  
I%*o7"  
l= !KZaH  
w},k~5U^s  
结果-容差分析 UwdcU^xt9  
uu=e~K  
+69sG9BA  
%t%+;(M9  
结果-容差分析 G*Z4~-E4*  
{n%F^ky+7  
]rHdG^0uss  
cKK 1$x  
在VirtualLab Fusion中查看 Z:9"7^+  
"2qp-'^[c  
Sjj&n S  
WZ"x\K-;  
VirtualLab Fusion的工作流程 {b+!0[  
|{Z?a^-NJ  
•构造光栅结构 A*
~zdZ p  
- 使用特殊介质配置光栅结构[用例] +~02j1Jx  
- 倾斜光栅的高级配置[用例] K}! VY`  
•分析光栅衍射效率 `N8A{8$qv  
- 光栅级次分析器[用例] ,p>=WX  
•使用参数优化优化光栅参数 OES+BXGX  
•使用参数运行进行容差分析 nvsuF)%9hZ  
- 参数运行文档的用法[用例] G4MNcy  
Ck(D: % ~s  
~n|*-rca  
eA#J7=eC  
VirtualLab Fusion技术 d^WVWk K  
qeSxE`E"  
d5+ (@HSR