摘要
Zk2-U"0\o z%t>z9hU 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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94"R&| ,WbO8#z+ 建模任务
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^<xpp.eY |SXMd'<3`Z 1阶的
参数优化
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x[%: 结果-容差分析
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[-_u{j yWu80C8q 在
VirtualLab Fusion中查看
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N%cjvE LX4S}QXw VirtualLab Fusion的工作流程
R1/)Yy Q$G!-y+"i •构造光栅结构
|"DQ^)3Pi - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
VWd=7 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
@v_ ) ( •分析光栅衍射效率
l,HM m|oU - 光栅级次分析器[用例]
^,'!j/w5 •使用参数优化优化光栅参数
FVsVY1 •使用参数运行进行容差分析
D_`MeqF}C - 参数运行文档的用法[用例]
95>(NwST4 )#Ea~>v
pUZe.S>G %7pT\8E5 VirtualLab Fusion技术
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