摘要
!!UQ,yU #nJ&`woZt 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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Y(P<9m: "SN+ ^` 建模任务
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2V =bE- R%^AW2 1阶的
参数优化
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-O?&+xIK& j-wz7B 结果-容差分析
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Blnc y d]w%zo,yr 在
VirtualLab Fusion中查看
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Ld3!2g2y7& B5fF\N^ VirtualLab Fusion的工作流程
mL[Y{t#N (w{C*iB •构造光栅结构
c-hhA%@Wq - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
qI#ow_lL# - 倾斜光栅的高级配置[用例]
JLH,:2 •分析光栅衍射效率
,?zOJ,wl - 光栅级次分析器[用例]
ZMI
vzQYI •使用参数优化优化光栅参数
<<.%Gk •使用参数运行进行容差分析
N(BCe\FV - 参数运行文档的用法[用例]
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,7nA:0P 2%(RB4+ VirtualLab Fusion技术
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