摘要
T!q_/[i~7 aP~gaSx 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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V:K;] h*! )jW(6 建模任务
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O?K./So& [p;*r)f2} 1阶的
参数优化
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euRss#; \4~AI=aw,T 结果-容差分析
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4!%]fg}Um &{^eU5 在
VirtualLab Fusion中查看
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o\4t4}z~'f 9 pKm*n& VirtualLab Fusion的工作流程
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E:'Zxj •构造光栅结构
R8sck)k'} - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
~Yk"Hos - 倾斜光栅的高级配置[用例]
q(9%^cV6 •分析光栅衍射效率
'"O&J}s; - 光栅级次分析器[用例]
??xlA-E •使用参数优化优化光栅参数
mY2:m(9"5 •使用参数运行进行容差分析
)h"Fla - 参数运行文档的用法[用例]
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v&0d$@6/U pDDG_4E> VirtualLab Fusion技术
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