摘要
*=~X1s )WR*8659e 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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U.0bbr eF%IX 建模任务
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/`YbHYNF[ F?! 1阶的
参数优化
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{I~[a#^ /*2sg>e'QF 结果-容差分析
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sxBRg= | Sf` Cs 在
VirtualLab Fusion中查看
TR([u zMI0W&P M
~RS^Opoa c(y~,hN&p VirtualLab Fusion的工作流程
B%e#u.'6 K`d3p{M •构造光栅结构
-$J%.fdPs - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
HxmCKW! - 倾斜光栅的高级配置[用例]
c6NCy s •分析光栅衍射效率
0XNj!^& - 光栅级次分析器[用例]
[Y^1}E* •使用参数优化优化光栅参数
)xMP •使用参数运行进行容差分析
F< #!83*% - 参数运行文档的用法[用例]
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>&kb|) ErDt~FH VirtualLab Fusion技术
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