摘要
P!|Z%H ?yS1|CF%&y 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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ZEI,9`t! Ll|_Wd.K, 建模任务
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参数优化
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DSz[,AaR] -Ty~lZ)TDT 结果-容差分析
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7_i8'(`` mtv8Bm=< 在
VirtualLab Fusion中查看
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ps 3 )d e NIzI]~ VirtualLab Fusion的工作流程
T-%=tY+- }9S}?R •构造光栅结构
f( 5(V
% - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
6^Wep- $ - 倾斜光栅的高级配置[用例]
O{X~,Em=q •分析光栅衍射效率
F]3Y, {/V - 光栅级次分析器[用例]
yU
v
YV-7 •使用参数优化优化光栅参数
qG6s.TcG •使用参数运行进行容差分析
zi-_ l - 参数运行文档的用法[用例]
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FU C27: ty V 
92DM1~
* +x"uP VirtualLab Fusion技术
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