摘要
yvYad "-J-k= 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
XSlGE9]AG >e"#'K0?\
N8FF3}>
g VU d\QR- 建模任务
xF44M]i &JI8]JmU)
_#h_: 1y4 1阶的
参数优化
3Ims6I] k)Qtfj}uij
!I
Qck8Y abLnI =W` 结果-容差分析
xK\d4" j,dR,N d
(*)hD(C5 ^]-6u:J! 结果-容差分析
,nB5/Lx Per1IcN
& 9 ?\b7 A$:U'ZG_ 在
VirtualLab Fusion中查看
qeZ? 7#Gf 0=E]cQwh
v oj^pzZ Tyf`j,= VirtualLab Fusion的工作流程
X*Prl l( hFl^\$Re •构造光栅结构
w=J3=T@TD - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
v OpKNp - 倾斜光栅的高级配置[用例]
)/?$3h; •分析光栅衍射效率
pD#rnp>WWt - 光栅级次分析器[用例]
d4c8~L
H- •使用参数优化优化光栅参数
;x@~A^<el •使用参数运行进行容差分析
m-"w0Rl1T - 参数运行文档的用法[用例]
~1vDV>dpE UQ@L V~6{R
_t #k,; ` v@m-j6 VirtualLab Fusion技术
psMvq@> Y\?"WGL)p
C={Y;C1