摘要
Cnc\sMDJ\B 5* o\z&*L 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
q|Pt>4c5? uZ=UBir 
jU3 ;jm.) c],frhmyd 建模任务
3_j C sX I ]WeZ,E 
P(YG@ TJ%]{%F 1阶的
参数优化
4, *^ QK 3A}nNHpN 
8y 4D9_{ kUaGok? 结果-容差分析
_WjETyh
[H Kn!0S<ssR 
M~{P',l* 5[j!\d }U 结果-容差分析
zcD_}t_K &8_#hne_ 
;~gd<KK ^]lwd" $ 在
VirtualLab Fusion中查看
U)I `:J+A J PzQBc5 e 
Vw;ldEdx @;n$ caw VirtualLab Fusion的工作流程
ID)gq_k[8, g<T`F •构造光栅结构
dj'8x48H2W - 使用特殊介质配置光栅结构[用例]
6 XOu~+7 - 倾斜光栅的高级配置[用例]
ZAM+4#@ •分析光栅衍射效率
L]}RSE2 - 光栅级次分析器[用例]
/E4 }d =5L •使用参数优化优化光栅参数
hte9l) •使用参数运行进行容差分析
o? O,nD
6 - 参数运行文档的用法[用例]
4@mXtA t-4 R7`A< 
CpqSn/ -z 5k4Y VirtualLab Fusion技术
eeJt4DV8v Qhr]eu;z 
*JC{G^|Y
